Høy nøyaktighet kjemisk mekanisk planering CMP-prosess , China Høy nøyaktighet kjemisk mekanisk planering CMP-prosess Manufacturers, Suppliers, Factory

Produktbeskrivelse

Høy presisjon Kjemisk mekanisk planariseringsutstyr (CMP)

Nøyaktig CMP-utstyr oppnår effektiv fjerning av overskytende materialer på vafleoverflater og global nanoskala-planariserings gjennom den synergetiske virkningen av kjemisk korrosjon og mekanisk slipning.

Flervarslingskjemisk poleringsmaskin, spesifikt utviklet for CMP- og coating-poleringstilpassinger som krever strikt geometrisk nøyaktighet og overflatekvalitet, kan oppnå sub-nanometer nivå Ra.

Denne enheten kan utføre nøyaktig polering på nanometer-nivå for enkeltformer, samt polere tyne plater med diameterer opp til 8 tommer. I tillegg kan den også brukes i ikke-tradisjonelle poleringsapplikasjoner som hard substrat-polering, Epi-overflateforberedelse og forbedring av chip-gjenbruk.

For å tilpasse CDP-serien maskiner til ulike materialer og prosesskrav, tilpasser teknikere og designer poleringsmal etter brukertekniske krav for å nøyaktig møte CMP-prosesskravene. Bildet til venstre viser omfanget for en enkelt vafel med en diameter på 8 tommer.

For å sikre nøyaktig måling og kontroll av vafler eller enheter polert på CDP-maskiner, har vi utviklet et EPD-system, hvis tilpasset designet CDP-skanningsgrafikkprogram kan kjøres på bærbar PC. Dette programmet overvåker og visuelt fremstiller poleringsprosessen, og stopper automatisk når endepunktet er nådd.

Forhindre overdreven polering. CDP-skanning kan også brukes som en sikkerhetsfunksjon. Hvis endringer i noen av de overvåkede prosessparametrene oppdages, vil CDP Scan utløse en lydlarm for å hjelpe med å forhindre overdreven polering. Eksempler på dette inkluderer endring av bærerfarten fra dens forhåndsinnstilte verdi. EPD-systemet vil merke seg denne situasjonen da friksjonsnivået mellom paden og det polerte materialet vil endres grunnet eventuelle endringer i bærerfarten, noe som kan truede den vellykkede planariseringen av plaaten/waferen. På dette tidspunktet vil EPD-systemet utløse en hørbart alarm før fjerning av fikseringen fra padoverflaten, eller det kan settes til automatisk avslutting.

ACP-systemet kan brukes bedre i en bred vifte av anvendelser, og diagrammet viser CMP-prosesseringsresultatene for silisoksid, kobber, silisnitrid, aluminiumkobber, silisgermanium og wolfram.
Diagrammet viser at etter CMP-prosessen kan WTWNU nå 2,82%.

Anvendelse

Planariseringsprosess av siliswafer
II-V sammensetning planariseringsprosess
Oksidplanarering
Utjevning av infrarød materialsubstrate
Sapphirlag, gallium nitrid og silisiumkarbid substratplanarering, EPI substratplanarering
Tynnføring av SOS og SOI-waferer til under 20 mikron
Hierarkisk reversering eller FA-applikasjoner

Spesifikasjon

Strømforsyning	220v 10A
Wafertstørrelse	4”/100mm 6”/150mm 8”/200mm 12”/300mm
Arbeidsdiskdiameter	520mm, 780mm
Arbeidsdiskfart	0-120rpm
Festningsfart	0-120rpm
Svingefrekvens for festning	0-30spm
Trykk på wafers bakside	0-150psi
Trykk på sentrepunktet av wafer	0-50psi
Tidstidsintervall	0-10 h
Fødekjede	≥2
Føringshastighet	0-150ml/min

Pakking & Levering

Bedriftsprofil

Minder-Hightech er salgs- og service representant for utstyr i semiforelerings- og elektronikkproduktindustrien. Siden 2014 har selskapet vært dedikert til å gi kundene Superior, Reliable, og One-Stop-løsninger for maskinutstyr.

FAQ

1. Om prisen:
Alle våre priser er konkurransedyktige og forhandlingsmessige. Prisen varierer avhengig av konfigurasjonen og tilpassingskompleksiteten på enheten din.

2. Om eksempel:
Vi kan levere eksempelproduksjonservices for deg, men du må betale noen gebyrer.

3. Om betaling:
Når planen er bekreftet, må du først betale en nedbetaling, og fabrikken vil begynne å forberede varer. Når
utstyret er klart og du har betalt resten, vil vi sende det.

4. Om levering:
Etter at produksjonen av utstyr er ferdig, vil vi sende deg akseptansekvideoen, og du kan også komme til stedet for å inspisere utstyret.

5. Installasjon og feilsøking:
Etter at utstyret har ankommet fabrikkene dine, kan vi sende ingeniører for å installere og调试utstyret. Vi vil gi deg en separat tilbud for denne tjenestekostnaden.

6. Om garanti:
Vårt utstyr har en garanti på 12 måneder. Etter garantiavgangen, hvis noen deler blir skadet og må byttes ut, vil vi bare beregne kostprisen.