Wafertstørrelse
|
4”~ 8” veffer
|
Veffertykkelse
|
100~750 mikroner
|
Veffertype
|
Si, SiC, GaN eller andre materialer
|
Filmtype
|
Blå film, UV-film
Bredde: 230 ~ 300 mm Lengde: 100 m Tynnhet: 0.05 ~ 0.2 mm |
Waferbæringsring
|
6”, 8” DISCO
|
Lastemethode
|
Manuell plassering og fjerning av wafer/bæringsring
|
Nøyaktighet i filmposisjonering
|
±0,5mm
Standard 6” og 8” waferplater for 6” og 8” wafers |
vakuumpumpe
|
Minder-Hightech
|
Antistatisk kontroll
|
Deioniseringsventilator
|
Styringsenhet
|
Basert på PLC-kontroll, med 10” berøringskjerm
|
Sikkerhetsbeskyttelse
|
Utstyrt med lysgjenværn og nødstoppknapp
|
Spenningsforsyning
|
Enkfasig AC 220V, 16A
|
Komprimert luft
|
0,45~0,6MPa, strømrate 70L/min
|
Maskinhylle
|
Hvit plastbesprøytt metallhuse
|
Volum
|
850mm (bredde)*1750mm (dybde)*1970mm (høyde)
|
Nettovekt
|
480kg
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved