ASKING DESCUM fjerning av fotoresist ICP Dry Plasma Photoresist Removal Machine , Kina ASKING DESCUM fotoresist fjerning ICP Dry Plasma Photoresist fjerning Maskinprodusenter, leverandører, fabrikk

produktbeskrivelse

ICP Dry Plasma Photoresist fjerningsmaskin

ICP tørr plasma-fotoresistfjerningsmaskin brukes hovedsakelig til å fjerne polymerer, ASHING, DESCUM, fjerning av fotoresist etter ioneimplantasjon og fjerning av overflaterester. Hulrommet er egnet for 4-8 tommers prøver, med 1-2 stykker behandlet i en enkelt prosess.

FORASKE
Fjerning av polymerer
Tørr fjerning av hardt maskelag
Fjerning av fotoresistens etter ionimplantasjon
Fjerning av fotoresistens i BAW/SAW-prosessen
Rensing av antireflekterende grafisk filmlag
Fjerning av overflaterester
Overflaterengjøring etter etsing
DESCUM

ASKING DESCUM fjerning av fotoresist ICP Dry Plasma Photoresist fjerning Maskindetaljer

ASKING DESCUM fjerning av fotoresist ICP Dry Plasma Photoresist fjerning Maskinfabrikk

Spesifikasjon

PLASMA			RF	RF
Power	ICP	1000w	1000w
Power		BIAS	600w (valgfritt)	600w (valgfritt)
Gjeldende omfang			4~8寸	4~8寸
Antall enkeltbearbeidede skiver			1	2
Utseende dimensjoner			1080x1840x1800mm	1340x2050x1800mm
Systemkontroll			Industrielt kontrollsystem	Industrielt kontrollsystem
Automatiseringsnivå			automatisk	automatisk