Automatisk CMP Post Clean , Kina Automatic CMP Post Clean Produsenter, leverandører, fabrikk

produktbeskrivelse

Rengjøringsutstyr etter Wafer Chemical Mechanical Polishing

CMP Post Chean

Maskinfunksjoner

Sterk prosessevne
Tokammerbørsting, med et bredt spekter av prosessanvendbarhet
Utstyret opptar et lite område, med dimensjoner på 2200 * 800 * 2200 (mm)

Søknadsfelt

6-8 tommer CMP etter børsting
Rengjøring etter sliping av SIC eller andre underlag

Tekniske parametere

Rengjøring etter 4-tommers og 6-tommers CMP
Dobbeltkammerdesign, uavhengig kammerdrift Våt inn og tørk ut eller tørk inn og tørk ut
Høyhastighets sentrifugering SRD

LoadPort-enhet, lasteenhet

LoadPort er lasteenheten til denne enheten

Våtkassettmating
Har spray fuktighetsgivende funksjon

Børsteenhet, Wafer rengjøringsenhet

Tokammerenhet, i stand til å støtte to forskjellige rengjøringsløsninger
Børsteposisjonen kan justeres i henhold til oppskriften Beltetransportør

SRD enhet, Wafer tørkeenhet

Spinntørking av waferklemmetype, med en maksimal hastighet på 4000 RPM
Kan utføre AS-rengjøring på waferoverflate og spray DIW

LAST AV aggregat, klippeaggregat

UnLoad-enheten har en uavhengig FFU for å sikre renheten til wafer-utgangen

Conveyor

Vått område er båndtransportør

Tørt område for robotteleportering

Beskrivelse av børsteenhet

Som vist i figuren til venstre består børsteenheten til denne enheten av to børsteenheter, nemlig BU1 BU2.

Børstetrykket til hver enhet kan justeres separat (som spesifisert i oppskriften), og hver børstebladenhet kan vaskes med forskjellige kjemiske rengjøringsløsninger separat.

Maskinens børste bruker PVA-børste, som er en vanlig type på markedet.
Overføringen mellom hulrom er båndtransportør. Det er en DIW RINSE inne i hulrommet

SRD enhet

SRD-enheten er utstyrt med en klemme CHUCK og en AS ARM, som kan ytterligere fysisk rengjøre og sentrifugere waferoverflaten.

Spesifikasjon

Utstyrsstørrelse:	2200 * 800 * 2200 (mm)
Laste- og lossemetoder	tørke inn/våt inn/tørke ut
Antall børsteenheter	2
Antall SRD-enheter	1
Transportmetode	Våtsonebeltetransport, tørrsonerobottransport
Størrelsen på utstyret med et børstekammer på 1 er 1850 * 800 * 2200

Pakking og levering

Selskapet profil

FAQ

1. Om pris:
Alle våre priser er konkurransedyktige og omsettelige. Prisen varierer avhengig av konfigurasjons- og tilpasningskompleksiteten til enheten din.

2. Om eksempel:
Vi kan tilby prøveproduksjonstjenester for deg, men du kan gi noen avgifter.

3. Om betaling:
Etter at planen er bekreftet, må du først betale oss et depositum, og fabrikken vil begynne å forberede varene. Etter
utstyret er klart og du betaler resten, vi sender det.

4. Om levering:
Etter at utstyrsproduksjonen er fullført, sender vi deg akseptvideoen, og du kan også komme til stedet for å inspisere utstyret.

5. Installasjon og feilsøking:
Etter at utstyret kommer til fabrikken din, kan vi sende ut ingeniører for å installere og feilsøke utstyret. Vi vil gi deg et eget tilbud for denne serviceavgiften.

6. Om garanti:

Vårt utstyr har 12 måneders garantiperiode. Etter garantiperioden, hvis noen deler er skadet og må skiftes, belaster vi kun kostprisen.