Automatisk enkelt platen krempleri mekanisk polerer Planarization CMP , China Automatisk enkelt platen krempleri mekanisk polerer Planarization CMP Manufacturers, Suppliers, Factory

Produktbeskrivelse

ATOM Single Platen CMP

Maskinens egenskaper

Enheten er fleksibel og kan støtte flere hoder.
Utstyrets prosesskapabilitet er nærme den hovedstrømsmodellenivået av produkter av samme størrelse.
God konsekvens mellom enheter i prosessen.

Anvendelsesområder

4-8 tommer STI, ILD/IMD, TSV, TGV polering og overflatepolering av sammensatte materialer som SiC, LT, LN, GaAs, osv.

Tekniske parametere

4-tommer, 6-tommer, 8-tommer hoder, flerzonkontroll
Type Φ20 tommer 508MM Plat
Hodetrykkkontrolls nøyaktighet <0.05PSI
Rotasjonshastighetskontroll for hode og plat <2RPM

1. LoadPort-enhet

Porten kan snus for å dypne Cassette i Qtank, unngår oppbygging av Slurry-kristaller på
polert overflate av Wafer. Utstyrt med Cassette Mapping-funksjon.

2. Robotmaterialehentingseining

Utstyrt med en 4-akselrobot som automatisk kan overføre plater fra Cassette til poleringsenheten.

3. Poleringsenhet

Denne enheten er utstyrt med Platen * 1, Hode * 1, PC *
1, Slurry Arm * 1, HCLU * 1, og EPD-sluttpunkt
deteksjon. Den kan oppnå automatisk lasting og avlasting av vafel, flersonehodekontroll, Slurry
nedsettelsespunktendring med Oppskriftsinnstillinger, sluttpunktendeteksjon og andre funksjoner.

CMP Poleringshode

Poleringshodene som er konfigurert på denne enheten er alle uavhengig utviklet, designet og produsert av vår bedrift.
Blant annet er 4-tommers 3-kaveringshode et unikt produkt skapt av vår bedrift, som fyller en kløft etter ingen flerkaverings 4-tommers hode i Kina. Vår bedrift kan raskt tilpasse eller tilrettelegge hodet etter produktets egenskaper hos kunden. Under utviklingen av TGV tynt film (200um) produkter ble det interne byggesettet i hodet endret for å oppfylle kravene til polering av tynt film. Under utviklingen av LN-overflate OX-poleringsteknologi har vår bedrift dypt oppgradert 6-tommers hodet og lykkedes å oppfylle kundens produktkrav.

Anvendelser

Tradisjonell IC planariseringspoleringsprosess;

TGV/TSV-prosess;

Smart Cut og Pre bonding CMP;

SIC substrat polering/gallium arsenid polering.

Spesifikasjon

Havn	Antall * 1, med Q-tank
Roboten	Antall * 1, for vafletoverføring
HCLU	Antall * 1, for automatisk lasting og avlastning av vafler
Poleringshode	Antall * 13 kamera kontroll, kontrollnøyaktighet på 0.1PSI, kan støtte 400-1200 UM vafeloperasjoner.
Fart på poleringshode	5-150OM
Poleringsplate	Antall * 1 Poleringsplate Størrelse 508mm, Poleringspadde Fart 10-150om.
Klippingsarm	Antall * 1 poleringspadde. Poleringspadden kan klippes online (samtidig) eller offline (etter polering). Denne klippings armen er utstyrt med en klippingsaks, som kan rotere og bevege seg opp og ned, og farten og nedtrykket kan kontrolleres. Den klippingsverktøyet er installert på klippingsaksen og kan raskt fjernes. I henhold til de ulike typer poleringspadder konfigureres ulike typer klippingsverktøy, inkludert klippings børster, diamantringe og diamantplater.
UPA poleringshode lufttrykkkontrollenhet	Mengde * 13Sone justerbar for bedre overflateplanleggings-effekt
Poleringsvæskedistribusjonspumpe	Mengde * 2. Peristaltiske pumper brukes for væskelevering, med 2 peristaltiske pumper konfigurert til å levere forskjellige poleringsvæsker til poleringsdisken. Hver pump kan brukes i ethvert steg av prosessen.
Slurry-arm	Mengde * 1 kan kontrollere nedslagspunktet for slurry og kan rengjøre poleringspadet.
Operasjonskontrollsystemet kan oppnå brukernivåkontroll, som operatørmodus, vedlikeholdsmodus og teknisk modus, og ulike moduser kontrolleres av passord. Systemprogrammet kan redigere prosessparametrene for hvert prosesskritt og planlegge og polere det tyne laget på chips-overflaten etter programmet. Det kan overvåke driftstilstanden til utstyr, overvåke og registrere data. prosesser parametere i sanntid, og programvaren kan automatisk lagre ulike prosessdata. Utstyrt med en nødstopp knapp, brukes til å stoppe utstyrets drift umiddelbart og kuppe kontrollstrømmen.

Pakking & Levering

Bedriftsprofil

FAQ

1. Om prisen:
Alle våre priser er konkurransedyktige og forhandlingsmessige. Prisen varierer avhengig av konfigurasjonen og tilpassingskompleksiteten på enheten din.

2. Om eksempel:
Vi kan levere eksempelproduksjonservices for deg, men du må betale noen gebyrer.

3. Om betaling:
Når planen er bekreftet, må du først betale en nedbetaling, og fabrikken vil begynne å forberede varer. Når
utstyret er klart og du har betalt resten, vil vi sende det.

4. Om levering:
Etter at produksjonen av utstyr er ferdig, vil vi sende deg akseptansekvideoen, og du kan også komme til stedet for å inspisere utstyret.

5. Installasjon og feilsøking:
Etter at utstyret har ankommet fabrikkene dine, kan vi sende ingeniører for å installere og调试utstyret. Vi vil gi deg en separat tilbud for denne tjenestekostnaden.

6. Om garanti:
Vårt utstyr har en garanti på 12 måneder. Etter garantiavgangen, hvis noen deler blir skadet og må byttes ut, vil vi bare beregne kostprisen.

Hjemmeside

Om Oss

MH Equipment

Løsning

Utlandbrukere

Video

Kontakt oss

Automatisk enkelt platen krempleri mekanisk polerer Planarization CMP

Maskinens egenskaper

Anvendelsesområder

Tekniske parametere

1. LoadPort-enhet

2. Robotmaterialehentingseining

3. Poleringsenhet

Flere produkter

MD-FS Serie Kondensatorrulleringsmaskin

MD-FDS Serie Automatisk Kondensatorrulleringsmaskin

MD-EFS serie Kondensatorrulleringsmaskin

MD-EDFS Serie Filmkondensatorrulleringsmaskin

Spørre

Articles

Products

Get In Touch