CVD-utstyr for graphene og karbonnanorørmaterialer / Halvlederutstyr , China CVD-utstyr for graphene og karbonnanorørmaterialer / Halvlederutstyr Manufacturers, Suppliers, Factory

Produktbeskrivelse

CVD-utstyr for graphene og karbonnanorørmaterialer

Utstyret brukes hovedsakelig til prosessbehandling av graphene og nanomaterialer; Diffusjon, oksidering og annealing av polycrystallin silisium og siliconkarbid.

CVD Equipment for Graphene and Carbon Nanotube Materials / Semiconductor equipment details

CVD Equipment for Graphene and Carbon Nanotube Materials / Semiconductor equipment factory

Spesifikasjon

byggestil	Horisontal, enkelt- eller flertybelsystem med automatisk kontroll
Tilpasset kryssformat	2-8"
Metode for levering og henting av plater	Automatisk kantelert kvarts trykk-drag båt, kombinert med manuell plassering og frigjengelse av chips.
Maksimal temperatur	1050℃
Arbeidstemperatur	400 ℃~850 ℃ kontinuerlig justerbar
Enkelt-punkt temperaturstabilitet	400℃~850℃≤±0.5℃/24h
Systemgrense for vakuum	Bedre enn 1Pa
pumpfart	Pumptid til grensevakuum < 15Min
arbeidstrykkområde	5Pa til 1 × 105Pa kontinuerlig justerbar
Strømforsyning	3 fasjer 5-tråd 380V±10%, 50Hz
Kjølevann	2~4Kgf/cm², 8L/min;

Pakking & Levering

Bedriftsprofil

Vi har 16 års erfaring med utstyrssalg. Vi kan tilby deg en fulltjenestelig løsning for Semiconductor Front-end og Back end Package Line utstyr fra Kina.