1. Ved å ta i bruk en 355nm UV-laser, som er et produkt med uavhengige immaterielle rettigheter og har et amerikansk oppfinnelsespatent, har den stabil ytelse, god spotmodus og kan fungere stabilt i lang tid.
2. Opp og ned CCD-konfigurasjon, egnet for gjennomsiktig og semi-transparent waferposisjonering.
3. Laserstrålen fokuserer på et fint punkt, med maksimalt 4 μm og en dybde på ≥ 25 μ
4. Pålitelig og høypresisjon XY - θ 5. Effektivt og fleksibelt programvareoperativsystem, intuitivt grensesnitt og enkelt
operasjon.