Slipbar oblat |
Størrelse |
inches |
4,5,6,8 |
Wafer cassette |
Nr |
- |
2 |
Gnir måte |
- |
Vertikal dykslipemetode |
|
Slipehjulspindel |
Typer |
- |
Luftlagre |
Antall |
- |
2 |
|
Speed |
rpm |
0 ~ 5000 |
|
Utgangseffekt |
Kw |
5.5/7.5 |
|
Stroke |
mm |
150 |
|
Matehastighet |
um/s |
0.01 ~ 100 |
|
Rask hastighet fremover |
mm / min |
300 |
|
oppløsning |
um |
0.1 |
|
Arbeidsstykkeakse |
typen |
- |
Kulelager |
Antall |
- |
3 |
|
Sugekopp type |
- |
Mikroporøs keramikk |
|
Wafer sugemetode |
- |
Vakuum adsorpsjon |
|
Speed |
rpm |
0 ~ 300 |
|
Waferoverføring |
- |
Robotarm |
|
- |
Roterende disk |
||
Andre funksjoner |
Wafer sentrering |
- |
Mobile pin alignment |
Wafer rengjøring |
- |
Water and air cleaning,spin drying |
|
Rengjøring av sugekopper |
- |
Oilstone cleaning |
|
Slipehjul |
mm |
Φ200 |
|
på nett måling |
Måleområde |
um |
0 ~ 1800 |
oppløsning |
um |
0.1 |
|
Gjenta nøyaktighet |
um |
± 0.5 |
|
maskinering nøyaktighet |
Intra-wafer nøyaktighet (TTV) |
um |
≤ 2 |
Inter-wafer nøyaktighet (WTW) |
um |
± 3 |
|
Overflateruhet (Ry) |
um |
0.13(2000#finish) |
|
Utseende |
Utseende farging |
um |
Oransje mønster |
Dimensjoner (B x D x H) |
mm |
1200 × 2750 × 1950 |
|
Vekt |
kg |
4200 |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Alle rettigheter forbeholdt