Modell |
MDTS-WT2200 |
Antall tyndningsakser |
2 |
Antall arbeidsbenker |
3, Indeksmetode |
Slåsspinne for slåsstein |
Antall luftspindler: 2 Spindlemotor: 7,5kW variabel frekvensmotor Hastighet: 0~6000rpm, trinnløs justerbar Skrivehjulspeksifikasjon: Φ203mm Skrivehjulstype: diamantskrivehjul |
Skrivehjulsføringssystem |
Antall: 2 sett Fødesystemstyringsmetode: LM-veiledning og kuleorm kombinasjon Drikkemotor: servomotor Laveste fødehastighet: 0.1um/sec Høyeste fødehastighet: 50mm/sec |
Arbeidsbenk |
Mengde: 3, indeksmodus Spindelmotor: Servomotor Hastighet: 0~300rpm, trinnløs justerbar Adsorptionsmetode: vakuumadsorpsjon |
Arbeidsbordsvendestolpe |
Drivemodus: servomotor Rotasjonsomfang: 0~240° Posisjonsform: sensorbasert posisjonering |
Automatisk tykkelse Målingssystem |
Målemetode: IPG kontakt pålinje real-tid-måling Antall målehoder: 2 Målesensor: 0,1um nivåsensor |
Automatisk lasting/ avlastingsystem |
Bokstype: 6-8 tommer Cassette, 25 lag Automatisk lastings-/avlastingsmetode: wafer manipulator brukes for å sikre at tynne wafers transporteres uten skade Wafer tykkelse: 150um-1000um |
Arbeidsbordrensing funksjon |
Rensemetode: Oljestein polering & DI vann+luft tofluider spoling |
Automatisk renning/ tørringsystem |
Rensning: DIW dusj renning Tøringsmetode: Blåsning +tørring Fart: max1000rpm trinnløst justerbar |
Statisk eliminering system |
Ion bar orion fan |
Spindel kjøler |
Temperatur: 18-22°C Strømrate: 4~8L/min |
Kontrollsystem |
Kontrollsystem: PC-kontrollsystem, berøringskjerm med trefargealarmlys Kinesisk/engelsk brukergrensesnitt |
Maksimal platerstørrelse |
Maksimalt kompatibel med 8 tommer |
Hastighetsområde |
0~6000 OMD |
Z-akse bevegelse |
160mm |
Z-akse matehastighet |
0.1~100um/sec |
Z-akse rask tilbaketrekkfart |
50mm/sec |
Oppløsning på Z-aksen |
0.1um |
Målemessig tykkelse på nettet |
0~1800um |
Oppløsning av måling av tykkelse på nettet |
0.1um |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved