Integrert løsning for halvlederemballasje Fjerningsmaskin for mikrobølgeplasmafotoresist, Kina Integrert løsning for fjerningsmaskin for halvlederemballasje Mikrobølgeplasmafotoresistfjerningsmaskin produsenter, leverandører, fabrikk

produktbeskrivelse

Mikrobølgeplasma fotoresist fjerningsmaskin

Plasma integrert løsning for halvlederemballasje

Integrert løsning for halvlederemballasje

Mikrobølgeplasma fotoresistfjerningsmaskin er et lavspente mikrobølgeplasma fotoresistfjerningssystem spesielt utviklet for halvledere. Ved å bruke en frekvens på 2.45 GHz mikrobølge til vinduet på veggen av vakuumkammeret, genereres en stor og kontinuerlig mengde plasma, som kommer inn i kammeret for prosessrengjøring av brikken. Passer for forskjellige størrelser av materialbokser, den kan møte forskjellige behov og tilby tilpassede løsninger.

Integrert løsning for halvlederemballasje Produksjon av maskiner for fjerning av fotoresist i mikrobølgeplasma

Spesifikasjon

PLASMA kilde	mikrobølgeovn
makt	0-1250W
arbeidsplass	6 magasinserier (magasinstørrelsesområde: L260mmxB95mmxH190mm)
behandlingskapasitet	35um Pitch/40um Bump15x15mm maksimal dysestørrelse
Utseende dimensjoner	480mmx470mmx500mm
Systemkontroll	Industrielt kontrollsystem
Automatiseringsnivå	Håndbok