struktur |
illustrer |
Eksponering av bordet |
Eksponeringsområde: bordet, substratplasseringsområde |
Optisk system |
Laserutslipp formgiving område |
Miljøkontrollsystem |
Kontrollerer den interne temperaturen og positivtrykket i enheten |
Plattformsystem |
Kontrollerer bevegelsen av utsynstolen for å fullføre eksponeringsbanens operasjon |
Kontrollsystem |
Kontrollsystem for hele utstyret |
Nei. |
Miljø |
Kreve |
1 |
Lyskilde miljø |
Gul lys |
2 |
Temperatur |
22℃±2℃ |
3 |
Fuktighet |
50%±10% |
4 |
Reinsle |
1000 |
5 |
CDA |
0.6±0.1Mpa, 200LPM, tørr, ren luft |
6 |
Strømforsyning |
220~240V, 50/60Hz, 2.5KW; Jorda må være jordet, |
7 |
Kjølevann |
Temp.：10℃~ 20℃ Trykk：0.3MPa ~ 0.5MPa Strømrate：20L/min Trykkforskjell：0.3MPa eller mer Koblingsdimensjon：Rc3/8 |
8 |
Lokasjon |
nivå：±3mm/3000mm svingning：VC-B Bearing：750kg/㎡ |
10 |
Internett |
Én nettverksport |
11 |
Maskinstørrelse |
1300*1100*2100mm |
12 |
Enhetens vekt |
1500 kg |
Nei. |
Prosjekt |
Spec. |
Merknad |
1 |
Oppløsning |
0.6um/eller annet krav |
AZ703、AZ1350 |
2 |
CDU |
±10%@1um |
|
3 |
Substratetykkelse |
0.2mm～4mm |
|
4 |
Dato nett nøyaktighet |
60nm |
|
5 |
Overføring |
±500nm |
130mmx130mm |
6 |
Sammenstilling nøyaktighet |
±200nm |
AZ703 |
7 |
Maksimal eksponeringsstørrelse |
190X190mm |
|
8 |
Gjennomføring |
≥300mm²/min |
≤50mj/cm²; |
9 |
lyskilde |
LD 375nm |
|
10 |
lysstyrke |
6W |
|
11 |
Energiuniformitet |
≥95 % |
|
12 |
lys livstid |
10000timer |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
