Vakuum plasma vertsenhet(150) | ||||
Utstyrsstørrelse | L 1100×B 940×H 1755mm | |||
vekt | 600Kg | |||
Etterspør strømforsyning | AC380V, 50 / 60Hz, 5 linjer, 25A (total åpen type over C) | |||
Plasmagenerator spesifikasjon | ||||
makt | radiofrekvens | middels frekvens | ||
0 ~ 1000W | 0-2000W | |||
tilførselsfrekvens | 13.56MHz | 40 K Hz | ||
Vakuumsystem | ||||
støvsuger pumpe | Leap monopol pumpe VSV 65 + Bowse Lots pumpe BSJ 70 | |||
vakuumrørledning | Helt rustfritt stållinje, samt høystyrke vakuumbelger | |||
materialkvalitet | alufer | |||
tykkelse | 25mm | |||
tetthet | Sveiseforsegling av militær kvalitet | |||
Innvendige dimensjoner av hulrommet | 500*500*600 mm (Bredde* høy * dybde) | |||
Elektrisk plate effektiv størrelse | 372 (B) X 451 (D) mm | |||
Tilgjengelig plass avstand | 24mm | |||
Elektroplatearrangement | Horisontal elektrodeplate | |||
skuffer | Standard sett, materiale valgfritt (aluminium, ståltrådnett) | |||
arbeidsplass | 8 lag | |||
Prosessgass | ||||
Strømningsområde | 0~300SCCM | |||
Prosessgassgassrute | Standard med to måter, kan tilpasses. Prosessgassrørledningen er laget av ferroflon | |||
Control System | ||||
SC | PC-kontroll | |||
interaktiv modus | Windows -grensesnitt |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Alle rettigheter forbeholdt