Vakuumplasmavert (200) |
||
Utstyrsstørrelse |
1050×1700×1050mm (bredde, høyde og dybde) |
|
Vekt |
800 kg |
|
krav om strøm |
AC380V,50/60Hz,5tråder, 30A |
|
Plasmaspesifikasjoner for generatoren |
||
hovedstrøm |
radiobølge |
hvis |
0~1000W |
0-2000W |
|
Strømfrekvens |
13,56 MHz |
40 KHz |
vakuum system |
||
vakuumpumpe |
Feiyue enkeltkant pump VSV100+To Roots-pumper BSJ70 |
|
vakuumlinje |
Alle edelstål rør, og høytryks vakuumfleks |
|
Materiale |
Aluminiumlegering |
|
Tykkelse |
25mm |
|
tettet |
Hærskikkertets veldet segl |
|
Innbyrdes dimensjoner av hullrommet |
600×600×600mm(B×H×D) |
|
Effektiv størrelse på elektrodeplaten |
472 X 451mm (B×D) |
|
tilgjengelig rom |
35mm |
|
Elektrodplateres oppsett |
Horisontal elektrode plate |
|
arbeidsbakke |
En sett er standard, og materialet er valgfritt (aluminium, stålmaske) |
|
arbeidsområde |
8 etasjer |
|
Prosessgass |
||
Strømomsikt |
0~300SCCM |
|
Prosessgassirkulering |
Utstyrt med O2, Ar, N2 treveisgass |
|
Kontrollsystem |
||
Systemkontroll |
PC-kontroll |
|
interaktiv modus |
Windows-grensesnitt |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved