Vakuum plasma vert(200) |
||
Utstyrsstørrelse |
1050×1700×1050mm (bredde, høyde og dybde) |
|
vekt |
800Kg |
|
kreve kraft |
AC380V,50/60Hz,5wires, 30A |
|
Plasmagenerator spesifikasjoner |
||
nettstrøm |
radiofrekvens |
IF |
0 ~ 1000W |
0-2000W |
|
Strømfrekvens |
13.56MHz |
40 KHz |
Vakuumsystem |
||
støvsuger pumpe |
Feiyue unipolar pumpe VSV100+Both Roots pumpe BSJ70 |
|
vakuum linje |
Alle rustfrie stålrør, og høystyrke vakuumbelger |
|
materiale |
aluminiumslegering |
|
tykkelse |
25mm |
|
tetthet |
Sveiset tetning av militær klasse |
|
Innvendige dimensjoner for hulrom |
600×600×600 mm (B×H×D) |
|
Effektiv størrelse på elektrodeplaten |
472 X 451 mm (B×D) |
|
plass tilgjengelig |
35mm |
|
Elektrodeplateoppsett |
Horisontal elektrodeplate |
|
arbeidsbrett |
Ett sett er standard, og materialet er valgfritt (aluminium, stålnett) |
|
Arbeidsområde |
8 etasjer |
|
Prosessgass |
||
Strømningsområde |
0~300SCCM |
|
Prosessgasskrets |
Utstyrt med O2, Ar, N2 treveisgass |
|
Control System |
||
systemkontroll |
PC-kontroll |
|
interaktiv modus |
Windows-grensesnitt |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Alle rettigheter forbeholdt