Vakuumplasmavert (200) |
||||
Utstyrsstørrelse |
1050×1700×1050mm (bredde, høyde og dybde) |
|||
vekt |
800 kg |
|||
krav om strøm |
AC380V,50/60Hz,5tråder, 30A |
|||
Plasmaspesifikasjoner for generatoren |
||||
hovedstrøm |
radiobølge |
Hvis |
||
0~1000W |
0-2000W |
|||
Strømfrekvens |
13,56 MHz |
40 KHz |
||
Vakuum system |
||||
vakuumpumpe |
Feiyue enkeltkant pump VSV100+To Roots-pumper BSJ70 |
|||
vakuumlinje |
Alle edelstål rør, og høytryks vakuumfleks |
|||
materiale |
Aluminiumlegering |
|||
tykkelse |
25mm |
|||
tettet |
Hærskikkertets veldet segl |
|||
Innbyrdes dimensjoner av hullrommet |
600×600×600mm(B×H×D) |
|||
Effektiv størrelse på elektrodeplaten |
472 X 451mm (B×D) |
|||
tilgjengelig rom |
35mm |
|||
Elektrodplateres oppsett |
Horisontal elektrode plate |
|||
arbeidsbakke |
En sett er standard, og materialet er valgfritt (aluminium, stålmaske) |
|||
Arbeidsområde |
8 etasjer |
|||
Prosessgass |
||||
Strømomsikt |
0~300SCCM |
|||
Prosessgassirkulering |
Utstyrt med O2, Ar, N2 treveisgass |
|||
Kontrollsystem |
||||
systemkontroll |
PC-kontroll |
|||
interaktiv modus |
Windows-grensesnitt |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved