Vakuum plasma vert (200) | ||||
Utstyrsstørrelse | 1050×1700×1050mm (bredde, høyde og dybde) | |||
vekt | 800Kg | |||
kreve kraft | AC380V,50/60Hz,5wires, 30A | |||
Plasmagenerator spesifikasjoner | ||||
nettstrøm | radiofrekvens | IF | ||
0 ~ 1000W | 0-2000W | |||
Strømfrekvens | 13.56MHz | 40 KHz | ||
Vakuumsystem | ||||
støvsuger pumpe | Feiyue unipolar pumpe VSV100+Both Roots pumpe BSJ70 | |||
vakuum linje | Alle rustfrie stålrør, og høystyrke vakuumbelger | |||
materiale | aluminiumslegering | |||
tykkelse | 25mm | |||
tetthet | Sveiset tetning av militær klasse | |||
Innvendige dimensjoner for hulrom | 600×600×600 mm (B×H×D) | |||
Effektiv størrelse på elektrodeplaten | 472 X 451 mm (B×D) | |||
plass tilgjengelig | 35mm | |||
Elektrodeplateoppsett | Horisontal elektrodeplate | |||
arbeidsbrett | Ett sett er standard, og materialet er valgfritt (aluminium, stålnett) | |||
Arbeidsområde | 8 etasjer | |||
Prosessgass | ||||
Strømningsområde | 0~300SCCM | |||
Prosessgasskrets | Utstyrt med O2, Ar, N2 treveisgass | |||
Control System | ||||
systemkontroll | PC-kontroll | |||
interaktiv modus | Windows-grensesnitt |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Alle rettigheter forbeholdt