MDHS-AL8 8" Fullstendig automatisk ensidig litografi maskin , China MDHS-AL8 8" Fullstendig automatisk ensidig litografi maskin Manufacturers, Suppliers, Factory

Produktbeskrivelse

MDHS-AL8 8" Fullstendig automatisk ensidig litografi maskin

1. Arbeidsmodus: Innlastingsroboten laster automatisk plater fra A-B (gjentasbar) platerboks til forhåndsposisjonsarbeidsbordet

arbeidsbord, og gjennom justeringen av kameraets posisjonskort for vafeter og automatiske roteringsystem, oppnås forhåndsposisjoneringen av vafeter; Lasterobotten laster deretter de forhåndsposisjonerte vafetene på justeringsarbeidsbordet. Gjennom datamaskinbasert bildegenkjenning og justering av automatiske justeringsystemer kan den automatiske justeringen av grafikkene på masken og vafetene oppnås. Det er også mulig å fullføre en utssetting uten å justere grafikken. Etter automatisk utssetting av overutssettingsystemet plasserer utlastingsroboten vafetene automatisk i C-D (gjentakelige) vafetekasse.
2. Utssettingsområde: 160 × 160mm;
3. Ujevne utssettingsstråling: ≤ 3%;
4. Utssettingsintensitet: 0~≥ 40mw/cm2 justerbar (stråleflatevinkel 2 °);
5. UV-stråleflatevinkel: ≤ 3 °;
6. Sentrallengde for ultraviolettlys: 365nm;
7. UV-lys supplyslivstid: ≥ 20000 timer;
8. Separasjonskapasitet: 0~≥ 1000um justerbar;
9. Justeringsnøyaktighet: ≤ ± 1.5 μ M;
10. Eksponeringsnøyaktighet: Kontakteksponering ± 1 μm. Nær eksponering med separasjon på 20 μm, strålevinkel 2 ° ≤ ± 2 μm
11. Eksponeringsmetoder: hard kontakt, bløt kontakt og nær eksponering;
12. Eksponeringsmodus: Du kan velge mellom enkelt eksponering eller forskyvningseksponering
13. Forhåndsposisjonsbildekjennings- og automatiske rotasjonssystem (inkludert forhåndsposisjonstilbake): rotasjonsvinkel Q ≥ ± 180 °, rotasjonsnøyaktighet Q ≤ 0,01 °;
14. Bildekjennings- og automatiske justeringssystem (inkludert UVW-justeringsbord): justeringsomfang X Y ≥ ± 5mm, rotasjonsvinkel Q ≥ ± 3 °, og de to objektivene til mikroskopet styres av to XYZ-elektriske plattformer.
15. Maskestørrelse: 5 "× 5" og 7" × 7 ";
16. Waferstørrelse: 4 "og 6";
17. Øvre og nedre filmkassearbeidsstasjoner: dobbel stasjon;
18. Fodestøtte luftpusjer
19. Lasting og avlastning med dobbeltarm robotarm: Z ≥ 350mm, R135mm;
20. Antall wafers i waferboksen: bestemt ut fra antall wafers i kundens waferboks;
21. Lifting av posisjoneringstabellen: Z ≥ ± 25mm;
22. Eksponeringstid: justerbar fra 0 til 999,9 sekunder;
23. Produksjonsrytme: >120 stk per time;
24. Strømforsyning: enkelfase AC220V 50Hz, strømforbruk ≤ 3KW;
25. Ren lufttrykk: ≥ 0,4MPa;
26. Vakuumgrad: -0,07MPa~-0,09MPa;
27. Størrelse: 1400 * 1000 * 2100mm;
28. Vekt: Omtrent 400kg

MDHS-AL8 8" Fully automatic single-sided lithography machine supplier

Denne maskinen består av en LED ultraviolett eksponeringshode, et bildegenkjennings- og automatisk rotasjonssystem, en forhåndsposisjonert arbeidsbord, og et bilde- lignende genkjennings- og automatisk justeringsystem, justeringsarbeidsbord, innlastingsrobotter, utlastingsrobotter, rålinger, og elektrisk styring Bestående av utstyr, reservadele m.m.

Spesifikasjon

1. Eksponeringshode: En LED ultraviolett eksponeringshode (365nm);
2. Bildegjenkjenning og forhåndsjusteringsarbeidsbord:
1) 1 kamera (1,3 million piksler)
2) Sentrumsposisjonsfiksering
3) 1 sett med roterende plattform (bruker servomotor)
4) 1 sett med posisjonsystem
3. Bildegjenkjenning og automatisk justeringssystem:
1) 2 kamere (5 millioner piksler høy rammefrekvens)
2) 2 linser (4x høyoppløsningslinse)
3) En industriell datamaskin
4) En kontroller (styrtes av PLC)
5) Et sett av justeringsplattform (bruker 5-faseskrittmotor)
6) Et sett med bevegelsessystem
7) Toppleddet bruker en motor for heving og senking
7) Programvaren bruker den nyeste versjonen av LabVIEW Professional Edition
4. Lasting og avlastingsmekanisk arm:
1) X Y. Et Z automatisk flyttingssystem
2) Toarmet robotarm (lasting og avlastingsarme)
5. Waferboksfixeringsmekanisme:
1) AB er fast posisjonsfestering av matingsboksen
2) CD er den faste posisjoneringen av skjæringsfilmboksen
3) G er den faste posisjoneringen av NG-posisjonsfilmboksen
6. Kamerafast plattform:
7. To sett med Y.Z elektriske justeringsmekanismer (kontrollert av servomotorer)
8. Rake og elektrisk kontrollsenter:
1) 1 industriell datamaskin
2) Ett sett med PLC;
3) Ett sett med elektromagnetiske ventilere og kontrollsystem
4) Et sett med digitale pneumatikkinstrumenter
5) Ett sett med kontrollsenter
8. Reserveringsvedlegg:
1) Trakeal: 15 meter
2) 2 solenoider
3) Vakuum pomp: 1 enhet
9. Tekniske data:
1) En brukermanual
2) Et sertifikat om overensstemmelse
10. Tilleggsinformasjon
Programvaren til utstyr må være utstyrt med SECS kommunikasjonsprotokoll, og kjøperen leverer en dynamisk bibliotek med funksjonen for å koble til kjøperens MES-system, automatisk registrering av produktbatchnummer, jobbnummer og driftsstatus og opplasting av disse. Samtidig har det funksjonen for å identifisere QR-koden på maskeplaten, sammenligne den med QR-koden på maskeplaten i MES-systemet og forhindre at feil maskeplate blir tatt.

Pakking & Levering