MDHS-AL8 8" Helautomatisk ensidig litografimaskin , Kina MDHS-AL8 8" Helautomatisk ensidig litografimaskin Produsenter, leverandører, fabrikk

produktbeskrivelse

MDHS-AL8 8" Helautomatisk ensidig litografimaskin

1. Arbeidsmodus: Lasteroboten laster automatisk wafere fra AB (resirkulerbare) wafer-boksen til forhåndsposisjoneringen

arbeidsbenk, og gjennom justering av kameraposisjoneringsplaten og det automatiske rotasjonssystemet, oppnås forhåndsposisjoneringen av skiven; Lasteroboten laster deretter de forhåndsposisjonerte skivene på justeringsarbeidsbenken. Gjennom datamaskinbildegjenkjenning og automatisk justeringssystem kan den automatiske justeringen av grafikken på masken og skivene oppnås. Det er også mulig å fullføre én eksponering uten å justere grafikken. Etter automatisk eksponering av overeksponeringssystemet, plasserer avlastingsroboten automatisk wafere i CD (resirkulerbare) wafer-boksen.
2. Eksponeringsområde: 160 × 160 mm;
3. Ujevn eksponeringsbelysningsstyrke: ≤ 3 %;
4. Eksponeringsintensitet: 0~≥ 40mw/cm2 justerbar (strålevinkel 2°);
5. UV-strålevinkel: ≤ 3 °;
6. Senterbølgelengde for ultrafiolett lys: 365nm;
7. UV-lyskildens levetid: ≥ 20000 XNUMX timer;
8. Separasjonskapasitet: 0~≥ 1000um justerbar;
9. Justeringsnøyaktighet: ≤ ± 1.5 μM;
10. Eksponeringsnøyaktighet: Kontakteksponering ± 1 μm. Nær eksponeringsseparasjon på 20 μ M strålevinkel 2 ° ≤ ± 2 μ M
11. Eksponeringsmetoder: hard kontakt, myk kontakt og nærhetseksponering;
12. Eksponeringsmodus: Du kan velge mellom engangseksponering eller forskjøvet eksponering
13. Preposisjonsbildegjenkjenning og automatisk rotasjonssystem (inkludert arbeidsbenk for forhåndsposisjonering): rotasjonsvinkel Q ≥ ± 180 °, rotasjonsnøyaktighet Q ≤ 0.01 °;
14. Bildegjenkjenning og automatisk justeringssystem (inkludert UVW justering arbeidsbenk): justeringsområde XY ≥ ± 5 mm, rotasjonsvinkel Q ≥ ± 3 °, og to linser i mikroskopet styres av to XYZ elektriske plattformer.
15. Maskestørrelse: 5 " × 5" og 7 " × 7 ";
16. Wafer størrelse: 4 "og 6";
17. Øvre og nedre filmboks arbeidsstasjoner: doble arbeidsstasjoner;
18. Fotpute kollisjonspute
19. Lasting og lossing av robotarm med to armer: Z ≥ 350 mm, R135 mm;
20. Antall wafere i waferboksen: bestemmes basert på antall wafers i kundens wafereske;
21. Posisjoneringsbordløfting: Z ≥ ± 25mm;
22. Eksponeringstid: justerbar fra 0 til 999.9 sekunder;
23. Produksjonsrytme:>120 stykker i timen;
24. Strømforsyning: enfaset AC220V 50Hz, strømforbruk ≤ 3KW;
25. Ren lufttrykk: ≥ 0.4 MPa;
26. Vakuumgrad: -0.07MPa~-0.09MPa;
27. Størrelse: 1400 * 1000 * 2100mm;
28. Vekt: Omtrent 400kg

Denne maskinen består av et LED ultrafiolett eksponeringshode, et bildegjenkjennings- og automatisk rotasjonssystem, en forhåndsplassert arbeidsbenk og et bildegjenkjennings- og automatiske innrettingssystemer, arbeidsbenker for justering, lasteroboter, losseroboter, stativer og elektrisk kontroll som består av utstyr , reservetilbehør osv.

Spesifikasjon

1. Eksponeringshode: Ett LED ultrafiolett eksponeringshode (365nm);
2. Bildegjenkjenning og forhåndsjustering arbeidsbenk:
1) 1 kamera (1.3 millioner piksler)
2) Midtposisjonsfeste
3) 1 sett med roterende plattform (ved hjelp av servomotor)
4) 1 sett med posisjoneringssystem
3. Bildegjenkjenning og automatisk justeringssystem:
1) 2 kameraer (5 millioner piksler høy bildefrekvens)
2) 2 linser (4x høyoppløselig linse)
3) En industriell datamaskin
4) En kontroller (styrt av PLS)
5) Ett sett med justeringsplattform (med 5-faset trinnmotor)
6) Et sett med sportssystem
7) Toppplateanordningen bruker en motor for løfting og senking
7) Programvaren bruker den nyeste versjonen av LabVIEW Professional Edition
4. Lasting og lossing av mekanisk arm:
1) X Y. Et sett med Z automatisk bevegelsesmekanisme
2) Robotarm med to armer (laste- og lossearmer)
5. Festemekanisme for oblatboks:
1) AB er den faste plasseringen av matefilmboksen
2) CD er den faste plasseringen av kuttefilmboksen
3) G er den faste plasseringen av NG-posisjonsfilmboksen
6. Kamera fast plattform:
7. To sett med YZ elektriske justeringsmekanismer (styrt av servomotorer)
8. Stativ og elektrisk kontrollkonsoll:
1) 1 industriell datamaskin
2) Ett sett med PLS;
3) Ett sett med magnetventiler og kontrollsystem
4) Et sett med digitale pneumatiske instrumenter
5) Ett sett med kontrollkonsoll
8. Reservetilbehør:
1) Trakeal: 15 meter
2) 2 magnetventiler
3) Vakuumpumpe: 1 enhet
9. Tekniske data:
1) En brukerveiledning
2) Ett samsvarssertifikat
10. Tillegg
Utstyrsprogramvaren må være utstyrt med SECS-kommunikasjonsprotokoll, og kjøperen gir et dynamisk bibliotek med funksjonen å dokke med kjøperens MES-system, automatisk registrere produktbatchnummer, jobbnummer og driftsstatus og laste dem opp. Samtidig har den funksjonen til å identifisere maskeplatens QR-kode, sammenligne den med MES-systemets maskeplate QR-kode, og forhindre at feil maskeplate blir tatt.

Pakking og levering