MDICP-5000F Fullstendig automatisk ICP Etchingsmaskin / Halvlederutstyr Induktivt koblet plasma , China MDICP-5000F Fullstendig automatisk ICP Etchingsmaskin / Halvlederutstyr Induktivt koblet plasma Manufacturers, Suppliers, Factory

Produktbeskrivelse

MDICP-5000F Fullt automatisk ICP etching maskin

MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory

Executive summary

Utstyret er et to-kammer vakuum system. Én kamer er injeksjonssamplingkammeret og den andre er etchingskammeret. En vakuumlås er installert mellom injeksjonssamplingkammeret og etchingskammeret, og injeksjonssamplingen transporteres av manipulator.
Utstyret består hovedsakelig av vakuum system, gassystem, elektrisk system, kontrollsystem, kjølingsystem, filmforsyning og -uttaksmekanisme, alarm system etc.

vakuum system

Systemet består av en molekylpumpe med pumpefart på 600 L/s + en importert vakuumtørkepumpe med pumpefart på L/s for å pumpe etterskårsrommet til høy vakuum. En elektrisk dynamisk trykkreguleringsventil er installert mellom molekylpumpen og etterskårsrommet. Den importerte tørkepumpen er den forhåndsoppumpende pumpen for etterskårsrommet og den forstegradige pumpen for molekylpumpen. Bruk en annen mekanisk pumpe med pumpefart på L/s for å oppnå vakuum i prøverommet. Stålspænding brukes til kobleme mellom mekanisk pumpe og vakuumrom, og mellom molekylpumpe, og det er installert en elektromagnetisk pneumatisk blokkventil.

Konstant trykk kontrollsystem

Utstyret er utstyrt med et nedstrøms konstant trykkstyringssystem, og et elektrisk justerbart ventil er installert i lufttrekkspipelinjen. Gjennom måling av filmtykkelse (importerte deler) styres det justerbare ventilet for å gjøre vacuumkammeret til å oppnå konstant trykk, for å forbedre prosessstabiliteten.

Konstant trykk kontrollsystem

Utstyret er utstyrt med et nedstrøms konstant trykkstyringssystem, og et elektrisk justerbart ventil er installert i lufttrekkspipelinjen. Gjennom måling av filmtykkelse (importerte deler) styres det justerbare ventilet for å gjøre vacuumkammeret til å oppnå konstant trykk, for å forbedre prosessstabiliteten.

Gassirkulasjonssystem

To sett med RF-strømforsyninger med automatisk matching.

alarm system

Sikkerhetskrav for utstyr.

Spesifikasjon

Navn	Spc	Merke	Nr.\/Set	Merk
Forkantingskammer, lufttrekkspipeline, observasjonsvindu, reservert grensesnitt, osv	Standard	JSWN	1	Antikorrosiv
Ramme, elektrisk skap, seglinger, standarddeler, osv	Standard	JSWN	1
Liftsystem for etchingskammerdekket	Standard	JSWN	1	Antikorrosiv
Etchingselde og kjølesystem	Standard	JSWN	1	Antikorrosiv
Molekylær pump (pumpfart 600 L/s)	FF620/150	KYKY	1	Antikorrosiv
Inngangstørre pump (pumpfart 9 L/s)	XDS-35I	Edwards	1	Antikorrosiv
Maskinpump (pumpfart 9 L/s)	TRP-36	BWVAC	1
Elektrisk reguleringssporvannsklaff	DCQ-150	JSWN	1	Antikorrosiv
Pneumatisk membranstopklaff	KF40	JSWN	3	Antikorrosiv
Filkvaløp	KF16	INFICON	1	Antikorrosiv
Massestrømregulator	D07	Sevenstar	4	Antikorrosiv
Pneumatisk membranventil	1/4″VCR	-	4	Antikorrosiv
Rørsystem av edelstål, rørkoblinger etc.	1/4″VCR	-	4	Antikorrosiv
RF-strømforsyning / automatisk matcher	-	Kina(OptionalCROWN1310)	1
RF-strømforsyning / automatisk matcher	-	Kina(OptionalCROWN1310)	1
Sammensatt vakuum-måler	ZDF	RB	1
ipc	2U	Kina	1
lcd berøringsskjerm	17 tommar	Kina	1
plc styringssystem	S7-200	Siemens	1
Elektrisk drivkontrollsystem	Standard	JSWN	1
Kjølevannsdeteksjon og rørleddsystem	Standard	JSWN	1
Deteksjon av komprimert luft og rørledningssystem	Standard	JSWN	1
Kjøling av sirkulerende vannmaskin	HX	Kina	1
Etchingsprøytekkelse	Standard	JSWN	1
Vakuumlås	SMC	SMC	1
Manipulatorstyringssystem	SMC	SMC	1

Teknisk parameter for e-post

1. Grensevakuum: Etchingskammer 9.0×10-5Pa (Innendørs fuktighet≤55%)
Injeksjonssamplingkammer 6.0×10-1Pa
2. Etchingmateriale: Ⅲ, Ⅴ materiale, Si, SiO2, osv.
3. Etchingshastighet: ~ 1μ/min
4. Etchings likehet: ≤±5％(φ125mm område)
6. Elektrode størrelse: φ200mm

Pakking & Levering

For bedre å sikre sikkerheten til varene dine, vil profesjonelle, miljøvennlige, praktiske og effektive emballasjetjenester bli levert.

Bedriftsprofil

Vi har 16 års erfaring med utstyrssalg. Vi kan tilby deg en fulltjenestelig løsning for Semiconductor Front-end og Back end Package Line utstyr fra Kina.