MDICP-5000F Helautomatisk ICP-etsemaskin / halvlederutstyr Induktivt koblet plasma , Kina MDICP-5000F Helautomatisk ICP-etsemaskin / halvlederutstyr Induktivt koblet plasmaprodusenter, leverandører, fabrikk

produktbeskrivelse

MDICP-5000F Helautomatisk ICP etsemaskin

Sammendrag

Utstyret er et tokammer vakuumsystem. Ett kammer er injeksjonsprøvetakingskammeret og det andre er etsekammeret. En vakuumlås er installert mellom injeksjonsprøvetakingskammeret og etsekammeret, og injeksjonsprøvetakingen transporteres med manipulator.
Utstyret er hovedsakelig sammensatt av vakuumsystem, gasskretssystem, elektrisk system, kontrollsystem, kjølesystem, filmmating og -opptaksmekanisme, alarmsystem, etc.

Vakuumsystem

Systemet består av en molekylær pumpe med en pumpehastighet på 600 L/S + en importert vakuumtørrpumpe med en pumpehastighet på L/s for å pumpe etsekammeret til høyvakuum. En elektrisk dynamisk trykkreguleringsventil er installert mellom molekylpumpen og etsekammeret. Den importerte tørrpumpen er forpumpepumpen til etsekammeret og frontpumpen til molekylpumpen. Bruk en annen mekanisk pumpe med en pumpehastighet på L/s for å støvsuge prøvekammeret. Belger i rustfritt stål brukes for kobling mellom mekanisk pumpe og vakuumkammer og molekylpumpe, og elektromagnetisk pneumatisk blokkventil er installert.

Konstant trykkkontrollsystem

Utstyret er utstyrt med et nedstrøms konstanttrykkkontrollsystem, og en elektrisk justerbar ventil er installert i luftavtrekksrørledningen. Gjennom måling av filmmåler (importerte deler) styres den justerbare ventilen for å få vakuumkammeret til å nå konstant trykk, for å forbedre prosessstabiliteten.

Konstant trykkkontrollsystem

Gasskretssystem

To sett med RF-strømforsyning med automatisk matching.

Alarmsystem

Sikkerhetskrav til utstyr.

Spesifikasjon

Navn	Spc	Merke	nr./sett	Merknader
Etsekammer, luftavsugsrørledning, observasjonsvindu, reservert grensesnitt, etc	standard	JSWN	1	Antikorrosiv
Ramme, el-skap, tetninger, standarddeler, etc	standard	JSWN	1
Løftesystem for etsekammerdeksel	standard	JSWN	1	Antikorrosiv
Etseelektrode og kjølesystem	standard	JSWN	1	Antikorrosiv
Molekylær pumpe (pumpehastighet 600 l/s)	FF620/150	KYKY	1	Antikorrosiv
Innløpstørrpumpe (pumpehastighet 9 l/s)	XDS-35I	EDWARDS	1	Antikorrosiv
Mekanisk pumpe (pumpehastighet 9 l/s)	TRP-36	BWVAC	1
Elektrisk reguleringsventil	DCQ-150	JSWN	1	Antikorrosiv
Pneumatisk belgstoppventil	KF40	JSWN	3	Antikorrosiv
Filmmåler	KF16	INFIKON	1	Antikorrosiv
Massestrømkontroller	D07	Syvstjerne	4	Antikorrosiv
Pneumatisk membranventil	1/4" videospiller	-	4	Antikorrosiv
Rustfritt stålrør, rørskjøt, etc	1/4" videospiller	-	4	Antikorrosiv
RF strømforsyning / automatisk matcher	-	Kina (valgfritt CROWN1310)	1
RF strømforsyning / automatisk matcher	-	Kina (valgfritt CROWN1310)	1
Kompositt vakuummåler	ZDF	RB	1
IPC	2U	Kina	1
LCD berøringsskjerm	17inch	Kina	1
PLC kontrollsystem	S7-200	Siemens	1
Elektrisk drivkontrollsystem	standard	JSWN	1
Kjølevannsdeteksjon og rørledningssystem	standard	JSWN	1
Trykkluftdeteksjon og rørledningssystem	standard	JSWN	1
Avkjølende sirkulerende vannmaskin	HX	Kina	1
Etse injeksjonskammer	standard	JSWN	1
Vakuumlås	SMC	SMC	1
Manipulator kontrollsystem	SMC	SMC	1

Mail teknisk parameter

1. Begrens vakuum: Etsekammer 9.0×10-5Pa (innendørs fuktighet≤55%)
Injeksjonsprøvekammer 6.0×10-1Pa
2. Etsemateriale: Ⅲ、ⅤMaterial、Si 、SiO2, etc
3. Etsehastighet: ~ 1μ/min
4. Ensartethet: ≤±5％(φ125mm rekkevidde)
6. Elektrodestørrelse: φ200mm

Pakking og levering

For bedre å sikre sikkerheten til varene dine, vil profesjonelle, miljøvennlige, praktiske og effektive pakkingstjenester bli levert.

Selskapet profil

Vi har 16 års erfaring med salg av utstyr. Vi kan gi deg One-stop Semiconductor Front-end og Back end Package Line utstyr profesjonell løsning fra Kina.