|
prosjekt
|
Spesifikasjoner
|
bemerkninger
|
||
|
1 |
Utstyrsoversikt |
Utstyrsnavn: Helautomatisk ensartet limfremkallingsmaskin
|
||
|
Utstyrsmodell: MD-2C2D6
|
||||
|
Behandlingswaferspesifikasjoner: kompatibel med 4/6-tommers standard wafers
|
||||
|
Prosessflyt av jevnt lim: Blomsterkurvskjæring → sentrering → jevnt lim (drypp → jevnt lim → fjerning av kant, bakside
vask) → kokeplate → kald plate → kurvplassering Utviklingsprosessflyt: Blomsterkurvskjæring → sentrering → utvikling (utviklingsløsning → avionisert vann, tilbakespyling → nitrogentørking) → kokeplate → kald plate → kurvplassering |
||||
|
Total størrelse (omtrent): 2100 mm (B) * 1800 mm (D) * 2100 mm (H)
|
||||
|
Kjemisk kabinettstørrelse (omtrent): 1700(W) * 800(D) * 1600mm (H)
|
||||
|
Totalvekt (omtrent): 1000 kg
|
||||
|
Arbeidsbenkhøyde: 1020 ± 50mm
|
||||
|
2 |
Kassettenhet
|
Antall: 2
|
||
|
Kompatibel størrelse: 4/6 tommer
|
||||
|
Kassettdeteksjon: mikrobryterdeteksjon
|
||||
|
Skyv ut-deteksjon: Ja, reflekterende sensor
|
||||
|
3 |
robot |
Antall: 1
|
||
|
Type: Dobbeltarms vakuumadsorpsjonsrobot
|
||||
|
Frihetsgrad: 4-akse (R1, R2, Z, T)
|
||||
|
Fingermateriale: keramikk
|
||||
|
Substratfikseringsmetode: vakuumadsorpsjonsmetode
|
||||
|
Kartfunksjon: Ja
|
||||
|
Plasseringsnøyaktighet: ± 0.1 mm
|
||||
|
4 |
Sentreringsenhet
|
Antall: 1 sett
|
Valgfri optisk justering
|
|
|
Justeringsmetode: mekanisk justering
|
||||
|
Sentreringsnøyaktighet: ± 0.2 mm
|
||||
|
5 |
Ensartet limenhet |
Antall: 2 sett (følgende er konfigurasjoner for hver enhet)
|
||
|
Spindelrotasjonshastighet: -5000rpm~5000rpm
|
bærer tomgang
|
|||
|
Spindelrotasjonsnøyaktighet: ± 1rpm (50rpm~5000rpm)
|
||||
|
Minimum justering av spindelrotasjonshastighet: 1rpm
|
||||
|
Maksimal akselerasjon av spindelrotasjon: 20000rpm/s
|
bærer tomgang
|
|||
|
Drypparm: 1 sett
|
||||
|
Fotoresistrørrute: 2 ruter
|
||||
|
Fotoresist dysediameter: 2.5 mm
|
||||
|
Fotoresistisolasjon: 23 ± 0.5 ℃
|
valgfritt
|
|||
|
Fuktighetsdyse: Ja
|
||||
|
RRC: Ja
|
||||
|
Buffer: Ja, 200ml
|
||||
|
Metode for slipp av lim: slipp i midten og slipp ved skanning er valgfritt
|
||||
|
Kantfjerningsarm: 1 sett
|
||||
|
Dysediameter for kantfjerning: 0.2 mm
|
||||
|
Kantfjerning væskestrømovervåking: flytestrømmåler
|
||||
|
Strømningsområde for kantfjerningsvæske: 5-50ml/min
|
||||
|
Tilbakespylingsrørledning: 2 veier (4/6 tommer hver med 1 kanal)
|
||||
|
Tilbakespylingsstrømovervåking: flytestrømsmåler
|
||||
|
Tilbakespylingsvæskestrømområde: 20-200ml/min
|
||||
|
Chip fiksering metode: lite område vakuum adsorpsjon Chuck
|
||||
|
Vakuumtrykkalarm: digital vakuumtrykksensor
|
||||
|
Chuck Materiale: PPS
|
||||
|
Koppmateriale: PP
|
||||
|
Koppereksosovervåking: digital trykksensor
|
||||
|
6 |
Utviklende enhet |
Lukker: ja
|
||
|
Antall: 2 sett (følgende er konfigurasjoner for hver enhet)
|
||||
|
Spindelrotasjonshastighet: -5000rpm~5000rpm
|
bærer tomgang
|
|||
|
Spindelrotasjonsnøyaktighet: ± 1rpm (50rpm~5000rpm)
|
||||
|
Minimum justering av spindelrotasjonshastighet: 1rpm
|
||||
|
Maksimal akselerasjon av spindelrotasjon: 20000rpm/s
|
bærer tomgang
|
|||
|
Utviklerarm: 1 sett
|
||||
|
Utviklingsrørledning: 2-veis (vifteformet/søyleformet dyse)
|
||||
|
Fremkallerfiltrering: 0.2um
|
||||
|
Utviklertemperaturkontroll: 23 ± 0.5 ℃
|
valgfritt
|
|||
|
Utviklingsløsningsstrømområde: 100~1000ml/min
|
||||
|
Bevegelsesmodus for fremkallingsarmen: fast punkt eller skanning
|
||||
|
Fikseringsarm: 1 sett
|
||||
|
Avionisert vannrørledning: 1 krets
|
||||
|
Avionisert vanndysediameter: 4mm (indre diameter)
|
||||
|
Avionisert vannstrømningsområde: 100~1000ml/min
|
||||
|
Nitrogentørkeledning: 1 krets
|
||||
|
Nitrogendysediameter: 4mm (indre diameter)
|
||||
|
Nitrogenstrømområde: 5-50L/min
|
||||
|
Utvikler, avionisert vann, nitrogenstrømovervåking: flytestrømmåler
|
||||
|
Tilbakespylingsrørledning: 2 veier (4/6 tommer hver med 1 kanal)
|
||||
|
Tilbakespylingsstrømovervåking: flytestrømsmåler
|
||||
|
Tilbakespylingsvæskestrømområde: 20-200ml/min
|
||||
|
Chip fiksering metode: lite område vakuum adsorpsjon Chuck
|
||||
|
Vakuumtrykkalarm: digital vakuumtrykksensor
|
||||
|
Chuck Materiale: PPS
|
||||
|
Chuck Materiale: PPS
|
||||
|
Koppmateriale: PP
|
||||
|
Koppereksosovervåking: digital trykksensor
|
||||
|
7 |
Klebriggjørende enhet |
Antall: 2
|
valgfritt
|
|
|
Temperaturområde: romtemperatur ~180 ℃
|
||||
|
Temperaturensartethet: Romtemperatur ~120 ℃± 0.75 ℃
120.1 ℃ ~ 180 ℃ ± 1.5 ℃ (Fjern 10 mm fra kanten, bortsett fra utkasterstifthullet) |
||||
|
Minimum justeringsmengde: 0.1 °C
|
||||
|
Temperaturkontrollmetode: PID-justering
|
||||
|
PIN-høydeområde: 0-20 mm
|
||||
|
PIN-materiale: kropp SUS304, PIN-stifthette PI
|
||||
|
Stekespalte: 0.2 mm
|
||||
|
Overtemperaturalarm: positiv og negativ avviksalarm
|
||||
|
Tilførselsmetode: Bobling, 10 ± 2ml/min
|
||||
|
Kammerdriftsvakuum: -5-20KPa
|
||||
|
8 |
Kokeplate enhet |
Antall: 10
|
||
|
Temperaturområde: romtemperatur ~250 ℃
|
||||
|
Temperaturensartethet: Romtemperatur ~120 ℃± 0.75 ℃
120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ 180.1℃~250℃ ±2.0℃ (Fjern 10 mm fra kanten, bortsett fra utkasterstifthullet) |
||||
|
Minimum justeringsmengde: 0.1 ℃
|
||||
|
Temperaturkontrollmetode: PID-justering
|
||||
|
PIN-høydeområde: 0-20 mm
|
||||
|
PIN-materiale: kropp SUS304, PIN-stifthette PI
|
||||
|
Stekespalte: 0.2 mm
|
||||
|
Overtemperaturalarm: positiv og negativ avviksalarm
|
||||
|
9 |
Kaldplateenhet
|
Antall: 2
|
||
|
Temperaturområde: 15-25 ℃
|
||||
|
Kjølemetode: konstant temperatur sirkulerende pumpekjøling
|
||||
|
10 |
Kjemisk forsyning |
Fotoresistlagring: pneumatisk limpumpe * 4 sett (valgfri tank eller elektrisk limpumpe)
|
||
|
Limdispenseringsvolum: maksimalt 12 ml per økt, nøyaktighet ± 0.2 ml
|
||||
|
Kantfjerning/bakvask/RRC-tilførsel: 18L trykktank * 2 (automatisk etterfylling)
|
||||
|
Kantfjerning/bakspyling/RRC væskenivåovervåking: fotoelektrisk sensor
|
||||
|
Væskenivåovervåking av fotoresist: fotoelektrisk sensor
|
||||
|
Utslipp av ensartet limavfallsvæske: 10L avfallsvæsketank
|
||||
|
Utviklerforsyning: 18L trykktank * 4 (Lagret i kjemikalieskapet utenfor maskinen)
|
||||
|
Avionisert vannforsyning: direkte forsyning fra fabrikk
|
||||
|
Utvikler væskenivåovervåking: fotoelektrisk sensor
|
||||
|
Utslipp av utvikleravfall: utslipp av fabrikkavfall
|
||||
|
Tilførsel av klebemiddel: 10L trykktank * 1, 2L trykktank * 1
|
||||
|
Nivåovervåking av klebriggjører: fotoelektrisk sensor
|
||||
|
11 |
kontrollsystem |
Kontrollmetode: PLS
|
||
|
Brukergrensesnitt for menneskelig maskin: 17 tommers berøringsskjerm
|
||||
|
Avbruddsfri strømforsyning (UPS): Ja
|
||||
|
Angi krypteringstillatelser for enhetsoperatører, teknikere, administratorer
|
||||
|
Signaltårn type: rød, gul, grønn 3 farger
|
||||
|
12 |
Systempålitelighetsindikatorer
|
Oppetid: ≥95 %
|
||
|
MTBF: ≥ 500 timer
|
||||
|
MTTR: ≤ 4 timer
|
||||
|
MTBA: ≥24 timer
|
||||
|
Fragmenteringshastighet: ≤ 1/10000
|
||||
|
13 |
Andre funksjoner
|
Gult lys: 4 sett (posisjon: over limblandings- og fremkallingsenheten)
|
||
|
THC: Ja, 22.5 ℃± 0.5 ℃, 45 % ± 2 %
|
valgfritt
|
|||
|
FFU: Klasse 100, 5 sett (prosessenhet og ROBOT-område)
|
||||
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Alle rettigheter forbeholdt
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NEI
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
