1. Eksponeringstype: enkeltside.
2. Eksponeringsområde: 110×110mm.
3. Ujevne eksponeringslys: ≤±3%.
4. Eksponeringsintensitet: 0-30mw/cm2 justerbar.
5. UV-stråle-vinkel: ≤3°.
6. Sentralbølgetall for ultraviolettlys: 365nm.
7. UV-lys kilde levetid: ≥500 timer.
8. Bruker elektronisk skjerm.
9. Eksponeringsoppløsning: 1 μm;
10.Mikroskopisk skanneringsområde: X:±15mm Y:±15mm;
11.Justeringsområde: X,Y justering ±4mm; Q-retning justering ±3°;
12.Graveringsnøyaktighet: 1 μ Nøyaktigheten på brukerens "versjon" og "chip" må oppfylle nasjonale forskrifter,
og miljøet, temperatur, fuktighet og støv kan kontrolleres strengt. Importert positiv fotoresept brukes, og tykkelsen på den jevne fotoresept kan kontrolleres strengt. I tillegg er de forranne og etterranne prosessene avanserte;
13.Separasjonsmengde: 0~50 μm justerbar;
14.Eksponeringsmetode: nær eksponering, som kan oppnå hard kontakt, blød kontakt og mikro kraft kontakt eksponering; 15.Firkantfinningsformel: luft