MDXN-25X høypresisjon ensidelitografimaskin , Kina MDXN-25X høypresisjons enkeltsidelitografimaskinprodusenter, leverandører, fabrikk

produktbeskrivelse

Dette utstyret er en presisjonslitografimaskin utviklet av vårt firma spesielt for bruksegenskapene til litografimaskiner i forskjellige høyskoler og forskningsinstitusjoner. Den brukes hovedsakelig til utvikling og produksjon av små og mellomstore integrerte kretser, halvlederkomponenter, optoelektroniske enheter og akustiske overflatebølgeenheter.

MDXN-25X høypresisjon ensidelitografimaskinfabrikk

Spesifikasjon

Viktigste tekniske parametere

1. Enheten kan vakuumadsorbere en 5 "X5" firkantet maske, uten spesielle krav til tykkelsen på platen (fra 1 til 3 mm).
2. Enheten kan påføres på ф 100 mm sirkulært underlag;
3. Substrattykkelse ≤ 5 mm;
4. Belysning:
Lyskilde: GCQ350Z ultrahøytrykks kvikksølv likestrøm kvikksølvlampe brukes.
Lysområde: ≤ ф 117 mm Eksponeringsområde: ф 100 mm
opphold ф Innenfor et område på 100 mm er ujevnheten i eksponeringen ≤ ± 3 %, og eksponeringsintensiteten er>6mw/cm2 (denne indikatoren måles med en UV-lyskilde I-line 365nm).
5. Denne enheten bruker et importert tidsrelé for å kontrollere den pneumatiske lukkeren, noe som sikrer nøyaktig og pålitelig drift.
6. Denne maskinen er en kontakteksponeringsmaskin som kan oppnå:
7. Eksponering for hard kontakt: Bruk rørledningsvakuum for å oppnå høyvakuumkontakt, vakuum ≤ -0.05 MPa
8. Myk kontakteksponering: Kontakttrykket kan heve vakuumet til mellom -0.02 MPa og -0.05 MPa.
9. Mikrokontakteksponering: mindre enn myk kontakt, vakuum ≥ -0.02 MPa.
10. Eksponeringsoppløsning: Oppløsningen for hard kontakteksponering av denne enheten kan nå 1 μ over m (nøyaktigheten til brukerens "plate" og "brikke" må være i samsvar med nasjonale forskrifter, og miljø, temperatur, fuktighet og støv kan være strengt kontrollert importert positiv fotoresist, og tykkelsen på den ensartede fotoresisten kan kontrolleres strengt.
11. Justering: Observasjonssystemet består av to CCD-kameraer montert på to enkeltrørsmikroskoper og koblet til skjermen via en videokabel.

Pakking og levering

MDXN-25X Høypresisjon Single Side Lithography Machine leverandør

MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Maskindetaljer

Selskapet profil

Vi har 16 års erfaring med salg av utstyr. Vi kan gi deg One-stop Semiconductor Front-end og Back end Package Line utstyr profesjonell løsning fra Kina.