MDXN-25X Høy Nøyaktighets Enkeltside Lithografi Maskin , China MDXN-25X Høy Nøyaktighets Enkeltside Lithografi Maskin Manufacturers, Suppliers, Factory

Produktbeskrivelse

Denne utstyret er en nøyaktig lithography maskin utviklet av vår selskap spesifikt for bruksegenskapene til lithography maskiner i ulike høgskoler og forskningsinstitutter. Den brukes hovedsakelig til utvikling og produksjon av små og mellemstore integrerte kretser, semiconductor komponenter, optoelektroniske enheter og overflatedobbelbølgeenheter.

MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine factory

Spesifikasjon

Hovedtekniske parametere

1. Enheten kan sugge fast en 5 "x 5" kvadratisk maske ved vacuum, uten spesielle krav til plattendikken (fra 1 til 3mm).
2. Enheten kan brukes på en sirkulær substrat med diameter ф 100mm;
3. Substratdikke ≤ 5mm;
4. Belysning:
Lyskilde: GCQ350Z ultra-høytryksmerkur direkte merkur-lampe brukes.
Belysningsområde: ≤ ф 117mm Eksponeringsområde: ф 100mm
innenfor et område av ф 100mm, er ujevnheten i eksponeringen ≤ ± 3%, og eksponeringsintensiteten er >6mw/cm² (denne indikatoren måles ved bruk av en UV-lys kilde I-linje 365nm).
5. Denne enheten bruker en importert tidsrelé for å kontrollere pneumatisk skjerm, for å sikre nøyaktig og pålitelig drift.
6. Dette maskineriet er en kontakt-eksponeringsmaskin som kan oppnå:
7. Hårdkontakt eksponering: Bruk pipeline-vacuum for å oppnå høy vakuumkontakt, vakuum ≤ -0.05MPa
8. Myk kontakksponering: Kontaktrykket kan heve vakuumet til mellom -0,02MPa og -0,05MPa.
9. Mikrokontakksponering: mindre enn myk kontakt, vakuum ≥ -0,02MPa.
10. Sponeringsoppløsning: Oppløsningen av hardkontaktsponering for dette apparatet kan nå 1 μ over m (brukerens "plate" og "chip" må oppfylle nasjonale forskrifter, og miljøet, temperatur, fuktighet og støv kan kontrolleres strengt. Importert positiv fotoresept brukes, og tykkelsen på den jevne fotoresepten kan kontrolleres strengt. I tillegg er de foregående og etterfølgende prosessene avanserte).
11. Justering: Observasjonssystemet består av to CCD-kameraer montert på to enkeltbørsmikroskop og forbundet med skjermen gjennom en videokabel.

Pakking & Levering

MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine supplier

MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine details

Bedriftsprofil

Vi har 16 års erfaring med utstyrssalg. Vi kan tilby deg en fulltjenestelig løsning for Semiconductor Front-end og Back end Package Line utstyr fra Kina.