1.Energi som kreves for utstyr: Hovedkraftforsyning: 220V, 50HZ, strømforbruk≤1.5KW;
2.Ustyrt med en vakuum-pumpe med strømforsyning på 220V;
3.Størrelse og vekt: Størrelse:1200(lengde)×720(bredde)×1500(høyde). Vekt ≤170kg;
4.Plasser maskinkroppen på en dedikert arbeidsbord;
5.Eksponeringstype: kontakttype, pladejustering, tosidig eksponering;
6.Eksponeringsområde: φ100mm;
7.Ujevn eksponering: ≤±3%;
8.Eksponeringsintensitet: ≥5mw/cm2;
9.Eksponeringsoppløsning: 2μm;
10.Eksponeringsmodus: Dobbelt sidevis samtidig eksponering;
11.Justeringsområde: X: ±5mm Y:±5mm;
12.Graveringsnøyaktighet: 2μm;
13.Rotasjon område: Q-retning rotasjonsjustering ≤±5°;
14.Mikroskopsystem: dual synsfelt CCD system, objektivlinse 1.6X~10X, datamaskinbaseret bildebehandlingsystem, 19"LCD-skjerm;
15.Maskesize: Egnede for vakuumadsorpsjon