MDXN-31D4 høypresisjon dobbeltsidig litografimaskin , Kina MDXN-31D4 høypresisjon dobbeltsidig litografimaskinprodusent, leverandører, fabrikk

produktbeskrivelse

Dette utstyret brukes hovedsakelig til utvikling og produksjon av små og mellomstore integrerte kretser, halvlederkomponenter og akustiske overflatebølgeenheter. På grunn av den avanserte utjevningsmekanismen og lave utjevningskraften er denne maskinen ikke bare egnet for eksponering av ulike typer underlag, men også for eksponering av lett fragmenterte underlag som kaliumarsenid og fosfatstål, samt eksponering av ikke- sirkulære og små underlag.

MDXN-31D4 Høypresisjon dobbeltsidig litografi Maskindetaljer

Spesifikasjon

Viktigste tekniske parametere

1. Eksponeringstype: kontakttype, platejustering, dobbeltsidig enkelteksponering
2. Eksponeringsområde: 110X110mm;
3. Ensartet eksponering: ≥ 97 %;
4. Eksponeringsintensitet: 0-30mw/cm2 justerbar;
5. UV-strålevinkel: ≤ 3 °
6. Sentral bølgelengde for ultrafiolett lys: 365nm;
7. UV-lyskildens levetid: ≥ 20000 XNUMX timer;;
8. Arbeidsoverflatetemperatur: ≤ 30 ℃
9. Vedta elektronisk lukker;
10. Eksponeringsoppløsning: 1 μ M (eksponeringsdybden er omtrent 10 ganger linjebredden)
11. Eksponeringsmodus: Dobbeltsidig samtidig eksponering
12. Justeringsområde: x: ± 5 mm Y: ± 5 mm
13. Plateinnrettingsnøyaktighet: 2 μm
14. Rotasjonsområde: Q-retning rotasjonsjustering ≤ ± 5 °
15. Mikroskopisk system: CCD-system med dobbelt synsfelt, objektivlinse 1.6X~10X, databehandlingssystem, 19" LCD-skjerm; Total forstørrelse 91-570x
16. Maskestørrelse: I stand til å vakuumabsorbere 5 "firkantede masker, uten spesielle krav til tykkelsen på masken (fra 1 til 3 mm).
17. Substratstørrelse: Egnet for 4" underlag, med underlagstykkelse fra 0.1 til 2 mm.
18. Ved bestilling er det ingen spesielle krav, og en 5 "X5 hylle er standard; du kan tilpasse hyller under 5" X5:

Pakking og levering

MDXN-31D4 høypresisjon dobbeltsidig litografimaskinproduksjon

MDXN-31D4 høypresisjon dobbeltsidig litografimaskinfabrikk

Selskapet profil

Vi har 16 års erfaring med salg av utstyr. Vi kan gi deg One-stop Semiconductor Front-end og Back end Package Line utstyr profesjonell løsning fra Kina.