Ny generasjon mikrobølge plasmarenser plasma rengjøringsmaskin Semiconductor Emballasje løsning utstyr , Kina Ny generasjon Mikrobølge plasma renere plasma rensemaskin Semiconductor Emballasje løsning utstyr Produsenter, leverandører, fabrikk

produktbeskrivelse

Plasmarens for mikrobølgeovn

SPV-100MWR er et lavspente mikrobølgeplasma-rensesystem for halvledere. Ved å bruke mikrobølgeovn med frekvensen 2.45 GHz til vinduet på veggen av vakuumhulen, genereres et stort antall kontinuerlig plasma, og brikken renses ved å gå inn i hulrommet.

Ny generasjon Microwave plasma renere plasma rengjøring maskin Semiconductor Emballasje løsning utstyr produksjon

Ny generasjon Mikrobølge plasmarenser plasmarensemaskin Semiconductor Emballasjeløsning utstyrsleverandør

Applikasjoner

Ny generasjon mikrobølge plasma renere plasma rengjøring maskin Semiconductor Emballasje løsning utstyr fabrikk

Spesifikasjon

Vakuum plasma vert
Utstyrsstørrelse	1230X1800X1100mm (bredde x høyde x dybde)
Vekt	450kg
effektbehov	AC380V, 50/60Hz, 5-leder, 30A
Plasmagenerator spesifikasjoner
Mikrobølgestrømforsyning	Power	0 ~ 1250W
		Frekvens	2.45GHz
Vakuumsystem
Materiale	Aluminiumslegering (tilpassbart kammer i rustfritt stål)
Tykkelse	25mm
Innvendige dimensjoner av hulrommet	480mmX470mmX480mm
arbeidsområder	6 magasinseksjoner
ECR	Slotted Magazine gir ECR forbedret behandlingseffekt
Plasma evne
Bearbeidingsevne	35um pitch 40 μm bump 15X15mm Maksimal formstørrelse