MDAM-CMP100/150 nøyaktighetsfrask og poleringsmaskin, hovedenheten og alle reservadeler er laget av materialer med høy korrosjonsmotstand. Hele maskinen er korrosjonsmotstandende, stabil, slipemotstandende og rostfri, egnet for kjemisk mekanisk frasking og polering av ulike halvledermaterialer. Arbeidsområdet er skilt fra visnings- og kontrollområdet og styrres digitalt ved hjelp av et touchscreen-kontrollsystem. Den er CNC-styrt, kan lagre og hente opp data.
Enhetsystemet har en tidsfunksjon som kan jobbe kontinuerlig i 10 timer og kontrollere farten på poleringsdisken. Kontrollpanelet er plassert utenfor arbeidsområdet for å forhindre at abrasivløsning sprutter opp på kontrollpanelet. Alle parametere til enheten kan justeres på berøringskjermen. Prosesparametrene til enheten har lagrings- og hentingsevner for å sikre konsekvens og gjentakelighet i prosessen. Waferprøven blir adsorbert på bunnen av fikseringen ved vakuum, utstyrt med en oljefri vakuumpumpe, og har en uavhengig motrettsugfunksjon.
Festekonfigurasjonen for horisontal rotasjon med drivsystem har en svingefunksjon, med en svergeomfang på 0-100% justerbar. Svingeamplituden og frekvensfarten kan settes nøyaktig gjennom kontrollpanelet. Festen er utstyrt med et uavhengig drivsystem for rotasjon, med en justerbar fart område på 0-120 omdrehninger per minutt. Denne funksjonelle designet sikrer full svergepolering av prøven under skåring- og poleringsprosessen, noe som betydelig forbedrer poleringskapasiteten og effektiviteten til maskineriet.
Festen er utstyrt med en digital tykkelseovervåkningstabell med en overvåkingsnøyaktighet på 1 μm. Trykket fra festen på vaflepåstanden er kontinuerlig justerbar, med et trykkområde på 0-3,5kg og en nøyaktighet på 2g/cm², og er utstyrt med et trykkmåleapparat.
Driften av jern- og poleringsdisken styres av hoveddrivere, og diskenes hastighet kan justeres fra 0 til 120 omdrehninger per minutt. Denne hastighetsvariasjonsområdet garanterer effektivt jerning og polering av prøver med forskjellig hardhet og størrelse, noe som bidrar til høyere prosessindikatorer. Byttingen av jern- og poleringsdisker er enkel og rask, med innebygde disker som gjør at maskineriet raskt kan gå fra jernprosess til poleringsprosess, noe som reduserer prosesstiden betydelig. Dessuten er jerningen utstyrt med en diskreparasjonsblokk for å sikre god flatthet på jerningen.