punkt |
MD150-RIE |
MD200-RIE |
MD200C-RIE |
||
Produktstørrelse |
≤6 tommer |
≤8 tommer |
≤8 tommer |
||
RF strømkilde |
0-300W/500W/1000W Justerbart, automatisk matching |
||||
Molekylpumpe |
-\/620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Tilpasset |
Antiseptisk620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Tilpasset |
|||
Forlinepumpe |
Maskinpumpe\/tør pumpe |
Tørr pumpe |
|||
Prosesstrykk |
Ukontrollert trykk\/0-1Torr kontrollert trykk |
||||
Gastype |
H\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/SF6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Tilpasset (Opp til 9 kanaler, ingen korrosive & giftige gasser) |
H2\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/F6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Cl2\/BCl3\/HBr(Opp til 9 kanaler) |
|||
gasspektrum |
0~5sccm\/50sccm\/100sccm\/200sccm\/300sccm\/500sccm\/tilpasset |
||||
Lastelås |
Ja/Nei |
Ja |
|||
Prøve temperaturkontroll |
10°C~Romtemperatur/-30°C~100°C/Brukerdefinert |
-30°C~100°C/Brukerdefinert |
|||
Bakside heliumkjøling |
Ja/Nei |
Ja |
|||
Prosesshul lining |
Ja/Nei |
Ja |
|||
Hullvegg temperaturkontroll |
Nei/Romtemperatur~60/120°C |
Romtemperatur-60/120°C |
|||
Kontrollsystem |
Automatisk/tilpasset |
||||
Graveringsmateriale |
Silisiumbasert: Si/SiO2/SiNx. IV-IV: SiC Magnetiske materialer/alloysmaterialer Metallisk materiale: Ni/Cr/Al/Au. Organisk materiale: PR/PMMA/HDMS/Organisk film. |
Silisiumbasert: Si/SiO2/SiNx. III-V (notat 3): InP/GaAs/GaN. IV-IV: SiC II-VI (notat 3): CdTe. Magnetiske materialer/alloysmaterialer Metallisk materiale: Ni/Cr/A1/Au. Organisk materiale: PR/PMMA/HDMS / organisk film. |
Egnet for mikrobølgeenheter, kraftenheter osv.
Minder-High-tech Reactive Ion Etching (RIE) maskinen er en statisk avansert teknologi som kan grave og analysere ulike typer materialer med fantastisk nøyaktighet. Denne maskinen er designet for bruk i ulike industrier hvor mikrofabrikasjon eller gravering kreves regelmessig. Den er laget av høykvalitetsmaterialer som gjør den varig, pålitelig og i stand til å produsere fremragende resultater.
Utstyrt med en RF plasma-generator er effektiv. RIE-systemet bruker en kobling som er induktiv for å opprette plasma fra drivgassen. Denne teknikken oppretter et høyttetthetsplasma som øker grav rate forbundet med produktet. Gravprosessen i RIE-maskinen er effektiv, nøyaktig og høygradig kontrollbar, hvilket tillater en spesifikk dybde å oppnå. Denne egenskapen gjør den til en utmerket valg for forskning eller industriell bruk.
Maskinen har et bredt anvendelsesområde, inkludert mikroelektronikk, MEMS-fremstilling og semiconductorproduksjon. Denne maskinen spiller en viktig rolle i gravering og mikromaskinering av semiconductormaterialer som silisium, galliumarsenid og germanium i semiconductorbrenden. Minder-High-tech RIE-enheten har også blitt etablert i MEMS-industrien for å lage blande og harde materialer som polyimid, silisiumdioxid og silisiumnitrid. I tillegg er den tilgjengelig for feilsøking i industrier knyttet til elektroniske tjenester og produkter.
Inneholder funksjoner som gjør det enkelt å bruke. Det er et brukervennlig programvare som gir operatøren full kontroll over de gravereparametre som brukes i maskinen. Maskininnstillingene lagres i dens interne minne, og den kan lagre over 100 sett med innstillinger. Den har også en berøringskjerm som lar operatøren sette inn parametere som gassflyt, effekttykkelse og trykk. Minder-High-tech RIE-maskinen har også en temperaturkontrollfunksjon som sørger for at materialene gravieres ved riktig temperatur og forhindrer skade på dem.
Perfekt for bedrifter som trenger en pålitelig og effektiv maskin som kan gi nøyaktige og presise resultater. Denne enheten er designet med toppklasse teknologi og et høyt nivå av kvalitet. Dens versatlighet og brukervennlige funksjoner gjør det til et veldig godt valg for forskning og industrielle anvendelser i ulike sektorer.
Den har også et effektivt feilanalyse-system som gjør det mulig for maskinen å oppdage og rette opp i eventuelle mekaniske problemer så raskt som mulig. Dette systemet sikrer at RIE-maskingen vedlikeholder høy kvalitet og pålitelighet gjennom hele sin levetid. For enhver industri som krever nøyaktig og effektiv etching eller mikrofabrikasjon, er Minder-High-tech RIE-maskingen den perfekte løsningen.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved