Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Hjemmeside
Om Oss
MH Equipment
Løsning
Utlandbrukere
Video
Kontakt oss
Hjem> Semicon Inspect
  • Spektroskopisk Ellipsometer
  • Spektroskopisk Ellipsometer
  • Spektroskopisk Ellipsometer
  • Spektroskopisk Ellipsometer
  • Spektroskopisk Ellipsometer
  • Spektroskopisk Ellipsometer
  • Spektroskopisk Ellipsometer
  • Spektroskopisk Ellipsometer
  • Spektroskopisk Ellipsometer
  • Spektroskopisk Ellipsometer
  • Spektroskopisk Ellipsometer
  • Spektroskopisk Ellipsometer

Spektroskopisk Ellipsometer

Produktbeskrivelse

Spektroskopisk Ellipsometer

Spektralt ellipsometer kan fullføre rask og flerpoengs automatisk testing, og kan teste sampelens likeformighet med ett klikk. Produktets polarizer, analyser og kompenser er utstyrt med absolutt koding høy-nøyaktighets posisjonslåsingselementer med bandgap-kompensasjonsfunksjon, noe som øker systemets nøyaktighet og stabilitet. Ved å bruke en dual fiber-arkitektur for å forbedre lys-samleffektiviteten, kan tilstrekkelige spektra bli samlet fra skårettede syrepolerte overflater eller konvensjonelle pyramideforanlegg for testing og analyse. Det har også grunnleggende funksjoner som autofokus, lysintensitetsselger og fasekompensasjon.
Utformet for høy-nøyaktig og effektiv analyse av optiske egenskaper ved materialer. Den kan automatisk, raskt og
å måle refraktivindeks, dempingskoeffisient og filmtykkelse av materialer nøyaktig. Den er egnet for karaktersering av tyne filmer og materialer i vitenskapelig forskning, halvledere, fotovoltaiske celler, optiske overflater, visningspaneler og andre områder.

Målobjekt:

Optisk overflate: Si02, Si3N4, SnO2, Nb205, Ti02, Ta205, A2O3, MgF2, Pi.
Visning: OLED(AIG3, PCBM, NPB, NPD...), elektroder(ITO, PEDOT, MgO, Ag, Al, Mg...) ...
Fotovoltaisk: Si, Poly-Si, SiNx, CdS, CIGS, CdTe, PFN-Br, ABX3, PEDOT:PSS, PTB7-Th:PC71BM.
Halvleder: Fototekstur, ZnO, SiON, SiC, SiGe, GaN, AIN, InP, GaAs, AlxGa(1-x)N
Andre: OCD, 2-D materialer, Van der Waals heterojunksjon og enhet...

Produktfunksjon:

Brytningsindeksmåling: Mål nøyaktig brytningsindeksen til materialer på ulike bølgelengder, og lever nøkkeldata for optisk design og materialeforskning.
Dempingskoeffisientmåling: Analyser lysabsorbsjonskarakteristikken til materialer for å optimere ytelsen til optoelektroniske enheter.
Måling av filmtykkelse: Støtter tykkelsesdeteksjon av nanometer til mikron-nivå films med høy oppløsning og god gjentakbarhet.
Rask automatisk testing: Med funksjonen for flerpunktsautomatisk skanning, oppnår målefarten 1 sekund/punkt, noe som betydelig forbedrer effektiviteten ved batchtesting.

Måleprinsipp:

Prinsippet for ellipsometrimåling bygger på endringen i polarisasjonsstaten til optisk refleks før og etter mediumets overflate for å oppnå informasjon om optiske egenskaper og struktur.
Elektrisk feltet til inngående strålingen dekomponeres i to vertikale retninger, der p-lys er parallelt med lysvibrasjonen
bølge, s-lys er vinkelrett på vibrasjonen av lysbølgen. Amplitudene og fasene til p- og s-lys endrer seg når strålingen reflekteres fra overflaten av mediumet.

Korrelasjonen mellom fysiske egenskaper ved mediumet og endringen i polarisasjonsstatus.

Instrumentets arbeidsmiljø:

Strøm: 220VAC+10%
Romtemperatur: miljøtemperatur (10-30)℃
Relativ fuktighet: (20-80)%RH

Spektrometer:

Deteksjonselement: 2048 piksel rask baklysnet CCD-detektor
Detaljerte parametere:
1. spektrumområde bedre enn 350nm-1000nm
2. streiflys<0.02%@400nm
3. signal-tostøyforhold 4800
4. dynamisk rekkevidde 50000:1
5. holografisk lysbane
6. digital oppløsning 16-bit
7. lesehastighet >400kHz
8. datatransmisjonsfart 600MB/s
9. minimum integrasjons tid/justeringssteg 6 us/1us
10. ekstern utløser forsinkelse 95ns+/-20ns
11. datamaskin grensesnitt USB4.1C/2.0
12. operativsystem Win 7/in 8/Win 10
gjennomsnittlig QE i UV-regionen, baklysings CCD, gjennomsnittlig QE ≥75% Kjølesystem mikro TE-kjøling, temperatur etter kjøling er 30'c
lavere enn miljøtemperatur.
Integreringsmetode programvarebasert automatisk integrasjonstid, kan oppnå best

Lyskilde system:

Lyskilde halogenlampe med kvartsballon, bølgelengdeområde 350nm-2000nm, ingen nedbrytning med levetid lenger enn 50000 timer.
Uavhengig strømkilde for halogenlampe, spenning 4.9vd

Stasjon med autofokusfunksjon:

Flytt prøve til den beste måleposisjonen med autofokusfunksjon. Strøk: 100mm
Nøyaktighet: 0.0005mm. Posisjonsbegrensning med både positiv og negativ begrensning og nullpunktssensor; startposisjon, slutt-posisjon og trinnlengde for autofokusfunksjon kan settes i programvaren ved bruk av Gaussisk regresjonsmetode; angi spesifisert integrasjons tid og samle intensitet med fokuss metode.
Produktstruktur
Spesifikasjon
Optisk system:
Inntilsvinkel
65°
Stråleavvikling
< 0.3°
Måleparametere
Psi&Del, TanPsi&CosDel, Alpha&Beta
Polarisatører
Glan-Thompson
Materiale
a-BBO
Kompensator
fjerde-bølge faseforsinkelse, hyper akromatisk
Intensitetsvelger
Linær optisk tetthetsvalgelement. Sikrer god signal-t-støyforhold i måleprosessen, forbedrer data-nøyaktigheten,
unngår at lysintensiteten oversvømmer eller er for svak for å redusere signal-t-støyforholdet og nøyaktigheten
Optisk design
to-fiber overfører lyset fra lampe til spektrometer gjennom polarisasjons-elementer; stabil lysbane, enkelt å bytte ut lampener
Fiber
anti-UV passivering; NA=0.22; tydelig aperture 600um
Mikro lysflekk
diameter ≤200um, for å skille mellom nyttig lyset som reflekteres fra forran og det ubrukelige lyset som reflekteres fra
bunnflaten, enkelt å demontere
Delbar
1 50um, for å skille mellom nyttig lyset som reflekteres fra forran og det ubrukelige lyset som reflekteres fra bunnen
overflate
Grunnleggende parametersenteringsstabell:
Spektral område
350-1000nm
C
Synlig
210-1000nm
Uc
UV-Visibel
210-1700nm
Un
UV-Vis-NIR
Optisk kompensator
RC
Enkelt kompensator
RC2
C2
Dobbelt kompensator
Spektral område
X-Y
M
Stor strekning opp til 230mm
X-R
R
Stor diameter opp til 300mm
Pakking & Levering
Bedriftsprofil
Minder-Hightech er salgs- og service representant for utstyr i semiforelerings- og elektronikkproduktindustrien. Siden 2014 har selskapet vært dedikert til å gi kundene Superior, Reliable, og One-Stop-løsninger for maskinutstyr.
FAQ
1. Om prisen:
Alle våre priser er konkurransedyktige og forhandlingsmessige. Prisen varierer avhengig av konfigurasjonen og tilpassingskompleksiteten på enheten din.

2. Om eksempel:
Vi kan levere eksempelproduksjonservices for deg, men du må betale noen gebyrer.

3. Om betaling:
Etter at planen er bekreftet, må du først betale en nedbetaling, og fabrikken vil begynne å forberede varene. Når utstyret er klart og du har betalt resten, vil vi sende det.

4. Om levering:
Etter at produksjonen av utstyr er ferdig, vil vi sende deg akseptansekvideoen, og du kan også komme til stedet for å inspisere utstyret.

5. Installasjon og feilsøking:
Etter at utstyret har ankommet fabrikkene dine, kan vi sende ingeniører for å installere og调试utstyret. Vi vil gi deg en separat tilbud for denne tjenestekostnaden.

6. Om garanti:
Vårt utstyr har en garanti på 12 måneder. Etter garantiavgangen, hvis noen deler blir skadet og må byttes ut, vil vi bare beregne kostprisen.

Spørre

Spørre Email Whatsapp WeChat
Top
×

Kontakt oss