PLASMA kilde
|
RF
|
||
Effekt
|
ICP
|
_
|
|
BIAS
|
1000W(valgfritt)
|
||
Anvendelsesområde
|
4~8 tommer
|
||
Antall enkeltbehandleslice
|
1
|
||
Utseende
|
850mmx900mmx1850mm
|
||
Systemkontroll
|
PLC
|
||
Automatiseringsnivå
|
Manuell
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved