Semiconductor indurstry utstyr MDLB-MC200 Photomask cleaner , Kina Semiconductor indurstry utstyr MDLB-MC200 Photomask cleaner Produsenter, leverandører, fabrikk

MDLB-MC200

Fotomask-rens

Rengjøringsenhet:

Rensekammeret er behandlet med korrosjonsbestandige materialer, som har en glatt overflate og er enkle å rengjøre. Det er en avfallsutløpsport i bunnen av det indre hulrommet, som bruker tyngdekraften for å tillate at avfallsvæske slippes ut i fabrikkavfallsrørledningen. Det er en sugeport inne i hulrommet, som i tide kan trekke ut atmosfæren fra hulrommet. Utstyrt med 3 automatiske svingarmer, kan den oppnå automatisk rengjøring.

Konfigurasjonsparametertabell:

Nei.	Prosjekt	Spesifikasjoner	Merknader
1	Utstyrsoversikt	Enhetsnavn: Photomask Cleaner
		Utstyrsmodell: MDLB-MC200
		Totale dimensjoner (omtrent): 1300 mm (B) * 1000 mm (D) * 1950 mm (H)
		Hele maskinens vekt (omtrent): 300 kg
		Høyde på operasjonsbordet: 900 ± 50 mm
		Spesifikasjoner for substratstørrelse: egnet for 2/4/5/6/8 tommers firkantede maskeplater
		Prosessflyt: manuell waferplassering → rengjøring (børste, rengjøringsløsning → høytrykksvann → megasonisk vann → avionisert vann → nitrogengasstørking) → manuell waferfjerning
		Utstyrstype: halvautomatisk, manuell lasting og lossing
2	Utstyrskonstruksjon	Skall: rustfritt stål, glatt, korrosjonsbestandig, lett å rengjøre
		Rengjøringskammer: PP, glatt, korrosjonsbestandig, lett å rengjøre
		Rørledning: PU/PFA matchende rørledning brukes
		Arbeidsbelysning: antikorrosjonsgul lysbelysning
		Døråpningsstil: Dobbeltdør med døråpningsalarmfunksjon
		Berøringsskjerm: 10 tommers berøringsskjerm i full farge * 1
		FFU: Klasse 100
		Lekkasjesikker bunnstøtte: tilgjengelig
3	Høy presisjon servomotor	Antall: 1
		Hastighet: -3000~3000rpm	Tom last
		Maksimal akselerasjon av spindelrotasjon: 3000rpm/S	Tom last
		Hastighetsnøyaktighet: ± 1rpm (50rpm~3000rpm)
		Hastighetsoppløsning: 1rpm
4	Automatisk svingarm	Antall: 3
4	Automatisk svingarm	Svingarmhastighet: 1~30 °/S
5	renseenhet	Rengjøringssvingarm: 1 kanal avionisert vann, 1 kanal nitrogengass Megasonic arm: 1 Megasonic, 1 høytrykksvann Børstearm: 1 børste, 1 vann, 1 rengjøringsmiddel
		Rengjøringsmetode: automatisk rengjøring
		Avionisert vannsugefunksjon: tilgjengelig
		Tilbakespyling (avionisert vann): 1 rute
		Tilførselsmetode: Renseløsning: Membranpumpe Avionisert vann: levert direkte fra fabrikken
		Trykktank med væskenivådeteksjon
6	Børste børste	Antall: 1 (med selvrensende funksjon)
		Hastighet: opptil 1000rpm, justerbar hastighet
		Høyde justerbar manuelt
7	Legg i skuffen	Antall: 5
		Materiale: PPS+rustfritt stål
		Størrelse: Passer for 2/4/5/6/8 tommers firkantede maskeplater
		Underlagsfestemetode: Klofestemetode
8	Kontrollsystem	Kontrollsystem: ved hjelp av PLS-kontroll
		Program: 100 grupper, hver gruppe består av 100 trinn, med en maksimal enkelttrinnstid på 3000.0 sekunder Oppløsning: 0.1S
		Programmet kan lagres, kalles, endres og slettes
		Angi krypteringstillatelser: for henholdsvis enhetsoperatører, teknikere, administratorer og produsenter
		Signaltårn type: rød, gul, grønn 3 farger