Enkelt kaver, to kaver og fire kaver Sterk prosesskapasitet, kan støtte applikasjoner som Wafer Start og prosessrensning God konsekvens av utstyllingsinterchip-teknologi
Anvendelsesområder
Overflatepartikkel fjerning av 4-8 tommer silisiumbaserte og sammensetningsbaserte plater
Tekniske parametere
4-tommer, 6-tommer, 8-tommer børste kaver Spinnerhastighet opp til 4000OMS Dobbelt arm børstekammer, tilgjengelig i Børste, AS, JET, Megasonisk rensningsmetoder Kan støtte væskerensningsfunksjon
LoadPort-enhet, lastingsenhet
LoadPort er lastingsenheten på denne enheten
Kan utføre Wafer Mapping Utstyrt med Wafer glide deteksjon
Overføringsrobotenhet
Dual Blade Robot, valgfritt med vakuum eller bakkenype blader.
Justerings- og vippingsenhet
Kan justere og lokalisere flatte kanter Wafer kan vippes for å skrubbe krystallbakken
Børstenheten
Antall børstearmer * 2 Waferhåndtering: Chuck-feste eller sugtype Børste, AS, JET, Megasonisk rensingstilstand, støtter farmasøytisk rensing
1. Støtter Wafer-inndata og -utdata samtidig, samt A-inndata og B-utdata-tilstand 2. Kan støtte børsting av fronten av kamerat A og bakken av kamerat B 3. Kan støtte dobbeltkameraparallell renning
Beskrivelse av børstenhet
Som vist i bildet Wafer festsatt på toppen av Spinner
Arm1&Arm2 kan brukes i kombinasjon med ulike børstemetoder beskrevet tidligere for å rengjøre wafers.
Etter rengjøring, roterer Spinner på høy fart for å centrifugere og tørke wafer
Justerings- og vippingsenhet
Wafer kan brukes til bolig- og nivellering formål
Wafer kan vendes
Utstyrsstørrelse: 160x150x220 (mm) Lastemethoder: samme inn og samme ut & A inn og B ut Antall penslingsenheter: 2 Penslingsmoduser: Pensel, AS, JET, Megasonics-rengjøringsmetoder, støtter farmaceutisk rengjøring
Pakking & Levering
Bedriftsprofil
FAQ
1. Om prisen: Alle våre priser er konkurransedyktige og forhandlingsmessige. Prisen varierer avhengig av konfigurasjonen og tilpassingskompleksiteten på enheten din.
2. Om eksempel: Vi kan levere eksempelproduksjonservices for deg, men du må betale noen gebyrer.
3. Om betaling: Når planen er bekreftet, må du først betale en nedbetaling, og fabrikken vil begynne å forberede varer. Når utstyret er klart og du har betalt resten, vil vi sende det.
4. Om levering: Etter at produksjonen av utstyr er ferdig, vil vi sende deg akseptansekvideoen, og du kan også komme til stedet for å inspisere utstyret.
5. Installasjon og feilsøking: Etter at utstyret har ankommet fabrikkene dine, kan vi sende ingeniører for å installere og调试utstyret. Vi vil gi deg en separat tilbud for denne tjenestekostnaden.
6. Om garanti: Vårt utstyr har en garanti på 12 måneder. Etter garantiavgangen, hvis noen deler blir skadet og må byttes ut, vil vi bare beregne kostprisen.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
