Semiconductor substrat Wafer produksjon Utstyr Helautomatisk enkel Chip Wafer Cleaning Machine Wafer Scrubber , Kina Semiconductor substrat Wafer produksjon Utstyr Helautomatisk enkel Chip Wafer Cleaning Machine Wafer Scrubber Produsenter, leverandører, fabrikk

produktbeskrivelse

Helautomatisk rengjøringsmaskin med enkelt-chips wafer Wafer Scrubber

Maskinfunksjoner

Enkelt hulrom, to hulrom og fire hulrom
Sterk prosesskapasitet, i stand til å støtte applikasjoner som Wafer Start og prosessrengjøring
God konsistens av utstyr inter chip teknologi

Søknadsfelt

Overflatepartikkelfjerning av 4-8 tommers silisiumbaserte og blandingsbaserte wafere

Tekniske parametere

4-tommers, 6-tommers, 8-tommers børstehulrom
Spinnerhastighet opp til 4000 RPM
Dual Arm børstekammer, tilgjengelig i Brush, AS, JET, Megasonics rengjøringsmetoder
Kan støtte flytende rengjøringsfunksjon

produkt halvleder substrat wafer produksjon utstyr helautomatisk single chip wafer rengjøring maskin wafer scrubber-51

LoadPort-enhet, lasteenhet

LoadPort er lasteenheten til denne enheten

I stand til Wafer Mapping
Utstyrt med Wafer-sklideteksjon

Overføringsrobotenhet

Dual Blade Robot, valgfritt med blader av vakuum- eller bretttype.

Justerings- og vippeenhet

Kan justere og lokalisere flate kanter
Wafer kan snus for å skrubbe krystallen tilbake

Børsteenhet

Antall børstearm * 2
Waferhåndtak: Chuckklemme eller sugetype
Børste, AS, JET, Megasonics rengjøringsmoduser, støtter farmasøytisk rengjøring

produkt halvleder substrat wafer produksjon utstyr helautomatisk single chip wafer rengjøring maskin wafer scrubber-52

1. Støtter Wafer input og out put samtidig, samt A input og B output moduser
2. Kan støtte børsting foran på kammer A og baksiden av kammer B
3. Kan støtte dobbeltkammer parallell rengjøring

Beskrivelse av børsteenhet

Som vist på figuren
Wafer festet på toppen av Spinner

Arm1&Arm2 kan brukes sammen med ulike børstemetoder beskrevet tidligere for å rense wafere.

Etter rengjøring roterer Spinner med høy hastighet for å spinne og tørke waferen

produkt halvleder substrat wafer produksjon utstyr helautomatisk single chip wafer rengjøring maskin wafer scrubber-53

Justerings- og vippeenhet

Wafer kan brukes til bolig- og utjevningsformål

Wafer kan snus

produkt halvleder substrat wafer produksjon utstyr helautomatisk single chip wafer rengjøring maskin wafer scrubber-54

Utstyrsstørrelse: 160x150x220 (mm)
Laste- og lossemetoder: samme inn og samme ut&A inn og B ut
Antall børsteenheter: 2
Børstemoduser: Brush, AS, JET, Megasonics rengjøringsmetoder, støtter farmasøytisk rengjøring

Pakking og levering

produkt halvleder substrat wafer produksjon utstyr helautomatisk single chip wafer rengjøring maskin wafer scrubber-55

produkt halvleder substrat wafer produksjon utstyr helautomatisk single chip wafer rengjøring maskin wafer scrubber-56

Selskapet profil

FAQ

1. Om pris:
Alle våre priser er konkurransedyktige og omsettelige. Prisen varierer avhengig av konfigurasjons- og tilpasningskompleksiteten til enheten din.

2. Om eksempel:
Vi kan tilby prøveproduksjonstjenester for deg, men du kan gi noen avgifter.

3. Om betaling:
Etter at planen er bekreftet, må du først betale oss et depositum, og fabrikken vil begynne å forberede varene. Etter
utstyret er klart og du betaler resten, vi sender det.

4. Om levering:
Etter at utstyrsproduksjonen er fullført, sender vi deg akseptvideoen, og du kan også komme til stedet for å inspisere utstyret.

5. Installasjon og feilsøking:
Etter at utstyret kommer til fabrikken din, kan vi sende ut ingeniører for å installere og feilsøke utstyret. Vi vil gi deg et eget tilbud for denne serviceavgiften.

6. Om garanti:
Vårt utstyr har 12 måneders garantiperiode. Etter garantiperioden, hvis noen deler er skadet og må skiftes, belaster vi kun kostprisen.