Vakuum mikrobølge plasma rengjøringsmaskin Plasma overflatebehandling halvleder emballasjeløsning IC TO-pakke , Kina Vakuum mikrobølge plasma-rensemaskin Plasma overflatebehandling halvleder emballasjeløsning IC TO-pakke Produsenter, leverandører, fabrikk

Produktbeskrivelse

Semiconductor Emballasjeløsning Microwave Plasma Cleaner

SPV-100MWR er et lavspente mikrobølgeplasma-rensesystem for halvledere. Ved å bruke mikrobølgeovn med frekvensen 2.45 GHz til vinduet på veggen av vakuumhulen, genereres et stort antall kontinuerlig plasma, og brikken renses ved å gå inn i hulrommet.

Vakuum mikrobølgeovn plasma rengjøringsmaskin Plasma Overflatebehandling Semiconductor Emballasjeløsning IC TO pakkeleverandør

Tekniske parametere

Vakuum plasma vert
Utstyrsstørrelse	1230X1800X1100mm (bredde x høyde x dybde)
Vekt	450kg
effektbehov	AC380V, 50/60Hz, 5-leder, 30A
Plasmagenerator spesifikasjoner
Mikrobølgestrømforsyning	Power	0 ~ 1250W
		Frekvens	2.45GHz
Vakuumsystem
Materiale	Aluminiumslegering (tilpassbart kammer i rustfritt stål)
Tykkelse	25mm
Innvendige dimensjoner av hulrommet	480mmX470mmX480mm
arbeidsområder	6 magasinseksjoner
ECR	Slotted Magazine gir ECR forbedret behandlingseffekt
Plasma evne
Bearbeidingsevne	35um pitch 40 μm bump 15X15mm Maksimal formstørrelse