Vakuum mikrobølgeplasma renningsmaskin Plasma Overflatebehandling Halvleder Pakkingsløsning IC TO pakke , China Vakuum mikrobølgeplasma renningsmaskin Plasma Overflatebehandling Halvleder Pakkingsløsning IC TO pakke Manufacturers, Suppliers, Factory

Produktbeskrivelse

Halvleder Pakking løsning Mikrobølge Plasma Rensere

SPV-100MWR er et lavspenningsmikrobølgeplasma rensesystem for halvledere. Ved å bruke mikrobølger med frekvensen 2,45GHz til vinduet på veggen av vakuumhulen, genereres en stor mengde kontinuerlig Plasma, og chippen blir renset ved å gå inn i hulen.

Vacuum microwave plasma cleaning machine Plasma Surface Treatment Semiconductor Packaging solution IC TO package supplier

Tekniske parametere

Vakuumplasmavert
Utstyrsstørrelse	1230X1800X1100mm (bredde x høyde x dybde)
Vekt	450 kg
Krave etter kraft	AC380V, 50/60Hz, 5-tråd, 30A
Plasmaspesifikasjoner for generatoren
Mikrobølgekraftforsyning	Effekt	0~1250W
		Frekvens	2.45GHz
Vakuum system
Materiale	Aluminiumlegger (tilpassbar stålksjon)
Tykkelse	25mm
Interne dimensjoner av hulen	480mmX470mmX480mm
Arbeidsrom	6 magasinavdelinger
ECR	Magasinet med slott gir forbedret ECR-behandlingseffekt
Plasma-forskjellighet
Behandlingsforskjellighet	35um Avstand 40μm Bump 15X15mm Maksimal terningstørrelse