Teknisk parameter |
Målingsmode |
PSI/VSI/super dybde av fokus/bright field |
Enkelt målefelt (20× objektivlinse) |
500*350μm (automatisk samling) |
|
Vinkeljustering |
±12° manuell |
|
Z-akse justering |
20mm elektrisk + 50mm manuell (grovt og finjusteringsmekanisme) |
|
Lodret skannerområde |
0-10mm |
|
Lodret oppløsning |
<0.2nm |
|
Gjentakelighet av måling av longitudinell roughness |
0.01nm (PSI-modus) |
|
indikasjonsfeil av trinnhøyde måling |
<0.75% (VSI-modus) |
|
Lateral oppløsning: @550nm |
0.69μm (20× objektivlinse) |
|
Målbart refleksjonstapet for prøve |
0.1%-100% |
|
Måletid |
<5s (PSI-modus) |
|
Analysefunksjon |
Analysefunksjon |
3D høydemåling, 3D rughetsanalyse, 2D dimensjonsmåling |
3D datautgang |
3D punktskydata, gråtonebilledata, tilpasset rapport |
Objektivforstørrelse |
2.5X |
5x |
10x |
20x |
50x |
100x |
Numerisk blenderåpning |
0.075 |
0.13 |
0.3 |
0.4 |
0.55 |
0.7 |
Optisk oppløsning @550nm (μm) |
3.7 |
2.1 |
0.92 |
0.69 |
0.5 |
0.4 |
Fokusdybde (μm) |
48.7 |
16.2 |
3.04 |
1.71 |
0.9 |
0.56 |
Arbeidsavstand (mm) |
10.3 |
9.3 |
7.4 |
4.7 |
3.4 |
2.0 |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved