Система реактивного ионного травления
Профессионально предоставляем индивидуальные решения для клиентов
Двухкамерный RIE (Cl₂) настройка
В феврале 2024 года мы получили запрос от клиента на технологию хлорирования пластин диаметром 100 мм.
Это интересное приложение для нас, поскольку требуемый технологический газ содержит токсичные газы Cl2 и BCl3. Мы должны улучшить все конфигурации машины, чтобы избежать проблем безопасности, и специально спроектировали двухкамерную структуру технологической камеры и передаточной камеры, чтобы идеально защитить оператора, одновременно выполняя требования процесса.
Примерно через 5 месяцев проектирования и производства мы провели многочисленные испытания образцов и моделирование производства во внутренней лаборатории компании и быстро поставили оборудование после прохождения приемки заказчиком.
Гуанчжоу Миндер-Хайтэк Ко., Лтд.
Авторские права © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Все права защищены.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
НЕТ
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
