Minder-Hightech je proizvajalec polprevodnikov. Polprevodniki so ključni sestavni deli večine tega, kar sestavlja sodobno življenje, kot so mobilni telefoni in računalniki. Zdaj je nekaj korakov pri ustvarjanju polprevodnikov, vendar je prvi korak ustvariti vzorec na ravni površini, imenovani rezina.

Za upodabljanje tega vzorca na rezino nanesemo poseben material. Ta snov je znana kot fotorezist. Ko smo fotorezist odložili, ga izpostavimo svetlobi. Pod svetlobo se del fotorezista utrdi in postane močan. Področja v senci ostanejo mehka in jih je mogoče obrisati.

Po pridobitvi želenega vzorca na rezini je treba fotorezist odstraniti s področij, kjer bomo izvajali nadaljnjo obdelavo. Tukaj je Čistilo za plazmo pride v poštev, dobesedno.

Plazemske metode za odstranjevanje fotorezista

Plazma je stanje plina z visoko stopnjo energije zaradi visokega električnega naboja, ki se nanjo nanese. In ta aktivirani plin je zelo uporaben za odstranjevanje fotorezista s površine rezin. Zaradi plazme lahko fotorezist postane krhek in njegovo čiščenje postane veliko lažje.

Za odstranjevanje fotorezista imamo dve različni tehniki z uporabo plazme: suho jedkanje in pepelenje.

Suho jedkanje: pri tej tehniki je dejanska plazma, ki deluje s fotorezistom. Plazma reagira s fotorezistom, kjer pride v stik. Ta reakcija razgradi fotorezist in ga pretvori v plin. To plinasto snov je mogoče nato očistiti s površine rezin, zaradi česar so izpostavljena področja, ki jih potrebujemo čista in na voljo za napredovanje.

Pepelenje — To je drugačen način, pri tej metodi se za fotorezist uporablja nereaktivna plazma. Plazma namesto tega razbije fotorezist na majhne koščke. Nato lahko te majhne koščke speremo z oblata. Ta pristop je primeren in ščiti rezino, hkrati pa odstrani nepotreben fotorezist.

Uporaba reaktivne plazme za odstranjevanje fotorezista

Obdelava plazemske površine je zelo zmogljivo orodje, ki nam pomaga odstraniti najtrdnejši fotorezist z rezine. Plazma je neverjetna sama po sebi, a najboljši del je, da jo lahko spremenimo v super selektivno sredstvo. To pomeni, da ga je mogoče nastaviti tako, da reagira samo s fotorezistom, ne pa tudi z drugimi materiali pod njim.

Na primer: če imamo vzorec na rezini, kjer je kovina pod fotorezistom, lahko uporabimo vrsto plazme, ki reagira samo s fotorezistom. Tako lahko fotorezist zjedkamo, ne da bi poškodovali kovino pod njim. Zdaj je to zelo kritično, saj potrebujemo vse dele rezine, da med postopkom ohranijo svojo celovitost.

Plazemska tehnika za odstranjevanje fotorezista

Minder-Hightech uporablja plazemsko tehnologijo nove dobe pri odstranjevanju fotorezista iz naših rezin. To nam omogoča izdelavo polprevodnikov brez napak, ki so visoke kakovosti.

Hitri, prilagodljivi vašim potrebam. Naši sistemi so zasnovani tako, da se neopazno vključijo v vaš potek dela. To pomeni, da lahko na kratko odstranimo fotorezist. In ker smo hitri, izpolnjujemo celotno povpraševanje naših strank in zagotavljamo odlične izdelke, ko jih potrebujejo.

Toda naši plazemski sistemi so poleg svoje učinkovitosti tudi zelo natančni. Ta natančnost nam omogoča, da lahko odstranimo samo fotorezist. Naša tehnologija preprečuje, da bi se vsi drugi deli rezine poškodovali zaradi našega procesa, tega pa si ne moremo privoščiti. Ta metodična praksa postane še toliko bolj bistvena za kakovost polprevodnikov, ki jih tam izdelujemo.

S plazmo povzročeno odstranjevanje fotorezista na polprevodnikih

Skratka, plazma je super moč, ki nam omogoča, da na zelo učinkovit način odstranimo nekaj fotorezista s površine rezin. Mi v Minder-Hightechu uporabljamo najnovejšo in najboljšo plazemsko tehnologijo za proizvodnjo kakovostnih polprevodnikov brez napak. Ko gre za plazemske sisteme, so naše rešitve izdelane tako, da uravnotežijo hitrost in natančnost, hkrati pa so še vedno zelo učinkovite. To pomeni, da smo sposobni izpolniti zahteve naših kupcev in zagotavljati kakovostne izdelke brez napak. To želi izboljšati proces polprevodnikov, kot jih uporabljamo odstranjevanje plazme tehnologijo, ki naredi naše polprevodnike čim boljše za vse vrste elektronskih naprav, da postanejo zanesljivi pripomočki.