Minder-Hightech je izdelovalna podjetja polprevodnikov. Polprevodniki so ključni sestavljenci velikega dela tistega, kar tvori sodobno življenje, kot so mobilne telefone in računalnike. Tvorjenje polprevodnikov vsebuje nekaj korakov, prvi pa je ustvarjanje vzorca na ravnem površju, imenovanem talcu.

Da bi izrisali ta vzorec, si na talce odložimo poseben material. Ta snov se imenuje fotoproti. Ko smo postavili fotoproti, ga izpostavimo svetlu. Pod vplivom svetlobe se del fotoproti opevajo in postanejo trdne. Dele v senci ostanejo mehke in jih je mogoče postradati.

Po pridobitvi želenega vzorca na talcu mora biti fotoproti odstranjen iz območij, kjer bomo izvedli nadaljnjo obdelavo. Tukaj pride v igro Plazmenska čistiłica doslovno.

Metode z uporabo plazme za odstranjevanje fotoproti

Plazma je stanje plina z visoko energijo, ki jo povzroči visoka električna napetost, ki se ji priloži. In ta aktiviran plin je zelo uporaben za odstranjevanje fotoresista s površine peljke. S plazmo se lahko fotoresist postane hrupek in njegovo počiščenje postane veliko lažje.

Imamo dve različni tehniki, ki jih uporabljamo za odstranitev fotoresista: suho etčenje in popeljanje.

Suhe etčenje: V tej tehniki vsebuje dejanska plazma, ki interagira z fotoresistem. Plazma reagira z fotoresistem tam, kjer pride do stika. Ta reakcija razpade fotoresist in ga pretvori v plin. To plinsko snov nato lahko počistimo s površine peljke, kar pomeni, da se odkrijajo območja, ki jih želimo imeti čiste in na voljo za nadaljnji postopek.

Ashing — To je drugačen način, kako to storiti. V tem metodu se uporablja nereaktivno plazmo za fotorezist. Plazma razbije fotorezist v majhne, male kosičke namesto tega. Nato jih lahko ti mali koscički umijemo s plošče. Ta pristop je primeren in zaščita ploščo med odstranjevanjem nenehno potrebnega fotorezista.

Uporaba reaktivne plazme za odklanjanje fotorezista

Plazmenska obdelava površine je zelo močen orodij, ki nam pomaga odkloniti najtežjega fotorezista s plošče. Plazma je sama po sebi neverjetna, vendar pa je najboljša dejstva, da jo lahko pretvorimo v zelo izbirno agencijo. To pomeni, da se lahko prilagaja tako, da reagira le posebej s fotorezistom, ne pa z drugimi materiali pod njim.

Na primer: Če imamo vzorec na plošči, kjer je pod fotozavarovalko nameščen kovina, lahko uporabimo vrsto plazme, ki reagira le z fotozavarovalko. S tem lahko izrežemo fotozavarovalko, ne škodimo pa kovini pod njo. To je zelo pomembno, saj morajo vse dele plošče obdržati svojo celovitost med procesom.

Plazmenska tehnika za odstranjevanje fotozavarovalke

Minder-Hightech uporablja sodobno plazmensko tehnologijo za odstranjevanje fotozavarovalke s naših plošč. To nam omogoča izdelavo napak brez polivodnikov visoke kakovosti.

Hitro, prilagojitveno vašim potrebam. Naši sistemi so načrtovani tako, da se gladko integrirajo v vaš delovni postopek. To pomeni, da smo sposobni odstraniti fotozavarovalko v kratkem času. In ker smo hitri, izpolnjujemo celotno zahtevnost naših strank, zagotavljajoč odlične produkte takrat, ko jih potrebujejo.

Vendar pa so tudi naše plazmenske sisteme zelo natančne, ob svoji učinkovitosti. To natančnost nam omogoča odstraniti le sam fotorezist. Naša tehnologija zaščita vse druge dele ploskve pred poškodovanjem v našem procesu, saj si tega ne moremo privoščiti. Ta sistematična praksa postaja še bolj pomembna za kakovost polprevodnikov, ki jih izdelujemo.

Plazmensko odstranjevanje fotorezista na polprevodnikih

Torej, v kratkem, plazma je super moč, ki nam omogoča odstraniti nekaj fotoresist s površine plosčice na zelo učinkovit način. V Minder-Hightech uporabljamo najnovejše in najboljše plazmenske tehnologije za proizvodnjo polprevodnikov brez nobenih defektov. Kdor govorimo o plazmenskih sistemih, naše rešitve so izdelane tako, da uravnotežijo hitrost z natančnostjo, hkrati pa ostanejo zelo učinkovite. To pomeni, da smo sposobni izpolniti zahteve naših strank ter dostavljati kakovostne produkte brez napak. To pripomore k izboljšavi procesa polprevodnikov, saj uporabljamo plazmensko odstranjevanje tehnologijo, ki naredi naše polprevodnike kar najboljše za vse vrste elektronskih uređanj, da postanejo zanesljive naprave.