Velikost peljke
|
4”~ 8” peljek
|
Debelina peljke
|
100~750 mikronov
|
Vrsta peljke
|
Si, SiC, GaN ali drugi materiali
|
Vrsta filme
|
Modra folija, UV folija
Širina: 230 ~ 300 mm Dolžina: 100 m Debelina: 0.05 ~ 0.2 mm |
Nosilna prsten za plosčice
|
6”, 8” DISCO
|
Način nalaganja in razlaganja
|
Ročno postavljanje in odstranjevanje plosčic/prstena
|
Točnost postavitve folije
|
±0,5mm
Običajne plošče za krogele 6” in 8” za krogele 6” in 8” |
Vakumska črpalka
|
Minder-Hightech
|
Antistatična nadzora
|
Dejonizacijski ventil
|
Kontrolna enota
|
Na osnovi PLC nadzora, z dotikovim zaslonom 10”
|
Varstvo pred nevarnostmi
|
Opremljeno s svetlobnim zavesnim varnostnim sistemom in gumbom hitrega ustanka
|
Napajalska napetost
|
Enofazni AC 220V, 16A
|
Stisnjen zrak
|
0,45~0,6MPa, hitrost toka 70L/min
|
Kozar naprave
|
Beli plastkoven metalni kozar
|
Prostornina
|
850mm (širina)*1750mm (globina)*1970mm (višina)
|
Neto teža
|
480kg
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved