Poravnava / stroj za poravnavo fotolitografije , China Poravnava / stroj za poravnavo fotolitografije Manufacturers, Suppliers, Factory

Opis izdelkov

Mask Poravnavač Litografska mašina

Mask Poravnavač se glavno uporablja v razvoju in proizvodnji malih in srednjih integriranih krožnic, polprevodniških komponent, optoelektričnih naprav, površinskih akustičnih valov, tenkofilmskih krožnic in močnih elektronskih naprav
Maskovni poravnavalec, ki se tudi imenuje: maskovna izpostavitvena strojna oprema, izpostavitveni sistem, litografski sistem itd., je jedrska oprema za izdelavo čipov. Uporablja tehnologijo, podobno fotografiranju, da s pomočjo svetlobne izpostavitve izriše jemne vzorce na maski na kremenikov trak.
Glavno sestavlja: visoko precizna poravnava delovnega stola, dvodelno polje v vertičnem mikroskopu z dvočlenim vidom, dvodelno polje v horizontalnem mikroskopu z dvočlenim vidom, digitalna kamera, računalniški sistem za shranjevanje slik, večkratni svetilni vir (fly eye) za izpostavitveno glavo, PLC nadzorni sistem, pnevmatični sistem, vakuumski sistem, neposredno povezani vakuumski pump, druga stopnja proti vibracijam delovnega stola in prilogočena vrstica.

Aligner /Alignment Machine photolithography manufacture

Aligner /Alignment Machine photolithography factory

Značilnosti

1. Visoka enakomernost fly-eye izpostavitvene glave / mehanizem ravnjanja z zrakovim plavanjem / zanesljiv vakuumski priključek za izpostavitev. visoka ločljivost.
2. Poravnava z masko, ki obdrži stabilnost in hitrost presledovanja snovi, kar zagotavlja skladnost med vodilno gravitacijo in silo.
3. Uporaba brezpreprostega ravne usmeritve, visoka natančnost, hitra hitrost.
4. Vsi modeli so primerni za delo z vsemi standardnimi fotoresistancami, kot so AZ, Shipley, SU 8.
5. Vsi modeli: Kakovost vzorca, ki jo sistem prenaša na podlagu po uporabi 5 mask, bi moral biti enak kakovosti vzorca po uporabi prve maske.
6. Čas izpostavljanja je prikladljiv med 1 sekundo in 1 uro. Natančnost poravnave 1 µm

Aligner /Alignment Machine photolithography supplier

Aligner /Alignment Machine photolithography details

Specificacija

Model	MD-G25A	MD-G25D	MD-G31		MD-G33
Vrsta izpostavljanja	Ena stran			Dvostransko poravnava in dvostransko izpostavljanje
Obstoj izpostavljenosti	Stik, mehki in ne-stikovni približek
Količina izpostavitvene glave	1 izpostavitvena glava			2 izpostavitveni glavi
Vrsta svetlobnega vira	GCQ350 krogla rtutna lampica						LED UV izpostavitvena glava
Metoda hlađenja	Hladjenje z zrakom
Izpostavitvena območja	Φ100mm	110×110mm	Φ100mm		150mm×150mm
Obstoj izpostavljenosti	Skladen s steklenimi in mehkim kontaktnim
Neravnomernost izpostavljanja	Φ100mm<±3%<>	≤±3%
Ločljivost izpostavljanja	2μm	1 μm
Intenziteta žarka (365 nm)	≥6mw/cm²	≤40mw/cm2	≥5mw/cm2		0～30mw/cm2
Neenakost žarka	≤±4%	≤±3%
Maksimalni odklon kota UV svetlobe	4°	3°
Osvetljenostni obseg	≤Φ117mm	Φ117mm	≤Φ117mm		Spredaj in zadej ≥ Φ115mm
Način kompensacije napake klinov	Krogla avtomatična kompensacija			Samodejno izključitev		3-kotna avtomatska kompensacija
Pot osi X in Y	±4mm	±5mm	±4mm		±5 mm
Pot θ	±3°	≤5°	≤±5º		≤0.5°
Ločljivost premika podlage XYZ	0.5µm	0.3µm	0.3µm		0.01µm
Sistem mikroskopa	Dva enoprtljiva mikroskopa \/ Dve CCD kamere
Velikost zaslona	15 palcev
Ločljivost slike sistema	2µm	1.5µm	1.5µm		1.5µm
Merilna razdalja med masko in podlagom	0.5 µm	0.3 µm
Diagonalna dimenzija ploskve CCD cilja	1/3, (6mm)						40mm～110mm
Velikost namestitvene plošče	≤ Kvadrat 5*5 palcev (Prilagodljive specifikacije)
Velikost podlag	Φ 100mm ali 100*100mm kvadrat	60*49.5mm kvadrat	2”-4”		1"x1"-5"x5"
Debelina snovi	1-3 mm	≤5 mm	1-3 mm		≤5 mm
Vakumska črpalka	Brez olja tiho (-0,07～-0,08MPα)
Čist pritiskani zrak	≥0,4MPα
Napajanje	AC 220V±10% 50HZ 1,5KW
Razred čiste sobe	Razred 100
Temperatura čiste sobe	25℃±2℃
Relativna vlažnost čiščene sobe	≤60%
Amplituda vibracij v čiščeni sobi	≤4μm
Velikost opreme	1300 ×720×1600mm				1500 ×800×1600mm
Teža opreme	200KG				280 kg

Proizvodnja visoko-preciznega poravnalnega sistema zahteva skoraj popolno precizno mehansko obdelavo. Druga tehnična težava poravnalnega sistema je poravnalni mikroskop. Za povečanje videvnega polja mikroskopa uporabljajo mnogi visokoendni litografski stroji osvetlitev s LED diodami. Obstajata dve množici poravnalnega sistema z fokusirno funkcijo. Glavno sestavljeno iz dveh oči in dveh videvnih polj, usmerjenih na telo mikroskopa, en par okularjev in en par objektivov (litografski stroj običajno ponuja uporabnikom okularje in objektive z različnimi povečanji). Funkcija CCD poravnalnega sistema je povečati poravnalne oznake maska in vzorca ter jih prikazati na monitorju.

Podajalnik delov je ključni del stroja za litografijo, ki ga sestavlja skupen gibanjski podajalnik za masko in vzorec (XY), relativni gibanjski podajalnik za masko in vzorec (XY), rotacijski podajalnik, ravnotežni mehanizem vzorca, fokusirni mehanizem vzorca, podajalnik ploščic, ogenj za masko in izvlečni podajalnik za masko. Ravnotežni mehanizem vzorca vsebuje kroglo sedez in polkroglo. V procesu ravnoteženja se najprej pritiskovemu zraku omogoči dostop do kroglega sedeza in polkrogle, nato pa se krogli sedeze, polkrogle in vzorčnega dela premakne navzgor preko fokusiranega ročnika, tako da se vzorčni del lahko ravnoteži proti maske, nato pa preklopna vrednost solenoidne ventilne vrednosti zamenja krogli sedeze in polkrogle na vakuum za zaklenitev, da ohrani ravnotežno stanje.

Minder-Hightech vam ponuja napredno tehnologijo za fotolitografijo skozi poravnavač / stroj za poravnavo.

Ali se spopadate s problemom premajhne natančnosti pri tiskanju krožnic na svoje elektronske produkte? Z Minder-Hightechovim poravnalnim strojem lahko mirujoč vedno, da boste dosegli visoko stopnjo natančnosti pri proizvodnji tiskanih krožnic.

Z tem revolucionarnim izdelkom lahko brez težav prenesete visokorazlično sliko na izdelek z uporabo fotolitografije. Ta stroj jamči natančnost s sistemom operacij za poravnavo materiala z sliko.

Po tiskanju in nalaganju slik izračuna stroj količino potrebne ekspozicije in kako je material poravnjan glede na slike. Ta izračun izvaja z uporabo najnovejše računalniške programske opreme, ki jo je mogoče posodobiti, da sledi razvoju v proizvodnji.

Vam bo omogočilo izdelavo široke palety, vključno s mikrokroži, radiofrekvenčnimi (RF) kroži in vgrajenimi kroži. Enota lahko doseže najboljšo globino lepljenja, širino sleda in poravnava med plastmi z dodajanjem različnih komplementarnih postopkov, kot so kemski odlaganj in elektroplitanje.

Prednost našega produkta leži v njegovi sposobnosti, da proizvede visoko stopnjo poravnave, kar zagotavlja, da so vzorci točno postavljeni na materialu. Lahko rahlo izpišete mnoge zapletene oblike brez katerikršnih odformitev.

Je uporabniško prijazen, kompaktен in učinkovit, kar ga dela primeren za različne proizvodne namestitve ali velikost podjetja. Poleg tega naše napravo pripeljejo s ročnim ohranjanjem in lokacijskim usposabljanjem s skupino našega tehničnega podpore.

Minder-Hightechova poravnavačna strojnica uporablja tehnologijo fotolitografije, da vam pomaga doseči najboljše rezultate med tiskom vaših krožnic. Izkušajte novo stopnjo tehnologije, ki vam ponuja visoko natančnost in točnost, ki jo ne morejo doseči tradične metode tiskanja. Minder-Hightechova poravnavačna strojnica je tisto, kar potrebuje vaš proizvodni podjetji, da ostane naprej pred konkurenco. Obrnite se kotikoli z nami, da izkušate prednosti najboljše poravnavačne tehnologije na trgu.

domača stran

O nas

MH Equipment

Rešitev

Uporabniki v tujini

video

Kontaktirajte nas

Poravnava / stroj za poravnavo fotolitografije

Več izdelkov

Vrstica MD-FS stroj za vinjenje kondenzatorjev

Vrstica MD-FDS avtomatski stroj za vinjenje kondenzatorjev

Vrstica MD-EFS stroj za vinjenje kondenzatorjev

Vrstica MD-EDFS stroj za vinjenje filmovih kondenzatorjev

poizvedba

Articles

Products

Get In Touch