Fotolitografija s strojem za poravnavo/poravnavo, Kitajska fotolitografija s strojem za poravnavo/poravnavo Proizvajalci, dobavitelji, tovarna

Opis izdelka

Litografski stroj za poravnavo mask

Mask Aligner se v glavnem uporablja pri razvoju in proizvodnji majhnih in srednje velikih integriranih vezij, polprevodniških komponent, optoelektronskih naprav, površinskih akustičnih valov, tankoslojnih vezij in močnostnih elektronskih naprav
Mask Aligner Znan tudi kot: osvetljevalni stroj za poravnavo maske, sistem osvetlitve, litografski sistem itd., je osnovna oprema za proizvodnjo čipov. Uporablja tehnologijo, podobno tiskanju fotografij, za tiskanje drobnih vzorcev na maski na silikonsko rezino z osvetlitvijo
V glavnem sestavljajo: delovna miza za visoko natančno poravnavo, navpični mikroskop z ločenim vidnim poljem z binokularjem, vodoravni mikroskop z ločenim vidnim poljem z binokularjem, digitalni fotoaparat, pomnilniški sistem za računalniško slikanje, osvetljevalna glava z večtočkovnim svetlobnim virom (fly eye), nadzorni sistem PLC, pnevmatski sistem, vakuumski sistem, neposredno povezana vakuumska črpalka, sekundarna antivibracijska delovna miza in škatla za pribor

Izdelava fotolitografije za poravnavo/poravnavo

Tovarna fotolitografije za poravnavo/stroj za poravnavo

Značilen

1. Visoko enakomerna osvetljevalna glava / mehanizem za izravnavo zračne flotacije / zanesljiva osvetlitev vakuumskega vpenjanja. visoka ločljivost.
2. Metoda poravnave z masko ohranja stabilnost in hranjenje substrata, ki zagotavlja doslednost vodilne gravitacije in sile.
3. Uporaba ravnega vodila brez vrzeli, visoka natančnost, hitra hitrost.
4. Vsi modeli so primerni za delo z vsemi standardnimi fotorezisti. kot so AZ, Shipley, SU 8.
5. Vsi modeli Kakovost vzorca, ki ga sistem prenese na substrat 5 aplikacij maske, mora biti enaka kakovosti vzorca po nanosu prve maske.
6. Čas osvetlitve nastavljiv med 1 sekundo in 1 uro. Natančnost poravnave 1 µm

Dobavitelj fotolitografije za poravnavo/stroj za poravnavo

Podrobnosti o fotolitografiji stroja za poravnavo/poravnavo

Tehnični podatki

Model	MD-G25A	MD-G25D	MD-G31		MD-G33
Vrsta osvetlitve	Ena stran			Dvostranska poravnava in dvostranska izpostavljenost
Način osvetlitve	Stična trda, mehka in brezkontaktna bližina
Količina osvetlitvene glave	1 osvetljevalna glava			2 osvetljevalna glava
Vrsta svetlobnega vira	GCQ350 sferična živosrebrna svetilka						LED UV osvetljevalna glava
Način hlajenja	Zračno hlajenje
Območje izpostavljenosti	Φ100mm	110 × 110mm	Φ100mm		150mm × 150mm
Način osvetlitve	Združljiv s kontaktno trdo, mehko
Neenakomernost osvetlitve	Φ100mm<±3%<>	≤ ± 3%
Ločljivost osvetlitve	2μm	1 μm
Intenzivnost žarka (365 nm)	≥6mw/cm²	≤40mw/cm2	≥5mw/cm2		0～30mw/cm2
Nehomogenost žarka	≤ ± 4%	≤ ± 3%
Največji kot odstopanja UV svetlobe	4 °	3 °
Razpon osvetlitve	≤Φ117 mm	Φ117mm	≤Φ117 mm		Spredaj in zadaj ≥ Φ115 mm
Način kompenzacije zagozdene napake	Hemisferična avtomatska kompenzacija			Samodejna izločitev		3-točkovna avtomatska kompenzacija
Hod osi X in Y	± 4mm	± 5mm	± 4mm		± 5 mm
Potovanje θ	± 3 °	≤5 °	≤±5º		≤0.5 °
Ločljivost premika substrata XYZ	0.5µm	0.3µm	0.3µm		0.01µm
Mikroskopski sistem	Dva enocevna mikroskopa / dve CCD kameri
Velikost zaslona	15 cm
Ločljivost slikovnega sistema	2µm	1.5µm	1.5µm		1.5µm
Maska in razdalja merjenja podlage	0.5 μm	0.3 μm
Diagonalna dimenzija ciljne površine CCD	1/3,（6mm）						40 mm ~ 110 mm
Nastavitev velikosti mize	≤ kvadrat 5*5 palcev (prilagodljive specifikacije)
Velikost substratov	Φ 100 mm ali 100 * 100 mm kvadrat	60 * 49.5 mm kvadrat	2 -4 "		1"x1"-5"x5"
Debelina podlage	1-3mm	≤5 mm	1-3mm		≤5 mm
Vakuumska črpalka	Nemo brez olja（-0.07～－0.08MPα）
Čist stisnjen zrak	≥0.4MPα
Napajanje	AC 220V±10% 50HZ 1.5KW
Razred čiste sobe	Razred 100
Čista sobna temperatura	25 ℃ ± 2 ℃
Relativna vlažnost čistega prostora	≤60%
Amplituda vibracij čiste sobe	≤4μm
Velikost opreme	1300 × 720 × 1600 mm				1500 × 800 × 1600 mm
Teža opreme	200kg				280kg

Izdelava visokonatančnega sistema poravnave mora imeti skoraj popoln natančen mehanski postopek. Druga tehnična težava sistema poravnave je poravnalni mikroskop. Da bi povečali vidno polje mikroskopa, veliko vrhunskih litografskih strojev uporablja LED osvetlitev. Obstajata dva sklopa sistema za poravnavo s funkcijo ostrenja. V glavnem je sestavljen iz dveh očes in dveh vidnih polj, usmerjenih v glavno telo mikroskopa, enega para okularjev in enega para objektivnih leč (litografski stroj običajno nudi okularje in objektivne leče z različno povečavo za uporabnike). Funkcija sistema za poravnavo CCD je povečati oznake poravnave maske in jih vzorčiti ter prikazati na monitorju.

Stopnja obdelovanca je ključni del litografskega stroja, ki je sestavljen iz stopnje celotnega gibanja vzorca maske (XY), stopnje relativnega gibanja vzorca maske (XY), stopnje vrtenja, mehanizma za izravnavo vzorca, mehanizma za fokusiranje vzorca , stopnjo rezin, objemko maske in stopnjo izvlečne maske. Nivelirni mehanizem vzorca je sestavljen iz krogličnega sedeža in polkrogle. V postopku izravnave se najprej na sedež krogle in poloblo uporabi tlačni zrak, nato pa se sedež krogle, polobla in vzorčni kos premaknejo navzgor skozi ročno kolesce za fokusiranje, tako da se lahko vzorčni kos izravna z masko, nato pa dvopoložajni tripotni elektromagnetni ventil preklopi kroglični sedež in poloblo v vakuum za zaklepanje za vzdrževanje izravnanega stanja.

Minder-Hightech vam prinaša napredno tehnologijo za fotolitografijo s strojem za poravnavo/poravnavo.

Ali imate težave s premajhno natančnostjo pri tiskanju vezij na vaše elektronske izdelke? S strojem za poravnavo/poravnavo podjetja Minder-Hightech ste lahko mirni, saj veste, da boste dosegli visoko raven natančnosti pri proizvodnji svojih tiskanih vezij.

S tem revolucionarnim predmetom lahko brezhibno prenesete sliko visoke ločljivosti na izdelek s pomočjo fotolitografije. Ta stroj zagotavlja natančnost z operativnim sistemom poravnave materiala s sliko.

Ko so bile slike natisnjene in naložene, naprava izračuna potrebno količino osvetlitve in kako je material usklajen z omembo slik. Ta izračun je opravljen z uporabo najnovejše računalniške programske opreme, ki jo je mogoče posodobiti, da ustreza tehnološkemu razvoju proizvodne industrije.

Omogočil vam bo izdelavo širokega spektra, vključno z mikrovezji, radiofrekvenčnimi (RF) vezji in vgrajenimi vezji. Enota lahko z dodajanjem različnih komplementarnih postopkov, kot sta kemično jedkanje in galvanizacija, ustvari najboljšo globino jedkanja, širino sledi in poravnavo med plastmi.

Prednost našega izdelka je v njegovi zmožnosti ustvarjanja visoke poravnave, ki zagotavlja, da so vzorci na materialu nameščeni z veliko natančnostjo. Priročno lahko natisnete veliko zapletenih modelov brez deformacij.

Je uporabniku prijazen, kompakten in učinkovit, zaradi česar je primeren za različne proizvodne obrate ali velikost podjetja. Poleg tega ima naša naprava ročno vzdrževanje in usposabljanje na kraju samem z našo ekipo osebja za tehnično podporo.

Stroj za poravnavo/poravnavo podjetja Minder-Hightech uporablja tehnologijo fotolitografije, ki vam pomaga doseči najboljše rezultate pri tiskanju vaših vezij. Izkusite novo raven tehnologije, ki vam ponuja visoko točnost in natančnost, ki ju tradicionalni načini tiskanja ne morejo primerjati. Stroj za poravnavo/poravnavo podjetja Minder-Hightech je tisto, kar potrebuje vaše proizvodno podjetje, da ostane korak pred konkurenco. Stopite v stik z nami še danes in uživajte v prednostih najboljše tehnologije poravnalnikov/strojev za poravnavo na trgu.

Domov

O Apothecariusu

MH oprema

Rešitev

Čezmorski uporabniki

Video

KONTAKT

Fotolitografija stroja za poravnavo/poravnavo Slovenija

več izdelkov

Stroj za navijanje kondenzatorjev serije MD-FS

Avtomatski stroj za navijanje kondenzatorjev serije MD-FDS

Stroj za navijanje kondenzatorjev serije MD-EFS

Stroj za navijanje filmskega kondenzatorja serije MD-EDFS

Povpraševanje

Članki

Izdelki

Kontakt