Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Domov
O nas
MH Equipment
Rešitev
Uporabniki v tujini
Video
Kontaktirajte nas
Domov> MH Equipment> Odrobnaš in polirni stroj
  • Avtomatsko čiščenje po CMP
  • Avtomatsko čiščenje po CMP
  • Avtomatsko čiščenje po CMP
  • Avtomatsko čiščenje po CMP
  • Avtomatsko čiščenje po CMP
  • Avtomatsko čiščenje po CMP
  • Avtomatsko čiščenje po CMP
  • Avtomatsko čiščenje po CMP
  • Avtomatsko čiščenje po CMP
  • Avtomatsko čiščenje po CMP
  • Avtomatsko čiščenje po CMP
  • Avtomatsko čiščenje po CMP

Avtomatsko čiščenje po CMP

Opis produkta

Oprema za čiščenje po kemsko-mehanskem poliranju ploščic

Počiščevanje po CMP

Lastnosti stroja

Močan procesni zmogljivost
Dvojni komorenski ščotek, s širokimi območji procesne primernosti
Oprema zaseda majhen prostor, z razsežnostmi 2200 * 800 * 2200 (mm)

Področja uporabe

ščotjenje po CMP 6-8 palec
Čiščenje po drobljenju SIC ali drugih podlag

Tehnični parametri

Čiščenje po 4-palcnem in 6-palcnem CMP
Dvokamerni načrt, neodvisna delovanja kamor Wet in and dry out ali dry in and dry out
Visoko hitrostno vrtanje do suhih SRD

LoadPort enota, nalagalska enota

LoadPort je nalagalska enota tega naprave
Hranilni oddajnik z vodo
Ima funkcijo sprejnega umaknjavanja

Češkarska enota, enota za čiščenje plošč Wafer

Dvokamerna enota, sposobna podpirati dve različni čiščilni rešitvi
Položaj čiščenja se lahko prilagodi glede na recept Nosilna ravna tapecija

Enota SRD, enota za sušenje plošč

Tip zavijalnika za plošče, z maksimalno hitrostjo 4000OBR
Lahko izvaja čiščenje AS na površini plošče in sprit DIW

Enota UNLOAD, rezna enota

Enota UnLoad ima samostojno FFU, da bi se zagotovila čistota izhoda plošč

Trak

Vlažna območja so nosilne ravnine tapece
Suha območja za teleportacijo robota

Opis čiščilne enote

Kot je prikazano na levem sliki, čiščilna enota tega naprave sestoji iz dveh čiščilnih enot, imenovanih BU1 in BU2.
Tlak češca vsake enote se lahko prilagodi posebej (kot je določeno v receptu), in vsaka češča enota se lahko umiva z različnimi kemijskimi čistilnimi rešitvami posebej.
Češča stroja uporablja PVA češčo, ki je pogosto uporabljena vrsta na trgu.
Prenos med prostoroma je pasovni prenosnik. Znotraj prostora je DIW UMIVANJE.

SRD enota

SRD enota je opremljena s stisknim CHUCK in AS ARM, ki lahko dodatno fizično počisti in očrta površino plošče.
Specificacija
Velikost opreme:
2200 * 800 * 2200 (mm)
Načini nalaganja in izlaganja
suho vstopanje/medvlago vstopanje/suho izstopanje
Število češčih enot
2
Število SRD enot
1
Način transporta
Transport v mokri zoni s pojasom, transport v suhi zoni z robotom
Velikost naprave z čистilno komoro 1 je 1850 * 800 * 2200
Pakiranje & Dostava
Podjetni profil
Pogosta vprašanja
1. O ceni:
Vsa naša cenovanja so konkurenčna in pogajljiva. Cena se spreminja v odvisnosti od konfiguracije in kompleksnosti prilagoditve vaše naprave.

2. O vzorcu:
Možemo vam ponuditi storitve izdelave vzorcev, a morate plačati nekatera stroškovna pristojbina.

3. O plačilu:
Po potrditvi načrta morate najprej plačati zavezo, nato bo zavod začel pripravljati izdelke. Ko bo
oprema pripravljena in plačali boste ostanek, jo bomo poslali.

4. O dostavi:
Ko bo izdelava opreme končana, vam bomo poslali video za sprejem, lahko pa tudi pridejo na lokacijo za pregled opreme.

5. Namestitev in prilagajanje:
Ko bo oprema prišla v vašo fabriko, jo lahko pošljemo inženirje za namestitev in prilagajanje opreme. Za ta strošek storitve vam bomo ponudili poseben cenik.

6. O jamstvu:

Naše opreme ima jamstvo trajajoče 12 mesecev. Po obdobju jamstva, če so katerikoli deli pokvarjeni in jih je treba zamenjati, bomo vzel le stroške proizvodnje.

Poizvedba

Poizvedba Email Whatsapp Top
×

Ostanite v stiku