Samodejni kemični mehanski polirnik z eno ploščo CMP, Kitajska Avtomatski kemični mehanski polirnik z eno ploščo CMP Proizvajalci, dobavitelji, tovarna

opis izdelka

ATOM CMP z eno ploščo

Funkcije stroja

Naprava je prilagodljiva in lahko podpira več glav.
Procesna zmogljivost opreme je blizu ravni glavnega modela izdelkov enake velikosti.
Dobra skladnost postopka med napravami.

Področja uporabe

4-8 inch STI, ILD/IMD, TSV, TGV poliranje in površinsko poliranje spojin, kot so SiC, LT, LN, GaAs itd.

Tehnični parametri

4-palčne, 6-palčne, 8-palčne glave, več consko upravljanje
Vrsta plošče Φ20 in 508 mm
Natančnost nadzora tlaka glave <0.05PSI
Natančnost nadzora hitrosti vrtenja glave in plošče <2RPM

izdelek avtomatski enojni valjčni kemični mehanski polirnik cmp-53

1. Enota LoadPort

Vrata je mogoče obrniti, da potopite kaseto v Qtank, s čimer se izognete nastajanju kristalov gnojnice na
polirana površina Waferja. Opremljen s funkcijo kasete Mapping.

izdelek avtomatski enojni valjčni kemični mehanski polirnik cmp-54

2. Robotska enota za pridobivanje materiala

Opremljen je s 4-osnim robotom, ki lahko samodejno prenaša rezine iz kasete v polirno enoto.

izdelek avtomatski enojni valjčni kemični mehanski polirnik cmp-55

3. Polirna enota

Ta enota je opremljena s ploščo * 1, glavo * 1, računalnikom *
1, roka za gnojevko * 1, HCLU * 1 in končna točka EPD
odkrivanje. Lahko doseže samodejno nalaganje in razkladanje rezin, večconski nadzor glave, gnojevko
spreminjanje pristajalne točke z nastavitvami recepta, zaznavanjem končne točke in drugimi funkcijami.

izdelek avtomatski enojni valjčni kemični mehanski polirnik cmp-56

CMP glava za poliranje

Polirne glave, konfigurirane na tej napravi, je vse neodvisno razvilo, oblikovalo in proizvedlo naše podjetje.
Med njimi je 4-palčna glava s 3 votlinami edinstven izdelek, ki ga je ustvarilo naše podjetje in zapolnjuje vrzel brez 4-palčne glave z več votlinami na Kitajskem. Naše podjetje lahko hitro spremeni ali prilagodi glavo glede na značilnosti izdelka stranke. Pri razvoju izdelkov s tankim filmom TGV (200 um) je bila notranja struktura glave spremenjena tako, da ustreza zahtevam poliranja tankega filma. Med razvojnim postopkom tehnologije poliranja površine LN OX je naše podjetje temeljito nadgradilo 6-palčno glavo in uspešno izpolnilo zahteve kupca glede izdelka.

izdelek avtomatski enojni valjčni kemični mehanski polirnik cmp-57

Aplikacije

Tradicionalni IC planarizacijski postopek poliranja；

postopek TGV/TSV；

Smart Cut in predhodno lepljenje CMP；

SIC poliranje podlage/poliranje galijevega arzenida.

izdelek avtomatski enojni valjčni kemični mehanski polirnik cmp-58

Tehnični podatki

port	Količina * 1, s Q-tankom
robot	Količina * 1, za prenos napolitank
HCLU	Količina * 1, za avtomatsko polnjenje in praznjenje rezin
Glava za poliranje	Količina * 13 krmiljenje votline, natančnost krmiljenja 0.1 PSI, lahko podpira 400–1200 operacij rezin UM.
Hitrost glajenja glave	5-150RPM
Poliranje diska	Količina * 1 polirna plošča velikosti 508 mm, hitrost polirne blazinice 10–150 vrt./min.
Roka za obrezovanje	Količina * 1 polirna blazinica. Polirno blazinico lahko polirate online (istočasno) ali offline (po poliranju). Obrezovanje roka je opremljena z gredjo za prirezovanje, ki se lahko vrti in premika gor in dol, hitrost in tlačno silo pa je mogoče nadzorovati. The orodje za obrezovanje je nameščeno na gredi za obrezovanje in ga je mogoče hitro odstranili. Glede na različne vrste polirnih blazinic so konfigurirane različne vrste orodij za obdelavo, vključno z obdelavo ščetke, diamantni prstani in diamantni diski.
Enota za nadzor zračnega tlaka polirne glave UPA	Količina * 13 Območje nastavljivo za boljši učinek ravnanja površine
Črpalka za dovod polirne tekočine	Količina * 2. Peristaltične črpalke se uporabljajo za oskrbo s tekočino, pri čemer sta 2 peristaltični črpalki konfigurirani za različno poliranje tekočine na polirni disk. Vsako črpalko je mogoče uporabiti v katerem koli koraku postopka.
Roka za gnojevko	Količina * 1 lahko nadzoruje točko pristanka gnojevke in lahko očisti polirno blazinico.
Sistem za nadzor delovanja lahko doseže nadzor na ravni uporabnika, kot so način operaterja, način vzdrževanja in tehnični način ter var te načine nadzirajo gesla. Sistemska programska oprema lahko ureja procesne parametre vsakega koraka procesa in izravnava in polirajte tanek film na površini čipa v skladu s programom. Lahko spremlja stanje delovanja opreme, spremlja procesne parametre v realnem času, programska oprema pa lahko samodejno shrani različne procesne podatke. Opremljen z zaustavitvijo v sili gumb, ki se uporablja za takojšnjo zaustavitev delovanja opreme in prekinitev napajanja krmiljenja.

Pakiranje in dostava

izdelek avtomatski enojni valjčni kemični mehanski polirnik cmp-59

izdelek avtomatski enojni valjčni kemični mehanski polirnik cmp-60

predstavitev podjetja

Pogosta Vprašanja

1. O ceni:
Vse naše cene so konkurenčne in po dogovoru. Cena se razlikuje glede na konfiguracijo in zahtevnost prilagajanja vaše naprave.

2. O vzorcu:
Za vas lahko nudimo storitve proizvodnje vzorcev, vendar lahko plačate nekaj pristojbin.

3. O plačilu:
Ko je načrt potrjen, nam morate najprej plačati depozit in tovarna bo začela pripravljati blago. Po
oprema je pripravljena in plačate preostanek, mi jo bomo poslali.

4. O dostavi:
Po končani izdelavi opreme vam bomo poslali prevzemni videoposnetek, lahko pa pridete tudi na gradbišče in si opremo ogledate.

5. Namestitev in odpravljanje napak:
Ko oprema prispe v vašo tovarno, lahko pošljemo inženirje za namestitev in odpravljanje napak v opremi. Pripravili vam bomo ločeno ponudbo za to storitev.

6. O garanciji:
Naša oprema ima 12-mesečno garancijo. Če so po garancijskem obdobju kateri koli deli poškodovani in jih je treba zamenjati, bomo zaračunali samo ceno.