Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Pridobi ponudbo

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Domov
O nas
MH Equipment
Rešitev
Uporabniki v tujini
Video
Kontaktirajte nas
Domov> Pločni šleper
  • Samodejni enoploščinski polirni stroj za kemiko-mehansko poliranje ploskve (CMP)
  • Samodejni enoploščinski polirni stroj za kemiko-mehansko poliranje ploskve (CMP)
  • Samodejni enoploščinski polirni stroj za kemiko-mehansko poliranje ploskve (CMP)
  • Samodejni enoploščinski polirni stroj za kemiko-mehansko poliranje ploskve (CMP)
  • Samodejni enoploščinski polirni stroj za kemiko-mehansko poliranje ploskve (CMP)
  • Samodejni enoploščinski polirni stroj za kemiko-mehansko poliranje ploskve (CMP)
  • Samodejni enoploščinski polirni stroj za kemiko-mehansko poliranje ploskve (CMP)
  • Samodejni enoploščinski polirni stroj za kemiko-mehansko poliranje ploskve (CMP)
  • Samodejni enoploščinski polirni stroj za kemiko-mehansko poliranje ploskve (CMP)
  • Samodejni enoploščinski polirni stroj za kemiko-mehansko poliranje ploskve (CMP)

Samodejni enoploščinski polirni stroj za kemiko-mehansko poliranje ploskve (CMP)

Pridobite brezplačno ponudbo
Opis produkta
ATOM CMP s enim podajalnim ploščjem

Lastnosti stroja

Uređaj je fleksiben in lahko podpira več glav.
Procesna zmogljivost opreme je blizu ravni glavnih modelov iste velikosti.
Dobra skladnost med procesi različnih uređajev.

Področja uporabe

poliranje STI, ILD/IMD, TSV, TGV in površinsko poliranje sestavin, kot so SiC, LT, LN, GaAs itd., v razsežnostih 4-8 palcev.

Tehnični parametri

glave velikosti 4 palce, 6 palcev, 8 palcev, večzonska nadzorna enota.
Vrsta Φ20-palčnega platenja 508MM.
Natančnost nadzora tlaka glave <0.05PSI.
Natančnost nadzora hitrosti rotacije glave in platenja <2RPM.

1. Enota LoadPort.

Vrata se lahko prevrne, da se Cassette utopi v Qtanku, kar preprečuje oblikovanje kristalov Slurryja na
poliranem površju Waferja. Opremljeno z funkcijo Cassette Mapping.

2. Enota za izvzetje materiala z robota.

Opremljeno s 4-osnim robotom, ki samodejno premika ploskve iz Cassette na enoto za poliranje.

3. Postrušni enotnik

Ta enota je opremljena s Platen * 1, Head * 1, PC *
1, Slurry Arm * 1, HCLU * 1, in EPD končna zaznavanje
lahko doseže avtomatsko nalaganje in razalaganje ploskev, večzonsko nadzorovanje glave, spremembo
točke pristanka Slurry glede na nastavitve Recepta, zaznavanje konca procesa ter druge funkcije.
CMP Postrušna Glava
Postrušne glave nameščene na temi napravi so vse neodvisno razvite, oblikovane in proizvedene v naši družbi.
Med njimi je 4-palcna 3-kaviti glava edinstveni produkt, ki ga je ustvarila naša družba, zapolnjujoč praznino v Kitajski za manjkajoče večkaviti 4-palcne glave. Naša družba lahko hitro spremeni ali prilagodi glavo glede na lastnosti izdelka stranke. V razvoju TGV tenkofilmskih (200um) izdelkov je bila notranja struktura glave spremenjena, da bi se izpolnilo zahteve za poliranje tenkofilmskih materialov. Med razvojem tehnologije poliranja OX površine LN je naša družba globoko posodobila 6-palcno glavo in uspešno izpolnila zahteve izdelka stranke.
Aplikacije
Tradicen proces postranskega izravnjanja IC;
TGV/TSV postopek;
Smart Cut in Pre bonding CMP;
Postranska gladenja SIC podlage/galij arsenidno gladenje.
Specificacija
Ladijska luka
Količina * 1, z Q-nadzorom
Robot
Količina * 1, za prenos plošč
HCLU
Količina * 1, za avtomatsko nalaganje in razlaganje plošč
Postranska glavica
Količina * 13 polnjenje nadzora, kontrolna natančnost 0,1PSI, lahko podpira operacije plošč 400-1200 UM.
Hitrost polirnega glave
5-150RPM
Polirni disk
Količina * 1 velikost polirnega diska 508mm, hitrost polirnega podložja 10-150rpm.
Strigalna roka
Količina * 1 polirno podložje. Polirno podložje se lahko polira v sprotnem (hkrati) ali izven sprota (po poliranju). Strigalna
roka je opremljena z strigalom, ki se lahko vrte in giba navzgor in navzdol, ter se lahko nadzira hitrost in pritisk.
strigalni alat je nameščen na strigalni vrtenjak in ga je mogoče hitro
odstraniti. Glede na različne vrste polirnih podložij so konfigurirane različne vrste oblegalskih orodij, vključno z oblegali
četrti, diamantskimi obroči in diamantskimi diskami.
UPA polirna glava z enoto za upravljanje z zrakom
Količina * 13. Zonska prilagoditev za boljši učinek ravnjanja površine
Pompna enota za snov za poliranje
Količina * 2. Peristaltične pompe se uporabljajo za presledovanje tekočine, pri čemer je nastavljenih 2 peristaltični pumpe za dostavo različnih poliranih snovi na disk za poliranje. Vsaka pumpa se lahko uporabi v katerem koli koraku procesa.
tekočine na disk za poliranje. Vsaka pumpa se lahko uporabi v katerem koli koraku procesa.
Slurry ram
Količina * 1 lahko nadzira odklopno točko slurry in jo lahko počisti polirna podlaga.
Operacijski nadzorni sistem omogoča nadzor na ravni uporabnika, kot so na primer način operaterja, način održavanja in tehnični način, pri čemer so različni načini nadzorovani z gesli. Sistemov programske opreme lahko uredi postopkovne parametre vsakega koraka procesa in ravnja ter polira tanko plenico na površini čipa glede na program. Lahko spremlja delovno stanje naprave, v realnem času spremlja postopkovne parametre, in programska oprema samodejno shranjuje različne postopkovne podatke. Opremljen s hitrim ustavitvom v primeru nesreče
različne načine so nadzorovani z gesli. Sistemov programske opreme lahko uredi postopkovne parametre vsakega koraka procesa in ravnja ter polira tanko plenico na površini čipa glede na program.
lahko spremlja delovno stanje naprave, v realnem času spremlja postopkovne parametre, in programska oprema samodejno shranjuje različne postopkovne podatke.
programska oprema samodejno shranjuje različne postopkovne podatke. Opremljen s hitrim ustavitvom v primeru nesreče
gumb, uporablja se za takojšno ustavitev delovanja opreme in izklopitev nadzorne moči.
Pakiranje & Dostava
Podjetni profil
Pogosta vprašanja
1. O ceni:
Vsa naša cenovanja so konkurenčna in pogajljiva. Cena se spreminja v odvisnosti od konfiguracije in kompleksnosti prilagoditve vaše naprave.

2. O vzorcu:
Možemo vam ponuditi storitve izdelave vzorcev, a morate plačati nekatera stroškovna pristojbina.

3. O plačilu:
Po potrditvi načrta morate najprej plačati zavezo, nato bo zavod začel pripravljati izdelke. Ko bo
oprema pripravljena in plačali boste ostanek, jo bomo poslali.

4. O dostavi:
Ko bo izdelava opreme končana, vam bomo poslali video za sprejem, lahko pa tudi pridejo na lokacijo za pregled opreme.

5. Namestitev in prilagajanje:
Ko bo oprema prišla v vašo fabriko, jo lahko pošljemo inženirje za namestitev in prilagajanje opreme. Za ta strošek storitve vam bomo ponudili poseben cenik.

6. O jamstvu:
Naše opreme ima jamstvo trajajoče 12 mesecev. Po obdobju jamstva, če so katerikoli deli pokvarjeni in jih je treba zamenjati, bomo vzel le stroške proizvodnje.

Več izdelkov

Poizvedba

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Pravilnik o zasebnosti

Poizvedba Email Whatsapp Top
×

Ostanite v stiku