Model |
MDTS-WT2200 |
Število osi za režnjenje |
2 |
Število delovnih miz |
3, Indeksna metoda |
Osi cepnega kolesa |
Število zraknih vrtečk: 2 Motor vrtečke: 7,5kW spremenljiv motor Hitrost: 0~6000obm/min, neprekinjeno prilagodljiva Specificacija šlepkarskega kolesa: Φ203mm Vrsta šlepkarskega kolesa: diamantsko šlepkarsko kolo |
Sistem podajanja šlepkarskega kolesa |
Količina: 2 seta Način upravljanja sistema za dajanje: LM rešetovina in krogla škraba Kombinacija Gonski motor: servomotor Najmanjša hitrost dajanja: 0,1 μm/sec Največja hitrost dajanja: 50 mm/sec |
delovna miza |
Količina: 3, indeksni način Motor vretena: Servomotor Hitrost: 0~300 obr./min, neprekinjeno prilagodljiva Način pripenjanja: Vakuumsko pripenjanje |
Delovna plošča z vrtilnico |
Gonski način: servomotor Obratna razpon: 0~240° Položaj oblike: položaj s pomočjo senzorja |
Samodejna debelina merilni sistem |
Način merjenja: IPG stikovno online merjenje v realnem času Število merilnih glav: 2 Merilni senzor: senzor na ravni 0,1 μm |
Samodejno nalaganje/ sistem odalaganja |
Vrsta kutije: 6-8inch Cassette, 25 plasti Metoda samodejnega nalaganja/odalaganja: uporablja se manipulator ploskev, da se zagotovi brezškodno prevoz tankih ploskev Debelina waferja: 150um-1000um |
Funkcija čiščenja delovnega stola |
Način čiščenja: Poletanje s olivnim kamenom & DI voda + zrak dvofaznega pritoka |
Samodejno čiščenje/ sušilni sistem |
Čiščenje: čiščenje priključka za DIW Način sušenja: Puščanje + sušenje Hitrost: največ 1000rpm brezstopno prilagodljiva |
Sistem za odpravo statične elektrike |
Ionska ploska ali orionski ventilator |
Hladilnik špindla |
Temperatura: 18-22°C Hitrost toka: 4~8L/min |
Nadzorni sistem |
Kontrolni sistem: PC kontrolni sistem, dotikovni zaslon, 3-barvna alarmna luč Kitajško/angleško uporabniško vmesnik |
Največja velikost plošče |
Največ skupaj s 8 inči |
Območje hitrosti |
0~6000 OBR/min |
Premik po Z-osi |
160mm |
Hitrost napajanja Z osi |
0.1~100um/sec |
Hitrost hitrega vračanja Z osi |
50mm/sec |
Ločljivost na osi Z |
0.1um |
Område merjenja debeline v živo |
0~1800um |
Ločljivost merjenja debeline v živo |
0.1um |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved