ICP stroj za suho plazemsko odstranjevanje fotorezista / odstranjevanje plazemskega fotorezista (PR) za polprevodniške rezine, Kitajska ICP stroj za suho plazemsko odstranjevanje fotorezista / odstranjevanje plazemskega fotorezista (PR) za polprevodniške rezine Proizvajalci, dobavitelji, tovarna

opis izdelka

Stroj za odstranjevanje fotorezista ICP PLASMA

PEPEPELENJE
Odstranjevanje polimera
Suho odstranjevanje trde plasti maske
Odstranitev fotorezistence po ionski implantaciji
Odstranitev fotorezistence v postopku BAW/SAW
Kemično čiščenje antirefleksnega sloja grafičnega filma
Odstranjevanje površinskih ostankov
Čiščenje površine po jedkanju
DESCUM

Stroj za odstranjevanje fotorezista s suho plazmo ICP je primeren za DESCUM (predobdelava, odstranitev ostankov fotorezista) Odstranjevanje polimerov (PI, BCB, PBO) Po ionski implantaciji, odstranitvi fotorezista itd. je votlina primerna za 8-palčne vzorce (4 -6 inch združljiv)

Stroj za odstranjevanje fotorezista s suho plazmo ICP / Stroj za odstranjevanje fotorezista iz plazme (PR) za podrobnosti polprevodniških rezin

ICP stroj za odstranjevanje fotorezista s suho plazmo / stroj za odstranjevanje plazemskega fotorezista (PR) za dobavitelja polprevodniških rezin

Stroj za odstranjevanje fotorezista s suho plazmo ICP / Stroj za odstranjevanje fotorezista iz plazme (PR) za proizvodnjo polprevodniških rezin

Stroj za odstranjevanje fotorezista s suho plazmo ICP / stroj za odstranjevanje fotorezista iz plazme (PR) za tovarno polprevodniških rezin

Tehnični podatki

PLAZMA			RF	RF
moč	ICP	1000w	1000w
moč		PRISTRANOST	600 W (možnost)	600 W (možnost)
Veljavno področje uporabe			4 ~ 8 cm	4 ~ 8 cm
Število posameznih rezin obdelave			1	2
Dimenzije videza			1080x1840x1800mm	1340x2050x1800mm
Nadzor sistema			Industrijski nadzorni sistem	Industrijski nadzorni sistem
Stopnja avtomatizacije			avtomatski	avtomatski