Polprevodniška oprema za sistem induktivnega sklopitve plazemskega jedkanja (ICP), Kitajska Proizvajalci polprevodniške opreme za sistem induktivnega sklopitve plazemskega jedkanja (ICP), dobavitelji, tovarna

opis izdelka

Sistem za induktivno sklopljeno plazemsko jedkanje (icp).

Podrobnosti polprevodniške opreme z induktivno sklopljeno plazmo za jedkanje (ICP).

Sistem za jedkanje s plazmo z induktivno sklopko (ICP) Tovarna polprevodniške opreme

Rezultat procesa

Jedkanje kremena/silicija/rešetke

Z uporabo BR maske za jedkanje kremenčevih ali silicijevih materialov ima vzorec niza rešetk najtanjšo linijo do 300 nm, strmina stranske stene vzorca pa je blizu > 89°, kar je mogoče uporabiti za 3D zaslon, mikro optične naprave, optoelektronsko komunikacijo, itd

Jedkanje spojin/polprevodnikov

Natančen nadzor temperature površine vzorca lahko dobro nadzoruje morfologijo jedkanja materialov na osnovi GaN, GaAs, InP in kovinskih materialov. Primeren je za modre LED naprave, laserje, optično komunikacijo in druge aplikacije.

Sistem za induktivno sklopljeno plazemsko jedkanje (ICP) Proizvodnja polprevodniške opreme

Jedkanje materiala na osnovi silicija

primeren je za jedkanje materialov na osnovi silicija, kot so Si, SiO2 in SiNx. Lahko realizira jedkanje silicijevih linij nad 50 nm in globoko jedkanje silicija pod 100 um

Tehnični podatki

Konfiguracija projekta in diagram strukture stroja

Postavka	MD150S-ICP	MD200S-ICP	MD150CS-ICP	MD200CS-ICP	MD300C-ICP
Velikost izdelek	≤6 palcev	≤8 palcev	≤6 palcev	≤8 palcev	Po meri≥12 palcev
Vir napajanja SRF	0~1000W/2000W/3000W/5000WAdjustable,automatic matching\,13.56MHz/27MHz
BRF vir energije	0~300W/0~500W/0~1000WAdjustable, automatic matching,2MHz/13.56MHz
Molekularna črpalka	Nejedko: 600/1300 (L/s)/Po meri			Proti koroziji: 600/1300 (L./s)/Po meri		600/1300 (L/s) / po meri
Prednja črpalka	Mehanska črpalka / suha črpalka			Protikorozijska suha črpalka		Mehanska črpalka / suha črpalka
Črpalka pred črpanjem	Mehanska črpalka / suha črpalka			Mehanska črpalka / suha črpalka
Procesni tlak	Nenadzorovan tlak/0-0.1/1/10 Torr nadzorovan tlak
Vrsta plina	H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/NH3/C2F6/Custom (Do 12 kanalov, brez jedkih in strupenih plinov)			H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/CHF3/ C4F8/NF3/NH3/C2F6/Cl2/BCl3/HBr/ Po meri (do 12 kanalov)
Plinsko območje	0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/1000sccm/Custom
LoadLock	Da / Ne			Da
Kontrola vzorca tem	10°C~Sobna temperatura/ -30°C~150°C /Po meri			-30°C~200°C/po meri
Hrbtno hlajenje s helijem	Da / Ne			Da
Obloga procesne votline	Da / Ne			Da
Nadzor temperature votlih sten	Ne/Sobna temp-60/120°C			Sobna temperatura ~60/120°C
Kontrolni sistem	Samodejno/po meri
Material za jedkanje	Silicijeva osnova: Si/SiO2/ SiNx/SiC..... Organski materiali: PR/organski film......			Silicijeva osnova: Si/SiO2/SiNx/SiC III-V: InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI: CdTe...... Magnetni material/zlitina Kovinski materiali: Ni/Cr/Al/Cu/Au... Organski materiali: PR/organski film...... Silikonsko globoko jedkanje

Pakiranje in dostava

predstavitev podjetja

Imamo 16 let izkušenj s prodajo opreme. Nudimo vam lahko profesionalno rešitev za polprevodniško opremo za sprednji in zadnji del paketne opreme na enem mestu iz Kitajske.