struktura |
na primer: |
Izpostavljanje namizja |
Območje izpostavljanja: namizje, območje postavitve snovi |
Optični sistem |
Območje oblike laserjeve emisije |
Sistem kontrole okolja |
Kontrola notranje temperature in pozitivnega tlaka naprave |
Sistemska platforma |
Dobi nadzorovanje gibanja izpostavitvenega stola, da dokonča postopek izpostavitve |
Nadzorni sistem |
Kontrolni sistem celotnega naprave |
ŠT. |
Okolje |
Zahteva |
1 |
Osvetljenjsko okolje |
Rumena barva |
2 |
Temperatura |
22℃±2℃ |
3 |
Vlažnost |
50%±10% |
4 |
Čistočnost |
1000 |
5 |
CDA |
0.6±0.1Mpa, 200LPM, suho, čisto zrak |
6 |
Napajanje |
220~240V, 50/60Hz, 2.5KW; Vzzemni vod mora biti povezan na vzzemje, |
7 |
Hladilna voda |
Temperatura: 10℃~ 20℃ Tlak: 0.3MPa ~ 0.5MPa Hitrost toka: 20L/min Razlika v tlaku: 0.3MPa in več Stikovni premer: Rc3/8 |
8 |
Lokacija |
raven: ±3mm/3000mm klepanje: VC-B Osi: 750kg/㎡ |
10 |
Internet |
Ena omrežna vrata |
11 |
Velikost stroja |
1300*1100*2100mm |
12 |
Teža naprave |
1500 kg |
ŠT. |
Projekt |
Spec. |
Opomba |
1 |
Resolucija |
0.6um/ali druga zahteva |
AZ703, AZ1350 |
2 |
CDU |
±10%@1um |
|
3 |
Debelina snovi |
0.2mm～4mm |
|
4 |
Natančnost mreže datuma |
60nm |
|
5 |
Razlaganje |
±500nm |
130mmx130mm |
6 |
Natančnost povezovanja |
±200nm |
AZ703 |
7 |
Maksimalna velikost izpostavljanja |
190X190mm |
|
8 |
Proizvodnost |
≥300mm2/min |
≤50mj/cm2; |
9 |
svetlobni vir |
LD 375nm |
|
10 |
svetlobna moč |
6W |
|
11 |
Enakomernost energije |
≥95 % |
|
12 |
trajnost svetlobe |
10000h |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
