MCXJ-MLS8 Sistem za litografijo brez maske, Kitajska Sistem za litografijo brez maske MCXJ-MLS8 Proizvajalci, dobavitelji, tovarna

opis izdelka

Primer:

MCXJ-MLS8 Izdelava sistema litografije brez maske

Diagram strukture opreme

MCXJ-MLS8 Dobavitelj sistema litografije brez maske

Tehnični podatki

Diagram strukture gostitelja izpostavljenosti

Struktura	ilustrirajte
Razkrivanje pulta	Območje izpostavljenosti: pult, območje namestitve substrata
Optični sistem	Območje za oblikovanje z lasersko emisijo
Sistem nadzora okolja	Nadzorujte notranjo temperaturo in nadtlak naprave
Sistem platforme	Nadzoruje premikanje osvetlitvene mize za dokončanje delovanja osvetlitvene poti
Krmilni sistem	Nadzorni sistem celotne opreme

Opomba: Ker lahko nadgradnja stroja spremeni dejanski videz, je specifičen predmet dejanskega izdelka.

No.	Okolje	Zahtevajo
1	Okolje svetlobnega vira	Rumena luč
2	temperature	22 ℃ ± 2 ℃
3	Vlažnost	50% ± 10%
4	Čistost	1000
5	CDA	0.6±0.1Mpa，200LPM, suh, čist zrak
6	Napajanje	220~240V、50/60Hz、2.5KW；Ozemljitvena žica mora biti ozemljena，
7	Hladilna voda	Temperatura: 10℃~ 20℃ Tlak: 0.3 MPa ~ 0.5 MPa Pretok: 20L/min Razlika v tlaku: 0.3 MPa以上 Prevzemi kaliber: Rc3/8
8	Kraj	nivo: ±3 mm/3000 mm tresenje: VC-B Ležaj: 750 kg/㎡
10	Internet	Ena omrežna vrata
11	velikost stroj	1300 * 1100 * 2100mm
12	Teža naprave	1500kg

No.	Projekt	Spec.	Opomba
1	Resolucija	0.6 um/ali druga zahteva	AZ703, AZ1350
2	CDU	±10%@1um
3	Debelina podlage	0.2 mm ~ 4 mm
4	Natančnost datumske mreže	60nm
5	Prekrivanje	± 500nm	130mmx130mm
6	Natančnost šivanja	± 200nm	AZ703
7	MAX velikost osvetlitve	190X190mm
8	Pretočnost	≥300 mm2/min	≤50mj/cm2；
9	Izvor svetlobe	LD 375 nm
10	moč svetlobe	6W
11	Energijska enotnost	≥ 95%
12	lahkotno življenje	10000hr

Pakiranje in dostava

predstavitev podjetja

Imamo 16 let izkušenj s prodajo opreme. Nudimo vam lahko profesionalno rešitev za polprevodniško opremo za sprednji in zadnji del paketne opreme na enem mestu iz Kitajske.