Gostiteljska enota vakuumske plazme(100 |
||
Velikost opreme |
D 1000 × Š 900 × V 1750 mm |
|
teža |
500Kg |
|
Napajanje povpraševanja |
AC380V, 50 / 60Hz, 5 linij, 25A (popolnoma odprt tip nad C) |
|
Specifikacije generatorja plazme |
||
moč |
radijske frekvence |
Međufrekvencija |
0 ~ 600W |
0-1000W |
|
frekvenca napajanja |
13.56MHz |
40 K Hz |
Vakuumski sistem |
||
Vakuumska črpalka |
Preletna rotacijska črpalka (oljna črpalka): 60 m3/h |
|
vakuumski cevovod |
Vse linije iz nerjavečega jekla, kot tudi visoko trdni vakuumski meh |
|
kakovost materiala |
alufer |
|
debelina |
25mm |
|
tesnost |
Varilni pečat vojaškega razreda |
|
Notranje dimenzije votline |
450*450*500 mm(širina* višina * globina) |
|
Efektivna velikost električne plošče |
322*351 mm (širina * globina) |
|
Razpoložljivi prostorski razmik |
20mm |
|
Razporeditev galvanskih plošč |
Horizontalna elektrodna plošča |
|
pladnji |
Standardni komplet, material neobvezen (aluminij, jeklena žičnata mreža) |
|
delovni prostor |
8 plast |
|
procesni plin |
||
Obseg pretoka |
0~300 SCCM |
|
Plinska pot procesnega plina |
Standardno z dvema načinoma, lahko prilagodite. Procesni plinovod je izdelan iz feroflona |
|
krmariti |
||
SC |
PLC |
|
interaktivni način |
7-palčni zaslon na dotik |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Vse pravice pridržane