Glavni enotnik vakuumskega plazmenskega sistema (150) |
||
Velikost opreme |
D 1100׊ 940×V 1755mm |
|
Teža |
600 kg |
|
Zahtevana napajalna naprava |
AC380V, 50/60Hz, 5 žica, 25A (skupen odprti tip nad C) |
|
Specificacija plazmenskega generatorja |
||
Moč |
radiofrekvenčno |
medfrekvenčno |
0~1000W |
0-2000W |
|
frekvenca napajanja |
13.56Mhz |
40 K Hz |
Vakuumska sistema |
||
Vakumska črpalka |
Pompna enota Leap VSV 65 + pompna enota Bowse BSJ 70 |
|
vakuumska pot |
Vsa čevlja iz nerjavečega jekla, vključno z močnimi vakuumskimi trubi |
|
Kakovost materiala |
alufer |
|
Debelina |
25mm |
|
gostota |
Varovni zavar z vojaško kvaliteto |
|
Notranje razmere jamy |
500*500*600mm (Širina * višina * globina) |
|
Učinkovita velikost električne plošče |
372(W) X 451(D)mm |
|
Razmik prostora za namestitev |
24mm |
|
Urejanje elektroplatin |
Vodoravna elektroplata |
|
Podnoski |
Standardna nastavitev, material po izbiri (aluminij, celovinski omrežje) |
|
delovni prostor |
8 plasti |
|
Procesna plin |
||
Obseg toka |
0~300SCCM |
|
Pot procesnega plina |
Standard z dvema načinoma, je prilagodljiv. Procesni plinovod je iz ferrofllon |
|
Nadzorni sistem |
||
SC |
Kontrola s PC |
|
interaktivni način |
Vmesnik Windows |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved