Enota gostitelja vakuumskega plazma (150) |
||||
Velikost opreme |
D 1100׊ 940×V 1755mm |
|||
teža |
600 kg |
|||
Zahtevana napajalna naprava |
AC380V, 50/60Hz, 5 žica, 25A (skupen odprti tip nad C) |
|||
Specificacija plazmenskega generatorja |
||||
moč |
radiofrekvenčno |
medfrekvenčno |
||
0~1000W |
0-2000W |
|||
frekvenca napajanja |
13.56Mhz |
40 K Hz |
||
Vakuumska sistema |
||||
vakumska črpalka |
Pompna enota Leap VSV 65 + pompna enota Bowse BSJ 70 |
|||
vakuumska pot |
Vsa čevlja iz nerjavečega jekla, vključno z močnimi vakuumskimi trubi |
|||
kakovost materiala |
alufer |
|||
debelina |
25mm |
|||
gostota |
Varovni zavar z vojaško kvaliteto |
|||
Notranje razmere jamy |
500*500*600mm (Širina * višina * globina) |
|||
Učinkovita velikost električne plošče |
372(W) X 451(D)mm |
|||
Razmik prostora za namestitev |
24mm |
|||
Urejanje elektroplatin |
Vodoravna elektroplata |
|||
podnoski |
Standardna nastavitev, material po izbiri (aluminij, celovinski omrežje) |
|||
delovni prostor |
8 plasti |
|||
Procesna plin |
||||
Obseg toka |
0~300SCCM |
|||
Pot procesnega plina |
Standard z dvema načinoma, je prilagodljiv. Procesni plinovod je iz ferrofllon |
|||
Nadzorni sistem |
||||
SC |
Kontrola s PC |
|||
interaktivni način |
Vmesnik Windows |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved