Gostiteljska enota vakuumske plazme(150) | ||||
Velikost opreme | D 1100 × Š 940 × V 1755 mm | |||
teža | 600Kg | |||
Napajanje povpraševanja | AC380V, 50 / 60Hz, 5 linij, 25A (popolnoma odprt tip nad C) | |||
Specifikacije generatorja plazme | ||||
moč | radijske frekvence | Međufrekvencija | ||
0 ~ 1000W | 0-2000W | |||
frekvenca napajanja | 13.56MHz | 40 K Hz | ||
Vakuumski sistem | ||||
Vakuumska črpalka | Leap monopolna črpalka VSV 65 + Bowse Lots črpalka BSJ 70 | |||
vakuumski cevovod | Vse linije iz nerjavečega jekla, kot tudi visoko trdni vakuumski meh | |||
kakovost materiala | alufer | |||
debelina | 25mm | |||
tesnost | Varilni pečat vojaškega razreda | |||
Notranje dimenzije votline | 500*500*600mm (širina* višina * globina) | |||
Efektivna velikost električne plošče | 372 (Š) X 451 (G) mm | |||
Razpoložljivi prostorski razmik | 24mm | |||
Razporeditev galvanskih plošč | Horizontalna elektrodna plošča | |||
pladnji | Standardni komplet, material neobvezen (aluminij, jeklena žičnata mreža) | |||
delovni prostor | 8 plast | |||
Procesni plin | ||||
Obseg pretoka | 0~300 SCCM | |||
Plinska pot procesnega plina | Standardno z dvema načinoma, lahko prilagodite. Procesni plinovod je izdelan iz feroflona | |||
Kontrolni sistem | ||||
SC | nadzor PC | |||
interaktivni način | Windows vmesnik |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Vse pravice pridržane