Gostitelj vakuumske plazme(200 |
||
Velikost opreme |
1050× 1700 × 1050 mm (širina, višina in globina) |
|
teža |
800Kg |
|
moč povpraševanja |
AC380V,50/60Hz,5wires, 30A |
|
Specifikacije generatorja plazme |
||
napajanje |
radijske frekvence |
IF |
0 ~ 1000W |
0-2000W |
|
Frekvenca moči |
13.56MHz |
40 KHz |
Vakuumski sistem |
||
Vakuumska črpalka |
Feiyue unipolarna črpalka VSV100+Both Roots črpalka BSJ70 |
|
vakuumska linija |
Vse cevi iz nerjavečega jekla in vakuumski meh visoke trdnosti |
|
Material |
aluminijeve zlitine |
|
debelina |
25mm |
|
tesnost |
Varjen pečat vojaškega razreda |
|
Notranje mere votline |
600 × 600 × 600 mm (Š × V × G) |
|
Učinkovita velikost elektrodne plošče |
472 X 451 mm (Š × G) |
|
prostor na voljo |
35mm |
|
Postavitev elektrodne plošče |
Horizontalna elektrodna plošča |
|
delovni pladenj |
En komplet je standarden, material pa je neobvezen (aluminij, jeklena mreža) |
|
Delovni prostor |
8 tla |
|
Procesni plin |
||
Obseg pretoka |
0~300 SCCM |
|
Krog procesnega plina |
Opremljen s trosmernim plinom O2, Ar, N2 |
|
Kontrolni sistem |
||
nadzor sistema |
nadzor PC |
|
interaktivni način |
vmesnik Windows |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Vse pravice pridržane