Enota gostitelja vakuumskega plazma (60) |
||||
Velikost opreme |
D 950׊ 900×V 1650mm |
|||
teža |
350kg |
|||
Zahtevana napajalna naprava |
AC380V, 50/60Hz, 5 žično, 16A (skupen odprt tip C in višje) |
|||
Specificacija plazmenskega generatorja |
||||
moč |
radiofrekvenčno |
medfrekvenčno |
||
0~600W |
0-1000W |
|||
frekvenca napajanja |
13.56Mhz |
40 K Hz |
||
Vakuumska sistema |
||||
vakumska črpalka |
Dvostopenjska rotacijska puma (oljasta puma): 40m3/h |
|||
vakuumska pot |
Vsa čevlja iz nerjavečega jekla, vključno z močnimi vakuumskimi trubi |
|||
kakovost materiala |
Aluminijev spoj (po meri izdelana nerjaveča ocelasta komora) |
|||
debelina |
25mm |
|||
gostota |
Varovni zavar z vojaško kvaliteto |
|||
Notranje razmere jamy |
375*375*430mm(Širina* višina * globina) |
|||
Učinkovita velikost električne plošče |
247*281mm (širina* globina) |
|||
Razmik prostora za namestitev |
22mm |
|||
Urejanje elektroplatin |
Vodoravna postavitev, omogoča aktivno izvleček |
|||
podnoski |
Standardna nastavitev, material po izbiri (aluminij, celovinski omrežje) |
|||
delovni prostor |
6 plasti |
|||
procesna plin |
||||
Obseg toka |
0~300SCCM |
|||
Pot procesnega plina |
Standard z dvema načinoma, je prilagodljiv. Procesni plinovod je iz ferrofllon |
|||
navar |
||||
SC |
PLC |
|||
interaktivni način |
7-palcni dotikovni zaslon |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved