Gostiteljska enota vakuumske plazme (60) | ||||
Velikost opreme | D 950 × Š 900 × V 1650 mm | |||
teža | 350Kg | |||
Napajanje povpraševanja | AC380V, 50 / 60Hz, 5 linij, 16A (popolnoma odprt tip nad C) | |||
Specifikacije generatorja plazme | ||||
moč | radijske frekvence | Međufrekvencija | ||
0 ~ 600W | 0-1000W | |||
frekvenca napajanja | 13.56MHz | 40 K Hz | ||
Vakuumski sistem | ||||
Vakuumska črpalka | Dvostopenjska rotacijska črpalka (oljna črpalka): 40m3/h | |||
vakuumski cevovod | Vse linije iz nerjavečega jekla, kot tudi visoko trdni vakuumski meh | |||
kakovost materiala | Aluminijeva zlitina (prilagodljiva votlina iz nerjavečega jekla) | |||
debelina | 25mm | |||
tesnost | Varilni pečat vojaškega razreda | |||
Notranje dimenzije votline | 375*375*430 mm(širina* višina * globina) | |||
Efektivna velikost električne plošče | 247 * 281 mm (širina * globina) | |||
Razpoložljivi prostorski razmik | 22mm | |||
Razporeditev galvanskih plošč | Horizontalna postavitev, lahko aktivno ekstrakcijo | |||
pladnji | Standardni komplet, material neobvezen (aluminij, jeklena žičnata mreža) | |||
delovni prostor | 6 plast | |||
procesni plin | ||||
Obseg pretoka | 0~300 SCCM | |||
Plinska pot procesnega plina | Standardno z dvema načinoma, lahko prilagodite. Procesni plinovod je izdelan iz feroflona | |||
krmariti | ||||
SC | PLC | |||
interaktivni način | 7-palčni zaslon na dotik |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Vse pravice pridržane