Ta oprema je natančna litografska naprava, ki jo je razvila naše podjetje posebej za uporabne lastnosti litografskih strojev v različnih fakultetah in raziskovalnih institutih. Predvsem se uporablja za razvoj in proizvodnjo malih in srednje velikih integriranih krožnic, polprevodniških komponentov, optoelektronskih uredij in uredij površinskih akustičnih valov. Na podlagi ohranitve prvotnih glavnih tehničnih kazalnikov naprave smo optimizirali nekatere strukture in komponente naprave, zmanjšali nekatere nepotrebne mehanske dejanja in zagotovili, da so točke poškodbe naprave minimizirane čim več, pri čemer je tudi delovanje naprave zelo stabilno in zanesljivo.
Specificacija
Glavni tehnični parametri
1. Tip izpostavitve: enostranska. 2. Površina izpostavitve: 110×110 mm. 3. Neenakomerna osvetlitev pri izpostavitvi: ≤±3%. 4. Intenziteta izpostavitve: 0-30mw/cm2 prilagodljiva. 5. Kot UV zraka: ≤3°. 6. Srednja valovna dolžina ultravijolihe luči: 365 nm. 7. Življenjska doba viru UV luči: ≥500 ur. 8. Uporaba elektronskega stresa. 9. Ločljivost izpostavitve: 1 μm; 10. Območje mikroskopskega skeniranja: X: ±15mm Y: ±15mm; 11. Območje poravnave: popravki X,Y ±4mm; popravek smeri Q ±3°; 12. Natančnost risanja: 1 μm. Natančnost uporabnikove "različice" in "čipa" mora biti v skladu z državnimi predpisi, ter okolje, temperatura, vlaga in prah, ki jih je mogoče strogo nadzirati. Uporablja se uvožena pozitivna fotoresistiva snov, katera omogoča strogi nadzor enakomernosti debeline fotoresistive snovi, prav tako pa so prednji in zadnji procesi napredni; 13. Odmak: od 0 do 50 μm prireditveno; 14. Način izpostavljanja: blizujoče izpostavljanje, ki doseže trden kontakt, mehko kontakt in mikrokontaktno izpostavljanje; 15. Formula iskanja kvadrata: zrak
Pakiranje & Dostava
Podjetni profil
Imamo 16 let izkušenj v prodaji opreme. Lahko vam ponudimo enostopenjsko rešitev strojev za polprevodnike, front-end in back-end pakirno vrstico iz Kitajske.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
