To opremo uporabljamo predvsem za razvoj in proizvodnjo malih in srednje velikih integriranih krožnic, polovodniških komponent in ploskovnih akustičnih valov. Zaradi naprednega ravnanja in nize pritiska je ta stroj primeren ne le za izpostavljanje različnih vrst podlag, ampak tudi za izpostavljanje hkrati lomljivih podlag, kot so arsenid potasnjaka in fosfat jekla, ter za izpostavljanje nekrogih in malih podlag.
Specificacija
Glavni tehnični parametri
1. Tip izpostavitve: enostranska izpostavitev 2. Površina izpostavitve: 110X110mm; 3. Enakomernost izpostavitve: ≥ 97%; 4. Intenziteta izpostavitve: 0-30mw/cm2 prilagodljiva; 5. Kot UV zraka: ≤ 3 ° 6. Srednja valovna dolžina ultravijolete: 365nm; 7. Življenjska doba vire UV luči: ≥ 20000 ur;(garancija 2 leta) 8. Uporaba elektrošutterskega sistema; 9. Ločljivost izpostavitve: 1 μ M 10. Območje kamere: ± 15mm Y: ± 15mm 11. Območje poravnave: x: ± 4mm Y: ± 4mm Q: ±3°. 12. Natančnost poravnave: 1um (v dobro okoljskih pogojev). 13. Območje ločitve: 0-50um prilagodljivo. 14. Postopek izpostavljanja: stikno izpostavljanje (tvrd/mek/mini stik). 15. Metoda ravnotežja: Zrakova plavanja. 16. Mikroskopski sistem: dualno območje videzne kote CCD sistema, objektivna leča 1,6X~10X, računalniški sistem obdelave slik, 19 "LCD monitor; Skupna povečava 91-570x. Razdalja objektive: 50-120mm. 17. Velikost maske: 127*127mm; 102*102mm 18. Velikost podloge: Φ102mm; Φ76mm 19. Debelina podlage: ≤1mm 20. Čas izpostavljanja: 0-999,9 sekund prilagodljiv. 21.Moč: 220V 50Hz 1.5kw. 22.vzdušni vir? 0,4Mpa 23.Stopnja vakuuma: -0.07MPa~-0.09Mpa
Pakiranje & Dostava
Podjetni profil
Imamo 16 let izkušenj v prodaji opreme. Lahko vam ponudimo enostopenjsko rešitev strojev za polprevodnike, front-end in back-end pakirno vrstico iz Kitajske.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
