MDXN-25X Visoko natančna enostranska litografska mašina , China MDXN-25X Visoko natančna enostranska litografska mašina Manufacturers, Suppliers, Factory

Opis produkta

Ta oprema je natančen litografski stroj, ki ga je razvila naša družba posebej za značilnosti uporabe litografskih strojev v različnih fakultetah in raziskovalnih ustanovah. Uporablja se predvsem za razvoj in proizvodnjo majhnih in srednje velikih integriranih vezij, polprevodniških komponent, optoelektronskih naprav in naprav za površinske akustične valove.

MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine factory

Specificacija

Glavni tehnični parametri

1. Pripomoček lahko vsebuje 5 "x 5" kvadratno masko s pomočjo vakuumiranja, brez posebnih zahtev glede debeline plošče (od 1 do 3 mm).
2. Pripomoček se lahko uporabi za krožni podlagaj z razmerjem ф 100mm;
3. Debela podlagaja ≤ 5mm;
4. Osvetljevanje:
Izvor svetlobe: Uporablja se GCQ350Z ultra-nadpritiselna merkurjeva direktna merkurjeva lampica.
Osvetljena območja: ≤ ф 117mm; Razpostritev osvetlitve: ф 100mm
v območju ф 100mm je neenakomernost osvetlitve ≤ ± 3%, in intenziteta osvetlitve >6mw/cm² (ta kazalec je merjen z uporabo UV izvora svetlobe I-črte 365nm).
5. Ta pripomoček uporablja uvoženi časovni relj, da nadzira pnevmatično stavitveno okenico, kar zagotavlja natančno in zanesljivo delovanje.
6. Ta stroj je stikovni odpiralnik, ki lahko doseže:
7. Trdno stikovno osvetlitev: Za doseganje visokega vakuumiranja uporabite cevi, pri čemer je vakuum ≤ -0,05MPa
8. Meki stikni izpostavek: Stisk stika lahko poveča vakuum na med -0,02MPa in -0,05MPa.
9. Mikrostikni izpostavek: manj kot meki stik, vakuum ≥ -0,02MPa.
10. Izpostavljiva ločljivost: Ločljivost trdega stiknega izpostavka tega naprave lahko doseže 1 μm ali več (ločljivost uporabnikove "plošče" in "čipa" mora biti v skladu z državnimi predpisi, ter je potrebno strogo nadzirati okolje, temperaturo, vlago in prašek. Uporablja se uvoženi pozitivni fotorezist, pri čemer je možno strogo nadzorovati enakomerno debelino fotorezista. Poleg tega so tudi predhodni in naslednji procesi napredni).
11. Poravnava: Opazovalni sistem sestavlja dve CCD kamere, nameščene na dveh enoplosčinskih mikroskopih in povezanih s prikaznim zaslonom prek videokabela.

Pakiranje & Dostava

MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine supplier

MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine details

Podjetni profil

Imamo 16 let izkušenj v prodaji opreme. Lahko vam ponudimo enostopenjsko rešitev strojev za polprevodnike, front-end in back-end pakirno vrstico iz Kitajske.