Predvsem se uporablja za razvoj in proizvodnjo malih in srednje velikih integriranih krožnic, polprevodniških komponentov, optoelektronskih naprav, naprav na podlagi površinskih akustičnih valov, tankih filmskih krožnic in močno elektronskih naprav. Ta stroj je dvostranski kontaktneksponiranjski stroj, z posebej zasnovanim ponovnim mehanizmom, ki lahko odstrani klinaste napake snovi in zagotovi dober stik med zgornjimi in spodnjimi maskami na obeh straneh snovi, s čimer se zagotovi kakovost eksponiranja obeh strani snovi.