1. Energija, potrebna za opremo: Napajanje glavnega računalnika: 220 V, 50 HZ, poraba energije≤1.5 KW;
2. Opremljen z vakuumsko črpalko z napajanjem 220 V;
3. Velikost in teža: Velikost: 1200 (dolžina) × 720 (širina) × 1500 (visoka). Teža ≤170 kg;
4. Postavite telo stroja na namensko delovno mizo;
5. Vrsta osvetlitve: kontaktna vrsta, poravnava plošče, dvostranska izpostavljenost;
6. Območje izpostavljenosti: φ100 mm;
7.Neenakomerna izpostavljenost: ≤±3%;
8. Intenzivnost izpostavljenosti: ≥5mw/cm2;
9.Ločljivost osvetlitve: 2μm;
10. Način osvetlitve: dvostranska hkratna osvetlitev;
11. Območje poravnave: X: ±5 mm Y: ±5 mm;
12. Natančnost graviranja: 2μm;
13. Območje vrtenja: nastavitev vrtenja v smeri Q≤±5°;
14. Mikroskopski sistem: sistem CCD z dvojnim vidnim poljem, leča objektiva 1.6X~10X, računalniški sistem za obdelavo slik, 19-palčni LCD monitor;
15. Velikost maske: zmožnost vakuumske adsorpcije