1. Vrsta izpostavljanja: stikovna vrsta, poravnava plošče, enostransko dvojno izpostavljanje
2. Površina izpostavitve: 110X110mm;
3. Enakomernost izpostavitve: ≥ 97%;
4. Intenziteta izpostavitve: 0-30mw/cm2 prilagodljiva;
5. Kot UV zraka: ≤ 3 °
6. Srednja valovna dolžina ultravijolete: 365nm;
7. Življenjska doba UV luči: ≥ 20000 ur;
8. Temperatura delovne površine: ≤ 30 ℃
9. Uporaba elektronskega zaslonka;
10. Ločljivost izpostavljanja: 1 μ M (globina izpostavljanja je približno 10-krat večja od širine črte)
11. Način izpostavljanja: hkratno dvostransko izpostavljanje
12. Območje poravnave: x: ± 5mm Y: ± 5mm
13. Natančnost poravnave plošče: 2 μ m
14. Območje rotacije: popravitev rotacije v smeri Q ≤ ± 5 °
15. Mikroskopski sistem: dvokrat vidni sistem CCD, objektiv 1,6X~10X, računalniški sistem obdelave slik, 19 "LCD monitor; Skupna povečava 91-570x
16. Velikost maske: Zmogljiva za vakuumsko vpisovanje 5 "kvadratnih mask, brez posebnih zahtev po debelini maske (od 1 do 3mm).
17. Velikost podlage: Prilagojena za 4 "podlage, z debelino podlage, ki se da v obsegu od 0,1 do 2mm.
18. Pri naročilu ni posebnih zahtev, standarden je polica 5" X5; lahko prilagodite police pod 5" X5: